本发明专利技术提供了一种靶材孔位检测装置及其检测方法，所述靶材孔位检测装置包括检测台，所述检测台上设置有至少两个孔位检测柱，所述孔位检测柱的位置与靶材上开孔位置对应，将靶材放置在检测台上，所述孔位检测柱与靶材的开孔一一对应进行孔位检测。本发明专利技术通过在检测台上预设与标准靶材孔位位置对应的孔位检测柱，直接将靶材放置在检测台上观察放置情况，即可实现对靶材的孔位进行检测，具有便于检测、效率高和检测准确等优点。率高和检测准确等优点。率高和检测准确等优点。
【技术实现步骤摘要】
一种靶材孔位检测装置及其检测方法
[0001]本专利技术属于靶材检测
，涉及一种靶材孔位检测装置及其检测方法。
技术介绍
[0002]溅射靶材的孔位尺寸关系到溅射靶材能否正常安装或使用，当孔位尺寸不正确，则无法将产品正常应用于实际工艺中，产品的孔位尺寸正确与否关系产品的安装问题，原有的检测方法是使用三坐标测量机检测孔位尺寸，三坐标测量是目前广泛应用于机械制造行业和电子工业中的检测和质量控制的方法，采用三坐标测量机检测螺纹孔角度和孔为尺寸。但采用三坐标测量机检测速度较慢，对于数量较多的产品的检测，其工作效率较低。
[0003]CN113587876A公开了一种三坐标测量机精度检测装置，包括底座、撑杆、测量板、量块固定板和量块，底座与测量板之间通过光杆螺栓连接，测量板可相对于底座进行旋转，撑杆可拆卸地连接在底座与测量板之间，对测量板的位置进行固定，在底座与测量板上分别设有位置相对应的凹槽和定位孔，撑杆连接在不同的凹槽和定位孔时，测量板与底座之间的夹角不同，该专利技术中设置测量板与底座之间的夹角为60
°
、45
°
和30
°
。采用该三坐标测量机精度检测装置，可对三坐标测量机在不同角度下的测量精度进行评价，检测更全面；量块放置在测量板上通过磁铁来吸附紧固，放置和取下方便。
[0004]目前三坐标检测技术测量产品时，需要人为建立坐标系，存在检测速度慢和效率低的问题，因此，如何提供一种针对靶材能够实现快速检测的孔位检测装置，成为目前迫切需要解决的技术问题。
技术实现思路
[0005]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种靶材孔位检测装置及其检测方法，通过在检测台上预设与标准靶材孔位位置对应的孔位检测柱，直接将靶材放置在检测台上观察放置情况，即可实现对靶材的孔位进行检测，具有便于检测、效率高和检测准确等优点。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]第一方面，本专利技术提供了一种靶材孔位检测装置，所述靶材孔位检测装置包括检测台，所述检测台上设置有至少两个孔位检测柱，所述孔位检测柱的位置与靶材上开孔位置对应，将靶材放置在检测台上，所述孔位检测柱与靶材的开孔一一对应进行孔位检测。
[0008]本专利技术通过在检测台上根据标准靶材的孔位排布情况预设孔位检测柱，仅需将待测靶材放置在检测台上，使靶材的开孔与孔位检测柱对应，观察放置情况即可完成检测，具有检测快速、结果准确和适合大量检测等特点。
[0009]作为本专利技术的一个优选技术方案，所述检测台上设置有放置槽，所述放置槽的外廓形状与靶材的外廓形状相同。
[0010]所述孔位检测柱设置于所述放置槽内。
[0011]本专利技术通过设置与靶材外观相同的放置槽，对靶材的外观以及孔位同时检测，并
且在检测外观的同时，辅助检测孔位的具体位置分布情况，进一步地保证孔位检测的准确性。
[0012]作为本专利技术的一个优选技术方案，所述孔位检测柱可拆卸设置于所述检测台上。
[0013]优选地，所述孔位检测柱与所述检测台通过螺栓可拆卸连接。
[0014]优选地，所述孔位检测柱的直径与靶材的开孔直径相同。
[0015]本专利技术通过设置可拆卸设置的孔位检测柱，从而根据不同靶材的开孔直径合理更换孔位检测柱，提高检测装置的测试灵活性。
[0016]作为本专利技术的一个优选技术方案，所述检测台上设置有安装滑槽，所述孔位检测柱滑动设置于所述安装滑槽上。
[0017]优选地，所述安装滑槽的底部设置旋紧槽，所述孔位检测柱伸入安装滑槽的一端呈螺栓结构，所述螺栓结构旋入所述旋紧槽内固定所述孔位检测柱。
[0018]本专利技术通过滑动设置孔位检测柱，能够根据标准靶材的开孔位置合理调整孔位检测柱的位置，从而无需更换检测装置即可实现对多种型号靶材的检测，有效提高检测装置的灵活性。
[0019]优选地，所述孔位检测柱设置有固定垫片，所述固定垫片用于辅助固定所述孔位检测柱。
[0020]本专利技术通过设置固定垫片，在孔位检测柱旋入旋紧槽后，固定垫片顶住检测台，从而辅助固定孔位检测柱，提高孔位检测柱的稳定性。
[0021]作为本专利技术的一个优选技术方案，所述孔位检测柱的顶部设置有压力传感器，所述压力传感器用于检测所述孔位检测柱受到的压力。
[0022]优选地，所述孔位检测柱上设置有与所述压力传感器电性连接的报警器。
[0023]本专利技术通过设置压力传感器以及报警器，当靶材未放置在相应位置的孔位检测柱时，根据压力位置确定错误孔位的位置。
[0024]作为本专利技术的一个优选技术方案，所述检测台上设置有长度夹具组件和宽度夹具组件，所述长度检具组件用于检测靶材的长度，所述宽度夹具组件用于检测靶材的宽度。
[0025]本专利技术通过设置长度夹具组件和宽度夹具组件，在使用过程中对靶材的宽度和长度进行检测，实现对靶材的外观进行校核，进一步提高检测装置的实用性，减少靶材外观检测步骤，仅通过一个检测装置即可实现外观检测和孔位检测，有效提高检测效率。
[0026]优选地，所述长度夹具组件包括第一长度夹板以及第二长度夹板，放置靶材后，所述第一长度夹板和第二长度夹板分别设置于靶材的两端，所述第一长度夹板和第二长度夹板均滑动设置于所述检测台上，所述第一长度夹板和第二长度夹板夹设靶材的两端测量靶材的长度。
[0027]优选地，所述第一长度夹板和第二长度夹板之间的检测台上设置有刻度值。
[0028]作为本专利技术的一个优选技术方案，所述宽度夹具组件包括第一宽度夹板和第二宽度夹板，放置靶材后，所述第一宽度夹板和第二宽度夹板分别设置于靶材的两侧，所述第一宽度夹板和第二宽度夹板均滑动设置于所述检测台上，所述第一宽度夹板和第二宽度夹板夹设靶材的两侧测量靶材的宽度。
[0029]优选地，所述第一宽度夹板和第二宽度夹板之间的检测台上设置有刻度值。
[0030]作为本专利技术的一个优选技术方案，所述检测台的中部设置有取出槽，靶材放置后，
所述靶材跨过所述取出槽。
[0031]优选地，所述取出槽内设置有顶出组件，所述顶出组件用于将靶材顶起取出。
[0032]优选地，所述顶出组件包括设置于取出槽内的顶出柱，所述顶出柱传动连接有驱动件。
[0033]优选地，所述驱动件包括液压驱动过机械驱动。
[0034]本专利技术通过设置取出槽，在取出靶材过程中，由于靶材与检测台贴合紧密，不便取出，故设置取出槽便于将靶材抓取，进一步在取出槽底部设置顶出柱，通过液压传动或机械传动将靶材顶起，提高靶材的取出效率。
[0035]第二方面，本专利技术提供了一种靶材孔位的检测方法，所述检测方法采用第一方面所述的靶材孔位检测装置，所述检测方法包括：
[0036]将靶材放置在检测台上，靶材上的开孔与孔位检测柱位置对应，观察靶材的放置情况，对孔位进行检测。
[0037]作为本专利技术的一个优选技术方案，所述检测方法具体包括以下步骤：本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种靶材孔位检测装置，其特征在于，所述靶材孔位检测装置包括检测台，所述检测台上设置有至少两个孔位检测柱，所述孔位检测柱的位置与靶材上开孔位置对应，将靶材放置在检测台上，所述孔位检测柱与靶材的开孔一一对应进行孔位检测。2.根据权利要求1所述的靶材孔位检测装置，其特征在于，所述检测台上设置有放置槽，所述放置槽的外廓形状与靶材的外廓形状相同；所述孔位检测柱设置于所述放置槽内。3.根据权利要求1或2所述的靶材孔位检测装置，其特征在于，所述孔位检测柱可拆卸设置于所述检测台上；优选地，所述孔位检测柱与所述检测台通过螺栓可拆卸连接；优选地，所述孔位检测柱的直径与靶材的开孔直径相同。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的靶材孔位检测装置，其特征在于，所述检测台上设置有安装滑槽，所述孔位检测柱滑动设置于所述安装滑槽上；优选地，所述安装滑槽的底部设置旋紧槽，所述孔位检测柱伸入安装滑槽的一端呈螺栓结构，所述螺栓结构旋入所述旋紧槽内固定所述孔位检测柱；优选地，所述孔位检测柱设置有固定垫片，所述固定垫片用于辅助固定所述孔位检测柱。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的靶材孔位检测装置，其特征在于，所述孔位检测柱的顶部设置有压力传感器，所述压力传感器用于检测所述孔位检测柱受到的压力；优选地，所述孔位检测柱上设置有与所述压力传感器电性连接的报警器。6.根据权利要求1
‑
5任一项所述的靶材孔位检测装置，其特征在于，所述检测台上设置有长度夹具组件和宽度夹具组件，所述长度检具组件用于检测靶材的长度，所述宽度夹具组件用于检测靶材的宽度；优选地，所述长度夹具组件包括第一长度夹板以及第二长度夹板，放置靶材后，所述第一长度夹板和第二长度夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，边逸军，陈文庆，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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