基底处理设备制造技术

本公开提供一种基底处理设备，包含一控制器以及至少一输入/输出腔室。该至少一输入/输出腔室包括一装载锁定装置，其具有一基座、一导轨、一平台以及一光学测量模块，其中该导轨连接到该基座。该平台可移动地设置在该导轨上，承载一晶圆匣，其具有一批多个分隔设置的基板。该光学测量模块依据从该平台所反射的至少一光学信号而取得该平台沿着该导轨行进的一实际移动距离。一实际移动距离。一实际移动距离。

【技术实现步骤摘要】
基底处理设备


[0001]本申请案主张2021年3月3日申请的美国正式申请案第17/191,160号的优先权及益处，该美国正式申请案的内容以全文引用的方式并入本文中。
[0002]本公开关于一种基底处理设备。特别是有关于一种具有一装载锁定装置的基底处理设备，该装载锁定装置具有一功能，该功能是取得容纳多个基底的一晶圆匣的一移动距离。

技术介绍

[0003]承载一批多个分隔设置半导体基板的多个载体应用在许多类型的半导体基底处理系统中，以便于批量处理并最小化由于不正确的处理而对晶圆所造成的损伤。举例来说，如此的载体运用成将多个半导体基底依序提供给自动基底处理和加工系统的多个输入皿盒(input magazines)、作为从此类系统依序接收多个处理后的半导体基底的多个输出皿盒、或用作承载所述半导体基底的多个中间(生产量)装置，所述半导体基底可能需要在此类系统处理期间的某个时间点进行采样、测试或其他一些特殊处理。
[0004]上文的「先前技术」说明仅提供
技术介绍
，并未承认上文的「先前技术」说明揭示本公开的标的，不构成本公开的先前技术，且上文的「先前技术」的任何说明均不应作为本案的任一部分。

技术实现思路

[0005]本公开的一实施例提供一种基底处理设备。该基底处理设备包括一控制器以及至少一输入/输出腔室。该至少一输入/输出腔室包含一装载锁定装置，其包括一基座、一导轨、一平台以及一光学测量模块。该导轨连接到该基座。该平台可移动地设置在该导轨上，且承载一晶圆匣，该晶圆匣具有一批多个分隔设置的基板。该光学测量模块依据从该平台所反射的至少一光学信号而取得该平台沿着该导轨行进的一实际移动距离。该光学测量模块包括一处理器，电性耦接到该控制器。
[0006]在一些实施例中，该装载锁定装置还包括一马达，电性耦接到该处理器并经配置以沿着该导轨朝上及朝下移动该平台。该控制器经配置以产生移动该平台的一预设移动距离，其中该预设移动距离提供到该处理器且最后到该马达，而该处理器经配置以比较该预设移动距离与该实际移动距离之间的一差值，且若是该差值大于一临界值的话，则发出一警报。
[0007]在一些实施例中，该光学测量模块还包括一显示器，显示该实际移动距离以及由该处理器所提供的一比较结果。
[0008]在一些实施例中，该光学测量模块还包括一光发射器以及一光接收器。该光发射器电性耦接到该处理器并经配置以产生具有一特定波长的光线；以及该光接收器电性耦接到该处理器并经配置以接收具有该特定波长的光线。由该光发射器所产生的光线投射到该平台、由该平台反射，并照射在该光接收器上，且该处理器经配置以依据照射在该光接收器
上的光量而确定借由该平台沿着该导轨行进的该实际移动距离。
[0009]在一些实施例中，该光学测量模块还包括一光反射器，设置在该平台上且在光线的一光学传播路径中，以将光线常态地导引至该光接收器。
[0010]在一些实施例中，该光发射器与该光接收器设置在该基座上。
[0011]在一些实施例中，该光学测量模块还包括一光发射器以及一光接收器。该光发射器电性耦接到该处理器并经配置以产生具有一特定波长的至少一光脉冲；以及该光接收器电性耦接到该处理器并经配置以接收具有该特定波长的一光脉冲。由该光发射器所产生的该光脉冲投射到该平台、由该平台反射，并照射在该光接收器上，且该处理器经配置以依据该光脉冲从该光发射器到该光接收器的一行进时间而确定借由该平台沿着该导轨行进的该实际移动距离。
[0012]在一些实施例中，该基底处理设备还包括一传输腔室以及一处理腔室，该传输腔室包括一分选器，电性耦接到该控制器；以及该处理腔室提供有植入所述基底的一离子植入装置。
[0013]在一些实施例中，该基底处理设备还包括多个闸阀，电性耦接到该控制器。在一关闭操作期间，运用所述闸阀以密封地将该输入/输出腔室绝缘于该处理腔室。在一开启操作期间，所述闸阀则允许该分选器装载及卸下所述基底。
[0014]本公开的另一实施例提供一种基底处理设备。该基底处理设备包括一控制器以及至少一输入/输出腔室。该至少一输入/输出腔室包含一装载锁定装置，其包括一基座、一导轨、一平台以及一光学测量模块。该导轨连接到该基座。该平台可移动地设置在该导轨上，且承载一晶圆匣，该晶圆匣具有一批多个分隔设置的基板。该光学测量模块电性耦接到该控制器并经配置以依据从一光发射器直接传输到一光接收器的至少一光学信号而取得该平台沿着该导轨行进的一实际移动距离。
[0015]在一些实施例中，该光发射器与该光接收器分别设置在该基座上与该平台上。
[0016]在一些实施例中，依据照射在该光接收器上的光量以确定借由该平台沿着该导轨行进的该实际移动距离。
[0017]在一些实施例中，依据从该光发射器到该光接收器的一光脉冲的一行进时间以确定借由该平台沿着该导轨行进的该实际移动距离。
[0018]在一些实施例中，该光学测量模块还包括一处理器，电性耦接到该光发射器与该光接收器，该装载锁定装置还包括一马达，电性耦接到该处理器并经配置以沿着该导轨朝上及朝下移动该平台，该控制器经配置以产生移动该平台的一预设移动距离，其中提供该预设移动距离到该处理器且最后到该马达，而该处理器经配置以比较该预设移动距离与该实际移动距离之间的一差值，若是该差值大于一临界值的话，则发出一警报。
[0019]在一些实施例中，该光学测量模块还包括一显示器，显示该实际移动距离以及由该处理一所提供的一比较结果。
[0020]在一些实施例中，该基底处理设备还包括一传输腔室、一处理腔室以及多个闸阀。该传输腔室包括一分选器，电性耦接到该控制器；以及该处理腔室提供有植入所述基底的一离子植入装置。所述闸阀电性耦接到该控制器。在一关闭操作期间，运用所述闸阀以密封地将该输入/输出腔室绝缘于该处理腔室。在一开启操作期间，所述闸阀则允许该分选器装载及卸下所述基底。
[0021]由于上述的该装载锁定装置的架构，其中该平台依据该预设移动距离而对应该基座移动，且该预设移动距离是由电性耦接到该装载锁定装置的该控制器所提供，所以可监控该平台沿着该导轨的该实际移动距离，借此降低由基板刮伤所造成的成本。
[0022]上文已相当广泛地概述本公开的技术特征及优点，而使下文的本公开详细描述得以获得较佳了解。构成本公开的权利要求标的的其它技术特征及优点将描述于下文。本公开所属
中具有通常知识者应了解，可相当容易地利用下文揭示的概念与特定实施例可作为修改或设计其它结构或制程而实现与本公开相同的目的。本公开所属
中具有通常知识者亦应了解，这类等效建构无法脱离后附的权利要求所界定的本公开的精神和范围。
附图说明
[0023]参阅实施方式与权利要求合并考量图式时，可得以更全面了解本申请案的揭示内容，图式中相同的元件符号指相同的元件。
[0024]图1是平面示意图，例示本公开一些实施例的基底处理设备。
[0025]图2是电路方块图，例示本公开一些实施例的基底处理设备。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基底处理设备，包括：一控制器；以及至少一输入/输出腔室，包括一装载锁定装置，该装载锁定装置包括：一基座；一导轨，连接到该基座；一平台，可移动地设置在该导轨上，且承载一晶圆匣，该晶圆匣具有一批多个分隔设置的基板；以及一光学测量模块，经配置以该光学测量模块依据从该平台所反射的至少一光学信号而取得该平台沿着该导轨行进的一实际移动距离，其中该光学测量模块包括一处理器，电性耦接到该控制器。2.如权利要求1所述的基底处理设备，其中该装载锁定装置还包括一马达，电性耦接到该处理器并经配置以沿着该导轨朝上及朝下移动该平台，其中该控制器经配置以产生移动该平台的一预设移动距离，其中该预设移动距离提供到该处理器且最后到该马达，而该处理器经配置以比较该预设移动距离与该实际移动距离之间的一差值，且若是该差值大于一临界值的话，则发出一警报。3.如权利要求2所述的基底处理设备，其中该光学测量模块还包括一显示器，显示该实际移动距离以及一比较结果。4.如权利要求1所述的基底处理设备，其中该光学测量模块还包括：一光发射器，电性耦接到该处理器并经配置以产生具有一特定波长的光线；以及一光接收器，电性耦接到该处理器并经配置以接收具有该特定波长的光线；其中由该光发射器所产生的光线投射到该平台、由该平台反射，并照射在该光接收器上，且该处理器经配置以依据照射在该光接收器上的光量而确定借由该平台沿着该导轨行进的该实际移动距离。5.如权利要求4所述的基底处理设备，其中该光学测量模块还包括一光反射器，设置在该平台上且在光线的一光学传播路径中，以将光线常态地导引至该光接收器。6.如权利要求4所述的基底处理设备，其中该光发射器与该光接收器设置在该基座上。7.如权利要求1所述的基底处理设备，其中该光学测量模块还包括：一光发射器，电性耦接到该处理器并经配置以产生具有一特定波长的至少一光脉冲；以及一光接收器，电性耦接到该处理器并经配置以接收具有该特定波长的一光脉冲；其中由该光发射器所产生的该光脉冲投射到该平台、由该平台反射，并照射在该光接收器上，且该处理器经配置以依据该光脉冲从该光发射器到该光接收器的一行进时间而确定借由该平台沿着该导轨行进的该实际移动距离。8.如权利要求1所述的基底处理设备，还包括：一传...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈家富，
申请(专利权)人：南亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：