高洁净度烘烤设备制造技术

一种高洁净度烘烤设备，包含包括炉管装置、层架单元及至少一横向喷气管的加热炉。所述炉管装置具有炉底座组合体。所述炉底座组合体具有炉底座外框及炉底基座。所述炉底座外框具有形成底部开口的外框本体及下层流道。所述炉底基座具有可压接于所述外框本体底面的底密封环。所述下层流道沿所述底密封环的长度方向延伸，并用于将所述外框本体的热能导出。所述层架单元具有数个纵向排列的分层载台。所述横向喷气管具有数个纵向排列的出气孔。所述出气孔分别对准两两相邻的所述分层载台之间并横向吹出高温气体，以调节控制所述分层载台之间的温度，使所述分层载台上所放置的待加热物受热程度相近，达到制程良率提升的目的。达到制程良率提升的目的。达到制程良率提升的目的。

【技术实现步骤摘要】
高洁净度烘烤设备


[0001]本专利技术涉及一种烘烤设备，特别是涉及一种适用于对待加热物进行热处理的高洁净度烘烤设备。

技术介绍

[0002]为了因应电子产品需要更大量以及更快速的运算处理能力，在半导体产业中，芯片上的电路图案其线径规格已然缩小，也因此在半导体制程中受到粉尘附着而造成的电路图案缺陷其影响也就更为显著。为了克服半导体制程中电路图案缺陷的问题，对于半导体制程中设备的洁净度要求也随之增加。然而，在热处理制程方面，现有的晶圆在热处理制程的加热过程中，由于加热炉内是通过热对流的方式对晶圆进行热处理，因此会使得加热炉内的粉尘随着气流循环而落至晶圆表面附着，导致电路图案受损。除此之外，在加热的过程中，由于热对流的气流无法局部受控，导致加热腔体中不同区域的晶圆受热的程度不一，而可能影响良率。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种可提升制程良率的高洁净度烘烤设备。
[0004]本专利技术的高洁净度烘烤设备包含加热炉。所述加热炉包括炉管装置、层架单元及至少一横向喷气管。
[0005]所述炉管装置具有炉管本体、设置于所述炉管本体内侧且能受控发热的加热组件组，及位于所述炉管本体底部的炉底座组合体。所述炉底座组合体具有连通所述炉管本体底部且贯通至外界的炉底座外框、可移离地封合于所述炉底座外框的炉底基座，及至少一贯通所述炉管本体且可用于将气体排至外界的排气管。所述炉底座外框具有外框本体，及镶嵌于所述外框本体内的下层流道。所述外框本体的底面形成底部开口。所述炉底基座具有环绕于所述底部开口外围的底密封环。所述底密封环可压接于所述外框本体的底面，以密封所述炉管装置。所述下层流道邻近所述底部开口且沿所述底密封环的长度方向延伸，并供导热流体流通，以用于将所述外框本体的热能导出。
[0006]所述层架单元可移离地装设于所述炉管装置内，并具有架体，及数个纵向排列地设置于所述架体的分层载台。所述分层载台分别适用于承载待加热物。
[0007]所述横向喷气管竖立地装设于所述炉管装置内且邻近所述层架单元，并具有数个纵向排列的出气孔。所述出气孔分别对准两两相邻的所述分层载台之间，并能横向吹出高温气体，以调节控制所述分层载台之间的温度。其中，当所述出气孔横向吹气且所述排气管于所述炉管本体的下方排气，可使所述炉管本体内的气体由上至下流动。
[0008]本专利技术的高洁净度烘烤设备，所述加热炉包括装设于所述炉管装置内的热风进气管组，所述热风进气管组具有数个分别竖立且环绕地设置于所述层架单元周围的横向喷气管。
[0009]本专利技术的高洁净度烘烤设备，所述炉管装置具有至少一贯通所述炉管本体且用于
导引气体进入的冷风进气模块、贯通所述炉管本体且用于导引气体流至外界的冷风排气模块，及设置于所述炉管本体内且罩盖于所述层架单元与所述热风进气管组，并与所述炉底座外框封合的内炉单元，所述内炉单元与所述炉管本体之间的空间形成冷却室，所述冷却室连通所述冷风进气模块与所述冷风排气模块，气体可受到所述冷风进气模块导引而进入所述炉管本体内，且流经所述冷却室并从所述冷风排气模块排出，使所述内炉单元的温度下降。
[0010]本专利技术的高洁净度烘烤设备，所述外框本体的顶面还形成反向于所述底部开口的顶部开口，所述内炉单元具有内炉体，及至少一设置于所述内炉体与所述外框本体之间的顶密封环，所述顶密封环环绕于所述顶部开口外围，以封合所述内炉体与所述外框本体，所述炉底座外框还具有镶嵌于所述外框本体内且位于所述下层流道上方的上层流道，所述上层流道邻近所述顶部开口且沿所述顶密封环的长度方向延伸，并供导热流体流通，以用于将所述外框本体的热能导出。
[0011]本专利技术的高洁净度烘烤设备，所述冷风进气模块设置于所述炉管本体的底部，所述冷风排气模块设置于所述炉管本体的顶部，当所述冷风进气模块与所述冷风排气模块作动，可使所述冷却室内的气体由下至上流动。
[0012]本专利技术的高洁净度烘烤设备，所述炉管装置还具有数个环绕地设置于所述层架单元周围的热电耦组件，所述热电耦组件用于感测所述层架单元周围的温度。
[0013]本专利技术的高洁净度烘烤设备，所述加热组件组具有数个沿所述炉管本体环形地设置的陶瓷电热板，各所述陶瓷电热板能分别受控调节温度。
[0014]本专利技术的高洁净度烘烤设备，所述炉底座组合体还具有两个分别连接于所述炉底基座的左右两侧的衔接件，所述高洁净度烘烤设备还包含两个升降机构，所述升降机构分别设置于所述加热炉左右两侧的下方，每一升降机构包括防尘壳体、升降气缸、至少两个导轮及防尘皮带，每一防尘壳体形成纵向延伸的滑道，每一升降气缸具有气缸本体，及设置于相应的所述滑道内且可相对于所述气缸本体上下位移的活塞块，所述活塞块远离所述气缸本体的一端分别与所述衔接件衔接，使所述炉底基座可随着所述活塞块作动而上下位移，各所述升降机构的所述导轮分别横向设置于所述滑道的顶部与底部，每一导轮能以横轴为轴心枢转，每一防尘皮带环绕于相应的所述升降机构的所述导轮，且所述防尘皮带的两相反端分别衔接于相应的所述衔接件，所述防尘皮带包覆于相应的所述活塞块外围，并可随着所述衔接件位移而枢转，使所述滑道的开口能受到所述防尘皮带遮蔽。
[0015]本专利技术的高洁净度烘烤设备，每一升降机构还包括至少一贯通相应的所述防尘壳体之底部的抽气单元，以使所述防尘壳体内的气体由上至下排出。
[0016]本专利技术的高洁净度烘烤设备，还包含气体滤净装置，所述气体滤净装置包括连通所述排气管的外筒结构，及具高热传递特性的冷凝结构，所述冷凝结构与所述外筒结构未连通，且用于将所述外筒结构内的热能导出，使所述外筒结构内的气体与所述冷凝结构产生热交换而让气体中的部分成分降温凝结。
[0017]本专利技术的有益效果在于：借由各所述横向喷气管的所述出气孔分别对准所述分层载台之间横向吹出高温气体，借此控制所述分层载台之间的温度，能使所述分层载台上所放置的待加热物受热程度相近，达到制程良率提升的目的。此外，当所述出气孔横向吹气且所述排气管于所述炉管本体的下方排气，可使所述炉管本体内的气体由上至下向外排出，
以避免沉积于所述炉管本体下方的粉尘随着上下循环的气流飘向所述分层载台而附着于待加热物表面，同样能达到制程良率提升的目的。另外，借由各所述升降机构的所述滑道的开口受到所述防尘皮带遮蔽，使各所述防尘壳体内的粉尘无法经由所述底部开口飘散至所述内炉体中，能避免所述内炉体内的粉尘量升高而污染待加热物，达到制程良率提升的目的。
附图说明
[0018]本专利技术的其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：
[0019]图1是一示意图，说明本专利技术高洁净度烘烤设备的实施例；
[0020]图2是一剖视示意图，说明所述实施例的加热炉；
[0021]图3是另一视角的所述加热炉的剖视示意图；
[0022]图4是图2的局部放大图，说明所述加热炉的炉底座组合体及一内炉单元的连接关系；
[0023]图5是如图1视角的一剖视示意图，说明所述实施例的两个升本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高洁净度烘烤设备，其特征在于：其包含：加热炉，包括炉管装置，具有炉管本体、设置于所述炉管本体内侧且能受控发热的加热组件组，及位于所述炉管本体底部的炉底座组合体，所述炉底座组合体具有连通所述炉管本体底部且贯通至外界的炉底座外框、可移离地封合于所述炉底座外框的炉底基座，及至少一贯通所述炉管本体且可用于将气体排至外界的排气管，所述炉底座外框具有外框本体，及镶嵌于所述外框本体内的下层流道，所述外框本体的底面形成底部开口，所述炉底基座具有环绕于所述底部开口外围的底密封环，所述底密封环可压接于所述外框本体的底面，以密封所述炉管装置，所述下层流道邻近所述底部开口且沿所述底密封环的长度方向延伸，并供导热流体流通，以用于将所述外框本体的热能导出，层架单元，可移离地装设于所述炉管装置内，并具有架体，及数个纵向排列地设置于所述架体的分层载台，所述分层载台分别适用于承载待加热物，及至少一横向喷气管，竖立地装设于所述炉管装置内且邻近所述层架单元，并具有数个纵向排列的出气孔，所述出气孔分别对准两两相邻的所述分层载台之间，并能横向吹出高温气体，以调节控制所述分层载台之间的温度，其中，当所述出气孔横向吹气且所述排气管于所述炉管本体的下方排气，可使所述炉管本体内的气体由上至下流动。2.根据权利要求1所述的高洁净度烘烤设备，其特征在于：所述加热炉包括装设于所述炉管装置内的热风进气管组，所述热风进气管组具有数个分别竖立且环绕地设置于所述层架单元周围的横向喷气管。3.根据权利要求2所述的高洁净度烘烤设备，其特征在于：所述炉管装置具有至少一贯通所述炉管本体且用于导引气体进入的冷风进气模块、贯通所述炉管本体且用于导引气体流至外界的冷风排气模块，及设置于所述炉管本体内且罩盖于所述层架单元与所述热风进气管组，并与所述炉底座外框封合的内炉单元，所述内炉单元与所述炉管本体之间的空间形成冷却室，所述冷却室连通所述冷风进气模块与所述冷风排气模块，其中，气体可受到所述冷风进气模块导引而进入所述炉管本体内，且流经所述冷却室并从所述冷风排气模块排出，使所述内炉单元的温度下降。4.根据权利要求3所述的高洁净度烘烤设备，其特征在于：所述外框本体的顶面还形成反向于所述底部开口的顶部开口，所述内炉单元具有内炉体，及至少一设置于所述内炉体与所述外框本体之间的顶密封环，所述顶密封环环绕于所述顶部开口外围，以封合所述内炉体与所述外框本体，...

【专利技术属性】
技术研发人员：许海津，林华伟，邱浚沧，
申请(专利权)人：志圣科技广州有限公司，
类型：发明
国别省市：