一种石英环的加工固定治具及加工方法技术

本发明专利技术涉及一种石英环的加工固定治具，包括有吸附载体，所述吸附载体的一侧端面上可旋转地安装有高速旋转接头，所述吸附载体的另一侧端面延伸出环形凸台，在所述环形凸台上均匀开设若干个吸附槽，在所述吸附载体的内部开设导气通道，利用所述导气通道将高速旋转接头与吸附槽连通；通过使用上述治具，一方面省去了蜡的使用，降低了成本，另一方面大幅度降低了加工准备辅助时间，提高了生产效率，提升了产能。本发明专利技术还涉及一种石英环的加工方法，通过结合使用治具以及对车床加工石英环的方法进行创新，解决传统车床加工方法容易产生缺口、刀痕等外观不良问题。刀痕等外观不良问题。刀痕等外观不良问题。

【技术实现步骤摘要】
一种石英环的加工固定治具及加工方法


[0001]本专利技术涉及石英环加工
，具体是涉及一种用于对石英环加工时固定位置的治具，同时还涉及一种石英环的加工方法。

技术介绍

[0002]当前正处于半导体行业高速发展的黄金时期，石英部件作为半导体装备中的关键零部件，其需求量也逐年增加。由于石英是典型的硬脆性材料，稍有磕碰就会产生缺口、裂纹，甚至断裂；故机加工过程中不能直接对其进行装夹固定。
[0003]目前石英车床加工装夹固定方式是：首先用火枪烤热治具粘着产品面和石英毛坯料粘着面，然后在治具粘着产品面涂上特制的蜡，最后将待加工的石英毛坯料加热面粘在治具上，待产品和治具完全冷却，此时产品粘在固定在治具上，固定为一体，整个加工准备时间需要30分钟左右。然后将治具一端装夹固定在车床的三爪上，然后按照图纸要求对产品进行加工。一枚产品加工完成后，用火枪对产品和治具粘着部位周边进行加热，蜡加热融化后就可以取下产品，一枚产品加工完成。如此周而复始对产品进行加工，费时费力，生产效率低下。
[0004]目前石英环加工方法主要有铣床、加工中心、车床等机加工，其中采用车床加工效率比较高，但采用传统车床加工方法对石英进行加工，产品容易产生缺口、刀痕等不良问题，需要对加工方法进行创新。

技术实现思路

[0005]本专利技术所要解决的技术问题是提供一种石英环的加工固定治具，以克服上述不足，同时提供一种石英环的加工方法。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供以下技术方案：一种石英环的加工固定治具，包括有吸附载体，所述吸附载体的一侧端面上可旋转地安装有高速旋转接头，所述吸附载体的另一侧端面延伸出环形凸台，在所述环形凸台上均匀开设若干个吸附槽，在所述吸附载体的内部开设导气通道，利用所述导气通道将高速旋转接头与吸附槽连通。
[0007]在上述技术方案基础上，所述吸附载体包括有固定盘、吸盘；固定盘的一侧端面可旋转地安装着高速旋转接头，固定盘的另一侧端面上内嵌有十字型的导气槽，固定盘的另一侧端面上在十字型的导气槽边缘外侧内嵌有密封槽，该密封槽内设置有密封圈，用该密封圈围成一个包裹住导气槽的空间，而且密封槽的深度小于密封圈直径；将吸盘挤压密封圈后盖合装配在固定盘上共同构成所述吸附载体。
[0008]在上述技术方案基础上，所述吸盘背离固定盘的一侧端面向外延伸出所述环形凸台，吸盘上开设有若干个用于将所述吸附槽与导气槽相连通的通孔，导气槽、通孔共同构成所述导气通道。
[0009]在上述技术方案基础上，所述固定盘的一侧端面向外延伸出夹持部，夹持部的轴线与固定盘的轴线重合，固定盘圆心位置开设有安装孔，该安装孔延伸至夹持部表面，高速
旋转接头可旋转地密封装配在该安装孔内。
[0010]一种石英环的加工方法，包括以下技术步骤：
[0011]S1：取一枚待加工的石英环产品固定于治具上，将治具固定于车床；
[0012]S2：选用一把100#～170#金属刀具沿产品径向对产品内外径进行靠刀粗加工，单边留余量0.5～1mm之间；
[0013]S3：选用一把200#～325#金属刀具沿产品轴向对产品内外径进行半精加工，单边留余量0.1～0.2mm之间；
[0014]S4：选用一把400#～500#树脂刀具沿产品轴向对产品内外径进行精加工。
[0015]在上述技术方案基础上，在步骤S4中，周期性地对树脂刀具进行修理，使得刀具侧面相对于底面带锥度，刀具切削部位呈“喇叭口”状，锥面大端面比小端面单边大0.02mm以上，刀具加工由原来的面接触变为点线接触。
[0016]在上述技术方案基础上，所述治具包括有吸附载体，所述吸附载体的一侧端面上可旋转地安装有高速旋转接头，所述吸附载体的另一侧端面延伸出环形凸台，在所述环形凸台上均匀开设若干个吸附槽，在所述吸附载体的内部开设导气通道，利用所述导气通道将高速旋转接头与吸附槽连通；
[0017]在步骤S1中，取一枚待加工的石英环产品放置在吸附载体表面并覆盖吸附槽，利用真空泵通过导气管穿过高速旋转接头将吸附槽抽真空，将石英环吸附固定在吸附载体上，实现将石英环产品固定于治具上。
[0018]在上述技术方案基础上，所述吸附载体包括有固定盘、吸盘；固定盘的一侧端面可旋转地安装着高速旋转接头，固定盘的另一侧端面上内嵌有十字型的导气槽，固定盘的另一侧端面上在十字型的导气槽边缘外侧内嵌有密封槽，该密封槽内设置有密封圈，用该密封圈围成一个包裹住导气槽的空间，而且密封槽的深度小于密封圈直径；将吸盘挤压密封圈后盖合装配在固定盘上共同构成所述吸附载体。
[0019]在上述技术方案基础上，吸盘背离固定盘的一侧端面向外延伸出所述环形凸台，吸盘上开设有若干个用于将所述吸附槽与导气槽相连通的通孔，导气槽、通孔共同构成所述导气通道。
[0020]在上述技术方案基础上，所述固定盘的一侧端面向外延伸出夹持部，夹持部的轴线与固定盘的轴线重合，固定盘圆心位置开设有安装孔，该安装孔延伸至夹持部表面，高速旋转接头可旋转地密封装配在该安装孔内。
[0021]本专利技术与现有技术相比具有的有益效果是：本专利技术通过使用上述治具，一方面省去了蜡的使用，降低了成本，另一方面大幅度降低了加工准备辅助时间，提高了生产效率，提升了产能。通过结合使用治具以及对车床加工石英环的方法进行创新，解决传统车床加工方法容易产生缺口、刀痕等外观不良问题。
附图说明
[0022]图1为本专利技术治具、石英环、车床三爪卡盘装配拆分图；
[0023]图2为本专利技术固定盘结构剖视图；
[0024]图3为本专利技术吸盘与固定盘装配状态剖视图；
[0025]图4为本专利技术金属刀具沿产品径向对产品内外径进行靠刀粗加工的示意图；
[0026]图5为本专利技术金属刀具沿产品轴向对产品内外径进行半精加工的示意图；
[0027]图6为本专利技术树脂刀具沿产品轴向对产品内外径进行精加工的示意图；
[0028]图中标号为：1
‑
石英环、2
‑
紧固螺栓、3
‑
吸盘、31
‑
通孔、32
‑
吸附槽、33
‑
环形凸台、4
‑
密封圈、5
‑
固定盘、51
‑
导气槽、52
‑
夹持部、53
‑
安装孔、54
‑
密封槽、6
‑
高速旋转接头、7
‑
导气管、8
‑
车床三爪卡盘、91、92
‑
金属刀具、93
‑
树脂刀具。
具体实施方式
[0029]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0030]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英环的加工固定治具，其特征在于，包括有吸附载体，所述吸附载体的一侧端面上可旋转地安装有高速旋转接头(6)，所述吸附载体的另一侧端面延伸出环形凸台(33)，在所述环形凸台(33)上均匀开设若干个吸附槽(32)，在所述吸附载体的内部开设导气通道，利用所述导气通道将高速旋转接头(6)与吸附槽(32)连通。2.根据权利要求1所述的石英环的加工固定治具，其特征在于，所述吸附载体包括有固定盘(5)、吸盘(3)；固定盘(5)的一侧端面可旋转地安装着高速旋转接头(6)，固定盘(5)的另一侧端面上内嵌有十字型的导气槽(51)，固定盘(5)的另一侧端面上在十字型的导气槽(51)边缘外侧内嵌有密封槽(54)，该密封槽(54)内设置有密封圈(4)，用该密封圈(4)围成一个包裹住导气槽(51)的空间，而且密封槽(54)的深度小于密封圈(4)直径；将吸盘(3)挤压密封圈(4)后盖合装配在固定盘(5)上共同构成所述吸附载体。3.根据权利要求2所述的石英环的加工固定治具，其特征在于，所述吸盘(3)背离固定盘(5)的一侧端面向外延伸出所述环形凸台(33)，吸盘(3)上开设有若干个用于将所述吸附槽(32)与导气槽(54)相连通的通孔(31)，导气槽(51)、通孔(31)共同构成所述导气通道。4.根据权利要求2所述的石英环的加工固定治具，其特征在于，所述固定盘(5)的一侧端面向外延伸出夹持部(52)，夹持部(52)的轴线与固定盘(5)的轴线重合，固定盘(5)圆心位置开设有安装孔(53)，该安装孔(53)延伸至夹持部(52)表面，高速旋转接头(6)可旋转地密封装配在该安装孔(53)内。5.一种石英环的加工方法，其特征在于，包括以下技术步骤：S1：取一枚待加工的石英环产品固定于治具上，将治具固定于车床；S2：选用一把100#～170#金属刀具(91)沿产品径向对产品内外径进行靠刀粗加工，单边留余量0.5～1mm之间；S3：选用一把200#～325#金属刀具(92)沿产品轴向对产品内外径进行半精加工，单边留余量0.1～0.2mm之间；S4：选用一把400#～500#树脂刀具(93)沿产品轴向对产品内外径进行精加工。6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪俊，郑明山，张强，杨军，
申请(专利权)人：浙江富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：