石英舟用检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了石英舟用检测装置，包括：载置部，用于载置石英舟；安装座，至少在所述石英舟被检测的状态下位于所述载置部的上方，所述安装座上设置有沿上下方向移动的第一引导部；检具，用于检测所述石英舟，所述检具搭载在所述第一引导部上，所述检具包括主体，所述主体设置有沿作为厚度方向的前后方向间隔且平行地排列的多个检测齿，所述检测齿的厚度均相同。本实用新型专利技术的石英舟用检测装置，能够提高对石英舟的检测效率。提高对石英舟的检测效率。提高对石英舟的检测效率。

【技术实现步骤摘要】
石英舟用检测装置


[0001]本技术涉及检测设备
，尤其涉及石英舟用检测装置。

技术介绍

[0002]生产用的工装、夹具等通常需要保持高度的一致性。例如，在太阳能电池的生产的过程中，会使用到用于装载硅片的石英舟。石英舟上设置有用于容纳硅片的、沿石英舟的长度方向均匀分布的多个卡槽。硅片通常通过机械手等插入到石英舟的卡槽中(也称插片)。在卡槽的尺寸出现偏差的情况下，可能会导致插片失败进而导致硅片破碎。
[0003]因此，对于石英舟的卡槽的位置精度以及一致性要求非常高。在使用石英舟之前，需要先对石英舟的这些卡槽的精度进行检测。现有技术当中，通常是通过例如三坐标测量仪对石英舟的精度进行检测，效率非常低。并且，由于石英舟的使用量非常大，而三坐标测量仪的检测效率低，因此通常只能进行抽检。这可能会导致精度不符合要求的石英舟在生产现场被使用。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少一定程度上解决现有技术问题之一。为此，本技术提出了一种石英舟用检测装置，能够提高对石英舟的检测效率。
[0005]根据本技术一方面的石英舟用检测装置，包括：载置部，用于载置石英舟；安装座，至少在所述石英舟被检测的状态下位于所述载置部的上方，所述安装座上设置有沿上下方向移动的第一引导部；检具，用于检测所述石英舟，所述检具搭载在所述第一引导部上，所述检具包括主体，所述主体设置有沿作为厚度方向的前后方向间隔且平行地排列的多个检测齿，所述检测齿的厚度均相同。
[0006]根据本技术一方面的石英舟用检测装置，具有如下有益效果：能够提高对石英舟的检测效率。
[0007]在一些实施例中，还包括第二引导部，所述第二引导部可沿前后方向移动；所述安装座搭载在所述第二引导部上，并通过所述第二引导部移动到所述载置部的上方，或者从所述载置部的上方移开。
[0008]在一些实施例中，还包括锁紧部，所述锁紧部和所述安装座连接；在所述安装座位于所述载置部的上方的状态下，所述安装座沿前后方向被所述锁紧部锁紧。
[0009]在一些实施例中，还包括第一调节部，所述第一调节部沿前后方向对所述检具进行调节。
[0010]在一些实施例中，所述第一调节部搭载在所述第二引导部上并与所述安装座连接，通过沿前后方向对所述安装座进行调节以使得所述检具沿前后方向被调节。
[0011]在一些实施例中，所述第一调节部包括沿前后方向对所述安装座进行调节的第一调节螺杆。
[0012]在一些实施例中，还包括第二调节部，所述第二调节部沿左右方向对所述检具进
行调节。
[0013]在一些实施例中，所述第二调节部搭载在所述安装座上，所述第二调节部包括沿左右方向对所述检具进行调节的第二调节螺杆。
[0014]在一些实施例中，所述载置部包括：支撑座，用于支撑石英舟；第一定位件，设置在所述支撑座的左右方向的一侧；第一固定部，设置在所述支撑座的左右方向的另一侧，具有第一推动件，所述第一推动件可沿左右方向被驱动，在所述石英舟被支撑在所述支撑座的状态下，所述第一推动件推动所述石英舟在左右方向抵接所述第一定位件；第二定位件，设置在所述支撑座的前后方向的一侧；第二固定部，设置在所述支撑座的前后方向的另一侧，具有第二推动件，所述第二推动件可沿前后方向被驱动，在所述石英舟被支撑在所述支撑座的状态下，所述第二推动件推动所述石英舟在前后方向抵接所述第二定位件。
[0015]在一些实施例中，所述第一固定部还具有：第一弹簧，沿靠近所述石英舟的方向对所述第一推动件施力，以使所述第一推动件抵接并推动所述石英舟；拉手件，和所述第一推动件连接。
[0016]在一些实施例中，所述第二固定部还具有：螺杆件，所述螺杆件的轴向的一端和所述第二推动件连接；旋转把手，和所述螺杆件的轴向的另一端连接；所述螺杆件经由所述旋转把手被驱动进给，以使所述第二推动件抵接并推动所述石英舟。
[0017]在一些实施例中，所述检具相对上下方向倾斜地被搭载于所述第一引导部。
[0018]在一些实施例中，所述检测齿分别具有：第一检测部，设置在所述主体的下侧部的左侧；第二检测部，设置在所述下侧部的右侧；一个所述检测齿的所述第一检测部的下表面以及所述第二检测部的下表面，分别朝下突出于其后面的另一个所述检测齿的所述第一检测部的下表面以及所述第二检测部的下表面。
[0019]在一些实施例中，多个所述检测齿沿前后方向均匀地排列；所述检测齿的厚度为0.5mm以上且0.6mm以下；且一个所述检测齿的后表面与其前面的另一个所述检测齿的后表面之间的距离为3.14mm以上且3.16mm以下，或者，为2.37mm以上且2.39mm以下，或者，为2.71mm以上且2.73mm以下。
附图说明
[0020]图1是本技术的石英舟用检测装置的一种实施例的、装载有石英舟的状态下的示意图。
[0021]图2是石英舟用检测装置的要部的立体图。
[0022]图3是图1的载置部的示意图。
[0023]图4是图3中的第一固定部的一种实施例的示意图。
[0024]图5是图4的第一固定部的局部爆炸图。
[0025]图6是图3中的第二固定部的一种实施例的示意图。
[0026]图7是本技术的第一方面的石英舟用检具的一种实施例的立体图。
[0027]图8是图7的检具的仰视图。
[0028]图9是图7的检具的俯视图。
[0029]图10是图7的检具的左视图。
[0030]图11是将图10的检具相对上下方向倾斜的左视图。
[0031]图12是现有的石英舟的结构的一种实施例的示意图。
[0032]图13是图12中的A处的局部放大图。
[0033]图14是图12中的B处的局部放大图。
具体实施方式
[0034]下面详细描述本实施方式的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实施方式，而不能理解为对本实施方式的限制。
[0035]在本实施方式的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实施方式的限制。
[0036]在本实施方式的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0037]本实施方式的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.石英舟用检测装置，其特征在于，包括：载置部，用于载置石英舟；安装座，至少在所述石英舟被检测的状态下位于所述载置部的上方，所述安装座上设置有沿上下方向移动的第一引导部；检具，用于检测所述石英舟，所述检具搭载在所述第一引导部上，所述检具包括主体，所述主体设置有沿作为厚度方向的前后方向间隔且平行地排列的多个检测齿，所述检测齿的厚度均相同。2.根据权利要求1所述的石英舟用检测装置，其特征在于，还包括第二引导部，所述第二引导部可沿前后方向移动；所述安装座搭载在所述第二引导部上，并通过所述第二引导部移动到所述载置部的上方，或者从所述载置部的上方移开。3.根据权利要求2所述的石英舟用检测装置，其特征在于，还包括锁紧部，所述锁紧部和所述安装座连接；在所述安装座位于所述载置部的上方的状态下，所述安装座沿前后方向被所述锁紧部锁紧。4.根据权利要求2或3所述的石英舟用检测装置，其特征在于，还包括第一调节部，所述第一调节部沿前后方向对所述检具进行调节。5.根据权利要求4所述的石英舟用检测装置，其特征在于，所述第一调节部搭载在所述第二引导部上并与所述安装座连接，通过沿前后方向对所述安装座进行调节以使得所述检具沿前后方向被调节。6.根据权利要求5所述的石英舟用检测装置，其特征在于，所述第一调节部包括沿前后方向对所述安装座进行调节的第一调节螺杆。7.根据权利要求1所述的石英舟用检测装置，其特征在于，还包括第二调节部，所述第二调节部沿左右方向对所述检具进行调节。8.根据权利要求7所述的石英舟用检测装置，其特征在于，所述第二调节部搭载在所述安装座上，所述第二调节部包括沿左右方向对所述检具进行调节的第二调节螺杆。9.根据权利要求1、5、6或7所述的石英舟用检测装置，其特征在于，所述载置部包括：支撑座，用于支撑石英舟；第一定位件，设置在所述支撑座的左右方向的一侧；第一固定部，设置在所述支撑座的左右方向的另一侧，具有第一推动件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨光，林金雨，罗伟斌，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：