一种防掉落的晶圆抓取机械手制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防掉落的晶圆抓取机械手，设置有便于调节位置的水平移动组件；包括：移动块，嵌套连接于所述水平移动组件的下表面，且移动块的上表面端部安装有移动平台，并且移动平台的内表面下侧嵌套有导轨，同时移动平台的内表面后端组装有啮合转动的直齿齿轮；齿条，啮合连接于所述直齿齿轮的外表面端部，且齿条的外表面端部安装有竖直移动组件。该防掉落的晶圆抓取机械手，设置有通过特殊表面处理的吸气临街垫进行吸附晶圆，有效的避免造成晶圆划伤，以及设置的锥形齿轮和锥形齿轮二的调节，可以将机械手臂实现180旋转，可以有效的避免晶圆发生碰撞造成的损失。以有效的避免晶圆发生碰撞造成的损失。以有效的避免晶圆发生碰撞造成的损失。

【技术实现步骤摘要】
一种防掉落的晶圆抓取机械手


[0001]本技术涉及晶圆抓取
，具体为一种防掉落的晶圆抓取机械手。

技术介绍

[0002]晶圆抓取，通过控制机械手进行水平、高度调节，对晶圆进行抓取，且抓取时一般采用底部支撑的方式进行移动晶圆位置，防止晶圆出现脱落，但现有的抓取机械手在使用时还存在一定的缺陷，比如：
[0003]现有技术方案存在：在使用时，机械手支撑移动不稳定时，容易造成晶圆的表面受损，且需要调节位置进行检测时，不方便调节晶圆的角度。
[0004]针对上述问题，急需在原有抓取机械手结构的基础上进行创新设计。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种防掉落的晶圆抓取机械手，以解决上述
技术介绍
中提出在使用时，机械手支撑移动不稳定时，容易造成晶圆的表面受损，且需要调节位置进行检测时，不方便调节晶圆的角度的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种防掉落的晶圆抓取机械手，设置有便于调节位置的水平移动组件；
[0007]包括：
[0008]移动块，嵌套连接于所述水平移动组件的下表面，且移动块的上表面端部安装有移动平台，并且移动平台的内表面下侧嵌套有导轨，同时移动平台的内表面后端组装有啮合转动的直齿齿轮；
[0009]齿条，啮合连接于所述直齿齿轮的外表面端部，且齿条的外表面端部安装有竖直移动组件，并且竖直移动组件的上表面转动连接有锥形齿轮一，同时锥形齿轮一的外表面下侧前端啮合连接有锥形齿轮二；
[0010]旋转组件，安装于所述锥形齿轮二的下表面端部，并将旋转组件嵌套在竖直移动组件内表面上端，并且旋转组件的内表面嵌套有气压管，同时旋转组件的下表面左右端组装有弯折状的连接件；
[0011]连接板，嵌套连接于所述连接件的外表面，且连接板的外表面上下侧安装有定位销，并且连接板上表面的定位销的外侧连接有旋转组件，并在连接板下表面的定位销的外侧组装有支撑板；
[0012]上不锈钢片，嵌套于所述支撑板的外表面左右两侧，且上不锈钢片的下表面粘连有粘合层，并且粘合层的下表面粘连有下不锈钢片，同时下不锈钢片的下表面组装有连接垫，并在上不锈钢片和下不锈钢片之间开设内置槽，形成真空槽，以及下不锈钢片设置的内置槽内表面下侧开设通孔。
[0013]通过上述结构，在使用时稳定的支撑调节，且配合转动结旋转抓取位置，并配合装置进行有效的吸附移动。
[0014]优选的，所述水平移动组件通过移动块与移动平台构成嵌套的移动结构，且移动块与移动平台构成整体化结构，并且移动平台与导轨构成限位的滑动结构。
[0015]通过上述结构，在使用时稳定的水平移动，防止出现脱落或者倾斜。
[0016]优选的，所述齿条与竖直移动组件外表面前端两侧嵌入式安装设置，且竖直移动组件通过直齿齿轮和齿条与移动平台构成啮合调节的限位移动结构。
[0017]通过上述结构，在使用时限位上下移动装置位置，可有效的调节装置的高度。
[0018]优选的，所述锥形齿轮一通过锥形齿轮二与旋转组件构成啮合转动结构，且旋转组件与竖直移动组件构成嵌套结构，并且旋转组件与连接件构成整体化结构。
[0019]通过上述结构，在使用时便于形成旋转调节，有效的控制部件进行定位调节，且调节连接件的位置。
[0020]优选的，所述连接件与连接板和支撑板构成贯穿结构，且连接件的外表面形状呈圆弧状结构，并且连接板通过定位销与支撑板构成限位的嵌套结构，同时支撑板关于连接板的外表面中段对称设置。
[0021]通过上述结构，在使用时贯穿组装，可同步调节装置的位置，且对称设置，便于后期组装抓取装置使用。
[0022]优选的，所述上不锈钢片通过粘合层与下不锈钢片构成黏合结构，且上不锈钢片与下不锈钢片之间与连接件构成嵌套结构，并且连接垫与下不锈钢片下表面端部嵌入式安装设置，同时通孔关于内置槽的内表面边端等距离设置。
[0023]通过上述结构，在使用时进行稳定的黏合，形成真空设置，并配合连接垫和通孔的设置，有效的进行吸附。
[0024]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0025]1.该防掉落的晶圆抓取机械手，设置有通过特殊表面处理的吸气临街垫进行吸附晶圆，有效的避免造成晶圆划伤，以及设置的锥形齿轮和锥形齿轮二的调节，可以将机械手臂实现180旋转，可以有效的避免晶圆发生碰撞造成的损失；
[0026]2.该防掉落的晶圆抓取机械手，设置有上不锈钢片和下不锈钢片，在其内表面开槽，并对下不锈钢片的内置槽中设置通孔，加工时保证不锈钢片的平面度，再通过粘连层胶合，将两个材料进行密封，实现抽真空，这样就可以将晶圆牢固的吸附在机械手臂上，避免了出现晶圆吸不牢造成摔片的风险。
附图说明
[0027]图1为本技术立体结构示意图；
[0028]图2为本技术水平移动组件半剖视立体结构示意图；
[0029]图3为本技术移动平台立体结构示意图；
[0030]图4为本技术上不锈钢片半剖视立体结构示意图；
[0031]图5为本技术爆炸立体结构示意图。
[0032]图中：1、水平移动组件；2、移动块；3、移动平台；4、导轨；5、直齿齿轮；6、齿条；7、竖直移动组件；8、锥形齿轮一；9、锥形齿轮二；10、旋转组件；11、气压管；12、连接件；13、连接板；14、定位销；15、支撑板；16、上不锈钢片；17、粘合层；18、下不锈钢片；19、连接垫；20、内置槽；21、通孔。
具体实施方式
[0033]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0034]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种技术方案：一种防掉落的晶圆抓取机械手，设置有便于调节位置的水平移动组件1；
[0035]包括：
[0036]移动块2，嵌套连接于水平移动组件1的下表面，且移动块2的上表面端部安装有移动平台3，并且移动平台3的内表面下侧嵌套有导轨4，同时移动平台3的内表面后端组装有啮合转动的直齿齿轮5；
[0037]齿条6，啮合连接于直齿齿轮5的外表面端部，且齿条6的外表面端部安装有竖直移动组件7，并且竖直移动组件7的上表面转动连接有锥形齿轮一8，同时锥形齿轮一8的外表面下侧前端啮合连接有锥形齿轮二9；
[0038]水平移动组件1通过移动块2与移动平台3构成嵌套的移动结构，且移动块2与移动平台3构成整体化结构，并且移动平台3与导轨4构成限位的滑动结构。
[0039]齿条6与竖直移动组件7外表面前端两侧嵌入式安装设置，且竖直移动组件7通过直齿齿轮5和齿条6与移动平台3构成啮合调节的限位移动结构。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防掉落的晶圆抓取机械手，设置有便于调节位置的水平移动组件；其特征在于，包括：移动块，嵌套连接于所述水平移动组件的下表面，且移动块的上表面端部安装有移动平台，并且移动平台的内表面下侧嵌套有导轨，同时移动平台的内表面后端组装有啮合转动的直齿齿轮；齿条，啮合连接于所述直齿齿轮的外表面端部，且齿条的外表面端部安装有竖直移动组件，并且竖直移动组件的上表面转动连接有锥形齿轮一，同时锥形齿轮一的外表面下侧前端啮合连接有锥形齿轮二；旋转组件，安装于所述锥形齿轮二的下表面端部，并将旋转组件嵌套在竖直移动组件内表面上端，并且旋转组件的内表面嵌套有气压管，同时旋转组件的下表面左右端组装有弯折状的连接件；连接板，嵌套连接于所述连接件的外表面，且连接板的外表面上下侧安装有定位销，并且连接板上表面的定位销的外侧连接有旋转组件，并在连接板下表面的定位销的外侧组装有支撑板；上不锈钢片，嵌套于所述支撑板的外表面左右两侧，且上不锈钢片的下表面粘连有粘合层，并且粘合层的下表面粘连有下不锈钢片，同时下不锈钢片的下表面组装有连接垫，并在上不锈钢片和下不锈钢片之间开设内置槽，形成真空槽，以及下不锈钢片设置的内置槽内表面下侧开设通孔。2.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅丁丁，
申请(专利权)人：浙江载力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：