一种适用于晶圆盒的推料机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种适用于晶圆盒的推料机构，包括机架和推料限位机构，机架上沿着X轴方向的两侧均设置有推料限位机构，且两个推料限位机构均沿着Y轴方向设置，推料限位机构包括推料限位电机、转动块、转轴和限位推块。本实用新型专利技术一种适用于晶圆盒的推料机构，通过机架上的两个推料限位机构可以对偏移的晶圆进行推料处理，避免晶圆偏移对后续加工带来的不利影响；通过感应片和传感器机构的结构设置，可以感应限位推块的位置，可控性较强。可控性较强。可控性较强。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于晶圆盒的推料机构


[0001]本技术涉及晶圆加工相关
，尤其涉及一种适用于晶圆盒的推料机构。

技术介绍

[0002]晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒中的晶圆在加工过程中可能会产生偏移的情况，需要设计一种推料机构对晶圆进行限位处理。
[0003]有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种适用于晶圆盒的推料机构，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种适用于晶圆盒的推料机构。
[0005]为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种适用于晶圆盒的推料机构，包括机架和推料限位机构，机架上沿着X 轴方向的两侧均设置有推料限位机构，且两个推料限位机构均沿着Y轴方向设置，推料限位机构包括推料限位电机、转动块、转轴和限位推块，推料限位电机沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过丝杆和丝杆螺母与转动块相连接，转动块与转轴相连接，转轴通过轴承安装在机架上，转轴的底部通过连接杆与限位推块相连接，转动块的顶部还设置有感应片，转动块沿着Y轴正方向一侧的机架上设置有与感应片相配合的传感器机构，传感器机构位于感应片的上方位置。
[0007]作为本技术的进一步改进，两个推料限位机构均设置在靠近Y轴负方向一侧的机架上。
[0008]作为本技术的进一步改进，两个推料限位机构均设置在靠近Y轴正方向一侧的机架上。
[0009]作为本技术的进一步改进，两个推料限位机构均设置在沿着Y轴方向上中间位置的机架上。
[0010]作为本技术的进一步改进，一个推料限位机构设置在靠近Y轴负方向一侧的机架上，另一个推料限位机构设置在靠近Y轴正方向一侧的机架上。
[0011]作为本技术的进一步改进，传感器机构包括第一传感器和第二传感器。
[0012]作为本技术的进一步改进，限位推块为圆柱状的PEEK材质推轮。
[0013]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0014]本技术一种适用于晶圆盒的推料机构，通过机架上的两个推料限位机构可以对偏移的晶圆进行推料处理，避免晶圆偏移对后续加工带来的不利影响；通过感应片和传感器机构的结构设置，可以感应限位推块的位置，可控性较强。
[0015]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技
术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0017]图1是本技术一种适用于晶圆盒的推料机构的结构示意图；
[0018]图2是图1中推料限位机构的结构示意图。
[0019]其中，图中各附图标记的含义如下。
[0020]1机架
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2推料限位机构
[0021]3推料电机
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4电机支架
[0022]5丝杆螺母
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6转动块
[0023]7转轴
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8轴承
[0024]9感应片
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10连接杆
[0025]11限位推块
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12传感器机构
[0026]13第一传感器
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14第二传感器
具体实施方式
[0027]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0028]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]实施例
[0030]如图1～图2所示，
[0031]一种适用于晶圆盒的推料机构，包括机架1和推料限位机构2，机架1上沿着X轴方向的两侧均设置有推料限位机构2，且两个推料限位机构2均沿着Y 轴方向设置，推料限位机构2包括推料限位电机3、转动块6、转轴7和限位推块11，推料限位电机3沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过丝杆和丝杆螺母18 与转动块6相连接，转动块6与转轴7相连接，转轴7通过轴承8安装在机架1 上，转轴7的底部通过连接杆10与限位推块11相连接，转动块6的顶部还设置有感应片9，转动块6沿着Y轴正方向一侧的机架1上设置有与感应片9相配合的传感器机构12，传感器机构12位于感应片9的上方位置。
[0032]优选的，两个推料限位机构2均设置在靠近Y轴负方向一侧的机架1上。
[0033]优选的，两个推料限位机构2均设置在靠近Y轴正方向一侧的机架1上。
[0034]优选的，两个推料限位机构2均设置在沿着Y轴方向上中间位置的机架1 上。
[0035]优选的，一个推料限位机构2设置在靠近Y轴负方向一侧的机架1上，另一个推料限位机构2设置在靠近Y轴正方向一侧的机架1上。
[0036]优选的，传感器机构12包括第一传感器13和第二传感器14。其中，感应片9分别位于第一传感器13和第二传感器14的感应区域时，代表限位推块11 位于不同的操作位置，可以对限位推块11进行位置监控。
[0037]优选的，限位推块11为圆柱状的PEEK材质推轮。
[0038]本技术一种适用于晶圆盒的推料机构，通过机架上的两个推料限位机构可以对偏移的晶圆进行推料处理，避免晶圆偏移对后续加工带来的不利影响；通过感应片和传感器机构的结构设置，可以感应限位推块的位置，可控性较强。
[0039]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于晶圆盒的推料机构，其特征在于，包括机架(1)和推料限位机构(2)，所述机架(1)上沿着X轴方向的两侧均设置有推料限位机构(2)，且两个所述推料限位机构(2)均沿着Y轴方向设置，所述推料限位机构(2)包括推料限位电机(3)、转动块(6)、转轴(7)和限位推块(11)，所述推料限位电机(3)沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过丝杆和丝杆螺母(18)与转动块(6)相连接，所述转动块(6)与转轴(7)相连接，所述转轴(7)通过轴承(8)安装在机架(1)上，所述转轴(7)的底部通过连接杆(10)与限位推块(11)相连接，所述转动块(6)的顶部还设置有感应片(9)，所述转动块(6)沿着Y轴正方向一侧的机架(1)上设置有与感应片(9)相配合的传感器机构(12)，所述传感器机构(12)位于感应片(9)的上方位置。2.如权利要求1所述的一种适用于晶圆盒的推料机构，其特征在于，两...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈曙光，林坚，王彭，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：