一种硅片插片机及硅片插片方法技术

本发明专利技术属于半导体加工技术领域，公开了一种硅片插片机及硅片插片方法，硅片插片机包括输送机构及花篮切换机构，输送机构包括输送线体和绕设于输送线体上的输送带，输送带输送硅片，花篮切换机构包括两个花篮承载板，两个花篮承载板均能沿竖直方向升降，以使承载于花篮承载板上的花篮的多个放置层能够逐一地与输送带对接，当位于靠近输送带上游的一侧的花篮承载板上的花篮下降至输送线体的下方或位于靠近输送带上游的一侧的花篮承载板上升至输送线体的上方时，输送带位于下游的端部能够朝向位于远离输送带上游的一侧的花篮承载板移动，并与位于远离输送带上游的一侧的花篮承载板上的花篮对接，以提高硅片插片机的工作效率，进而提高硅片的产能。进而提高硅片的产能。进而提高硅片的产能。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片插片机及硅片插片方法


[0001]本专利技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种硅片插片机及硅片插片方法。

技术介绍

[0002]作为半导体产业的主要耗材，硅片在制造过程中需要经过生产、加工及检测等多个工序，为了便于在各个工站之间运输硅片，现有技术中通常采用花篮放置硅片，即在硅片的制造过程中将载有硅片的花篮由一个工站搬运至另一个工站。
[0003]为了将硅片收集至花篮中，每个工站均设置有硅片插片机，现有技术中的硅片插片机通常设置有输送线及两个花篮承载板，输送线用于输送硅片，两个花篮承载板沿水平面内垂直于输送线的输送方向的方向间隔设置，两个花篮承载板均能够承载花篮，并均能够沿其排列方向移动，以使承载于两个花篮承载板上的两个花篮交替地与输送线对接，从而实现花篮的切换。但通过上述方式切换花篮所花费的时间较久，导致现有技术中的硅片插片机的工作效率较低，进而导致硅片的产能较低。
[0004]因此，上述问题亟待解决。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种硅片插片机及硅片插片方法，以提高工作效率，进而提高硅片的产能。
[0006]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]本专利技术一方面提供了一种硅片插片机，包括：
[0008]输送机构，包括输送线体和绕设于所述输送线体上的输送带，所述输送带被配置为输送硅片；及
[0009]花篮切换机构，包括两个花篮承载板，两个所述花篮承载板均能够沿竖直方向升降，以使承载于所述花篮承载板上的花篮的多个放置层能够逐一地与所述输送带位于下游的端部对接，当承载于位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上的所述花篮下降至所述输送线体的下方或位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上升至所述输送线体的上方时，所述输送带位于下游的端部能够朝向位于远离所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板移动，并与位于远离所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上的所述花篮的放置层对接。
[0010]作为优选，所述硅片插片机还包括花篮上下料机构，所述输送带于插片工位处与所述花篮的放置层对接，所述花篮上下料机构能够驱动任意一个所述花篮承载板在所述插片工位和花篮上下料工位之间移动。
[0011]作为优选，所述花篮上下料机构包括两个第一驱动件及两个第二驱动件，两个所述第一驱动件一一对应连接于两个所述花篮承载板，并被配置为分别驱动两个所述花篮承载板沿垂直于所述输送带的输送方向的水平方向移动，两个所述第二驱动件被配置为分别驱动两个所述花篮承载板沿所述输送带的输送方向移动。
[0012]作为优选，所述花篮上下料机构还包括两个翻转组件，两个所述翻转组件与两个所述花篮承载板一一对应设置，两个所述翻转组件均包括：
[0013]托板，所述托板能够承载空载的所述花篮；及
[0014]第三驱动件，所述第三驱动件被配置为驱动所述托板翻转，以将空载的所述花篮由所述托板移转至所述花篮承载板上。
[0015]作为优选，所述托板固定连接于转轴，所述第三驱动件被配置为驱动所述转轴转动，所述翻转组件还包括位置检测件，所述位置检测件被配置为检测所述转轴的转动角度。
[0016]作为优选，所述输送线体包括第一线体部和第二线体部，所述输送带绕设于所述第一线体部和所述第二线体部上，所述第二线体部能够相对所述第一线体部沿所述输送带的输送方向移动。
[0017]作为优选，所述花篮切换机构还包括输送带补偿组件，所述输送带补偿组件被配置为使所述输送带保持于张紧状态。
[0018]作为优选，所述第一线体部远离所述第二线体部的一端及所述第二线体部远离所述第一线体部的一端分别设置有第一滚轮和第二滚轮，所述第二线体部滑动连接于基座，所述输送带补偿组件包括第三滚轮及第四滚轮，所述第三滚轮设置于所述第二线体部上远离所述第二滚轮的一端，所述第四滚轮设置于所述基座上远离所述第一线体部的一端，所述输送带绕设于所述第一滚轮、所述第二滚轮、所述第三滚轮及所述第四滚轮之间，当所述输送带位于下游的端部朝向位于远离所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板移动时，位于所述第一滚轮和所述第二滚轮之间的所述输送带增加的长度等于位于所述第三滚轮和所述第四滚轮之间的所述输送带减少的长度。
[0019]本专利技术另一方面还提供了一种基于上述的硅片插片机的硅片插片方法，所述硅片插片方法包括：
[0020]绕设于所述输送线体上的所述输送带输送所述硅片，位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板沿竖直方向上升或下降，承载于该花篮承载板上的所述花篮的多个放置层逐一地与所述输送带位于下游的端部对接；
[0021]当承载于位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上的所述花篮下降至所述输送线体的下方或位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上升至所述输送线体的上方时，所述输送带位于下游的端部朝向位于远离所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板移动；
[0022]位于远离所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板沿竖直方向上升或下降，承载于该花篮承载板上的所述花篮的多个放置层逐一地与所述输送带位于下游的端部对接。
[0023]作为优选，所述硅片插片方法还包括：
[0024]当承载于位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上的所述花篮下降至所述输送线体的下方或位于靠近所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板上升至所述输送线体的上方时，该花篮承载板移动至花篮上下料工位；
[0025]对承载于移动至所述花篮上下料工位的所述花篮承载板上的所述花篮进行下料作业，将空载的所述花篮放置至该花篮承载板上；
[0026]所述输送带位于下游的端部复位，远离所述输送带上游的一侧的所述花篮承载板与所述输送带同步移动至靠近所述输送带上游的一侧；
[0027]位于所述花篮上下料工位的所述花篮承载板移动至远离所述输送带上游的一侧。
[0028]本专利技术另一方面还提供了
[0029]本专利技术的有益效果：本专利技术中，两个花篮承载板能够沿输送带的输送方向间隔设置，输送带能够与分别承载于两个花篮承载板上的两个花篮的放置层依次对接，当承载于位于靠近输送带上游的一侧的花篮承载板上的花篮满载有硅片后，输送带位于下游的端部能够朝向位于远离输送带上游的一侧的花篮承载板移动，并与位于远离输送带上游的一侧的花篮承载板上的花篮的放置层对接，以带动硅片直接移动至承载于位于远离输送带上游的一侧的花篮承载板上的花篮处，承载于位于远离输送带上游的一侧的花篮承载板上的花篮直接对硅片进行收料，从而减少切换花篮所花费的时间，以提高硅片插片机的工作效率，进而提高硅片的产能。
附图说明
[0030]图1是本专利技术实施例中的硅片插片机的结构示意图；
[0031]图2是图1中A处的局部放大图；
[0032]图3是本专利技术实施例中的硅片插片机的俯视图；
[0033]图4是本专利技术实施例中的输送机构及输送带补偿组件的结构示意图；
[0034]图5是本专利技术实施例中的硅片插片方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片插片机，其特征在于，包括：输送机构(210)，包括输送线体(211)和绕设于所述输送线体(211)上的输送带(212)，所述输送带(212)被配置为输送硅片；及花篮切换机构，包括两个花篮承载板(221)，两个所述花篮承载板(221)均能够沿竖直方向升降，以使承载于所述花篮承载板(221)上的花篮(100)的多个放置层能够逐一地与所述输送带(212)位于下游的端部对接，当承载于位于靠近所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)上的所述花篮(100)下降至所述输送线体(211)的下方或位于靠近所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)上升至所述输送线体(211)的上方时，所述输送带(212)位于下游的端部能够朝向位于远离所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)移动，并与位于远离所述输送带(212)上游的一侧的所述花篮承载板(221)上的所述花篮(100)的放置层对接。2.根据权利要求1所述的硅片插片机，其特征在于，所述硅片插片机还包括花篮上下料机构(230)，所述输送带(212)于插片工位处与所述花篮(100)的放置层对接，所述花篮上下料机构(230)能够驱动任意一个所述花篮承载板(221)在所述插片工位和花篮上下料工位之间移动。3.根据权利要求2所述的硅片插片机，其特征在于，所述花篮上下料机构(230)包括两个第一驱动件(231)及两个第二驱动件(232)，两个所述第一驱动件(231)一一对应连接于两个所述花篮承载板(221)，并被配置为分别驱动两个所述花篮承载板(221)沿垂直于所述输送带(212)的输送方向的水平方向移动，两个所述第二驱动件(232)被配置为分别驱动两个所述花篮承载板(221)沿所述输送带(212)的输送方向移动。4.根据权利要求2所述的硅片插片机，其特征在于，所述花篮上下料机构(230)还包括两个翻转组件(233)，两个所述翻转组件(233)与两个所述花篮承载板(221)一一对应设置，两个所述翻转组件(233)均包括：托板(2331)，所述托板(2331)能够承载空载的所述花篮(100)；及第三驱动件(2332)，所述第三驱动件(2332)被配置为驱动所述托板(2331)翻转，以将空载的所述花篮(100)由所述托板(2331)移转至所述花篮承载板(221)上。5.根据权利要求4所述的硅片插片机，其特征在于，所述托板(2331)固定连接于转轴(2333)，所述第三驱动件(2332)被配置为驱动所述转轴(2333)转动，所述翻转组件(233)还包括位置检测件(2334)，所述位置检测件(2334)被配置为检测所述转轴(2333)的转动角度。6.根据权利要求1所述的硅片插片机，其特征在于，所述输送线体(211)包括第一线体部(2111)和第二线体部(2112)，所述输送带(212)绕设于所述第一线体部(2111)和所述第二线体部(2112)上，所述第二线体部(2112)能够相对所述第一线体部(2111)沿所述输送带(212)的输送方向移动。7.根据权利要求6所述的硅片插片机，其特征在于，所述花篮切换机构还包括输送带补偿组件，所述输送带补偿组件被配置为使所述输送带(212)保持于张...

【专利技术属性】
技术研发人员：周帅，
申请(专利权)人：苏州博众智能机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：