本发明专利技术涉及MPCVD设备及其天线张紧装置，MPCVD设备包括天线张紧装置，天线张紧装置包括固定套、转动套、张紧弹簧，张紧弹簧的一端顶压在转动套上，另一端用于顶压在MPCVD设备的转换模块上，固定套包括主体套和抱箍，转动套螺纹连接在主体套上，转动套和主体套自下而上滑动套装在天线上，抱箍处于松开状态时，与天线形成间隙配合，以供抱箍滑动套装在天线上，抱箍处于抱紧状态时，与天线锁紧固定，在抱箍处于抱紧状态时抱箍与主体套固定连接；天线张紧装置在天线上快速移动到合适位置后，与天线固定，提高了安装效率，实现快速拆卸，不需要在天线上设置螺纹，有利于避免天线受到过大的扭力而损坏。力而损坏。力而损坏。
【技术实现步骤摘要】
MPCVD设备及其天线张紧装置
[0001]本专利技术涉及化学气相沉积工艺
，具体涉及MPCVD设备及其天线张紧装置。
技术介绍
[0002]微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法是制备高品质单晶金刚石的首选方法。MPCVD设备即微波等离子体化学气相沉积设备，如申请公布号为CN114196946A的专利申请文件中公开的MPCVD装置，包括微波源、波导管、模式转换器、生长腔体，生长腔体即反应腔体，模式转换器内部设有天线，天线上端与水冷铜台固定，水冷铜台即基片台，水冷铜台下方设有石英环，石英环压在生长腔体的腔体底板上，微波源产生的微波经波导管进入模式转换器内，再由天线导入至生长腔体内。
[0003]由于高品质单晶金刚石生长需要特殊的生长环境，对MPCVD设备的设计及安装提出了更高的要求。MPCVD设备腔体的真空度是评价设备是否合格的重要因素之一，为了保证生长腔的真空度，需要设置相应的天线张紧装置，通过天线张紧装置下拉天线，使上方的基片台压紧石英环，石英环压紧在腔体底板上，石英环与基片台之间以及石英环与腔体底板之间均设有密封垫，以实现密封，将生长腔与波导腔隔开。
[0004]申请公布号为CN110684961A的专利申请文件中公开了一种用于MPCVD的张紧装置，包括反应腔体和连杆，连杆即天线，连杆的上端穿过反应腔体的腔体底板，连杆的上端安装有平面板，平面板即基片台，在平面板的底面安装有封闭环，封闭环即石英环，封闭环阻止反应腔和波导腔内的气体相互流通，反应腔体的下方设有连接环、波导腔体，连杆向下穿出腔体底板，并穿过连接环、波导腔体，连杆上安装有位于波导腔体下方的张紧装置，张紧装置包括张紧螺母，张紧螺母与连杆通过螺纹连接，通过旋拧张紧螺母能够给连杆一个向下的张紧力，从而使封闭环与平面板及腔体底板顶压密封，通过旋转张紧螺母可对连杆的张紧力进行调整。
[0005]基片台和封闭环构成上端模块，天线的上端与上端模块固定，上端模块顶压密封在反应腔体的腔体底板的上侧面，套设在连杆上且位于张紧装置与腔体底板之间的各部件构成转换模块，即连接环、波导腔体构成转换模块，转换模块与反应腔体的腔体底板固定。在实际使用时，由于张紧螺母直接螺纹连接在天线上，在旋拧张紧螺母时，张紧螺母的旋拧力直接作用到天线上，容易使天线变形，影响天线的使用；而且，在安装张紧装置时，需要使张紧螺母自下而上地旋拧到天线上，需要走过较长一段的螺纹才能实现天线的张紧，安装效率较低。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的在于提供一种MPCVD设备的天线张紧装置，以解决现有的MPCVD设备的天线张紧装置使用不可靠且安装效率较低的问题；本专利技术的目的还在于提供一种MPCVD设备，以解决现有的MPCVD设备的天线张紧装置使用不可靠且安装效率较低的问题。
[0007]本专利技术的MPCVD设备的天线张紧装置的技术方案是：
[0008]MPCVD设备的天线张紧装置，包括固定套、转动套、张紧弹簧，张紧弹簧、转动套、固定套用于套装在天线上，张紧弹簧的一端顶压在转动套上，另一端用于顶压在MPCVD设备的转换模块上，固定套包括主体套和抱箍，主体套和转动套两者中的一个上设有连接内螺纹，另一个上设有连接外螺纹，以供转动套螺纹连接在主体套上，转动套、主体套分别具有用于与天线间隙配合的中心孔，以供转动套和主体套自下而上滑动套装在天线上，抱箍具有松开状态和抱紧状态，当抱箍处于松开状态时，用于与天线形成间隙配合，以供抱箍滑动套装在天线上，当抱箍处于抱紧状态时，用于与天线锁紧固定，抱箍与主体套之间设有固定结构，固定结构用于在抱箍处于抱紧状态时使抱箍与主体套固定连接。
[0009]有益效果：在安装天线张紧装置时，固定套和转动套能够滑动套装在天线上，有利于天线张紧装置在天线上快速移动，在将天线张紧装置滑动套装到合适位置后，使抱箍抱紧天线，以使天线张紧装置与天线固定，同时可对张紧弹簧进行初步压缩，进而对天线进行预张紧，形成一次张紧，然后再通过旋拧转动套与固定套相对运动，进一步压缩张紧弹簧，对天线进行二次张紧，实现天线的最终张紧合适，提高了安装效率；在需要拆卸天线张紧装置时，可先通过旋拧转动套与固定套相对运动，使张紧弹簧的压缩量减少一定程度后，将抱箍松开，即可将天线张紧装置滑动卸下，拆卸操作方便，当然在张紧力允许的情况下，直接将抱箍松开卸下天线张紧装置，实现快速拆卸；而且，使固定套与转动套螺纹连接，不需要在天线上设置螺纹，有利于避免天线受到过大的扭力而损坏；同时，能够基于转动套和固定套的设置分别施加相反力矩，转动套能够被施与较大的力，从而使张紧弹簧获得较大的压缩量，在长时间使用过程中，持续保持对转换模块的顶压，进而保持对天线的张紧，有利于减少转动套的旋拧次数，提高使用可靠性。
[0010]进一步地，转动套包括连接套和顶压套，连接套的中心孔和顶压套的中心孔共同构成转动套的中心孔，连接套上设有沿上下方向布置的第一螺纹段和第二螺纹段，第一螺纹段与顶压套螺纹连接，顶压套用于顶压张紧弹簧，第二螺纹段与主体套螺纹连接。
[0011]有益效果：连接套、顶压套和固定套的相对旋动可改变三者的总高度以起到对张紧弹簧压缩和释放的作用，同时，通过设置具有两段螺纹的连接套，在固定套与连接套之间螺纹结构损坏后，还能够通过连接套和顶压套之间的螺纹结构对天线进行张紧和放松，避免设备无法及时拆卸维修。
[0012]进一步地，第一螺纹段与第二螺纹段的螺纹旋向相反。
[0013]有益效果：使两段螺纹旋向相反，连接套可相对固定套活动，顶压套可相对于连接套活动，这样在实际使用时，可采用相应的工具对连接套施加扭矩使其同时相对于顶压套和固定套活动，一次旋拧能够获得更大的调节量，提升安装锁紧效率。
[0014]进一步地，连接套包括上段、中段、下段，上段和下段均为螺杆段，中段为光杆段，上段构成所述第一螺纹段，下段上的螺纹构成所述连接外螺纹，下段构成第二螺纹段。
[0015]有益效果：连接套由光杆段和两螺杆段形成，利用外螺纹实现与顶压套和固定套的螺纹连接，方便加工。
[0016]进一步地，光杆段的外径大于螺杆段的外径。
[0017]有益效果：光杆段与螺杆段之间形成台阶，能够对连接套与主体套、连接套与顶压套之间的相对运动进行限制，避免损坏，同时，也方便利用工具对光杆段施力旋拧。
[0018]进一步地，主体套、连接套的光杆段、顶压套上均设有工具插入孔。
[0019]有益效果：方便扳手工具插入，可以选择性对各部分施加扭矩，方便操作。
[0020]进一步地，主体套包括主体部和螺杆部，螺杆部位于主体部的上侧，螺杆部上的螺纹构成所述连接外螺纹，转动套上设有所述连接内螺纹；主体部的外径大于螺杆部的外径。
[0021]有益效果：使得主体套的内孔为光孔，方便天线的穿设；同时，主体部与螺杆部之间的接合处能够形成台阶，从而对转动套的向下运动形成限位，避免转动套受力过大时损伤螺纹。
[0022]进一步地，所述固定结构为连接螺丝，主体套的下端面上设有沿上下方向延伸本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.MPCVD设备的天线张紧装置，其特征是，包括固定套、转动套、张紧弹簧(5)，张紧弹簧(5)、转动套、固定套用于套装在天线(8)上，张紧弹簧(5)的一端顶压在转动套上，另一端用于顶压在MPCVD设备的转换模块(4)上，固定套包括主体套(71)和抱箍(72)，主体套(71)和转动套两者中的一个上设有连接内螺纹，另一个上设有连接外螺纹，以供转动套螺纹连接在主体套(71)上，转动套、主体套(71)分别具有用于与天线(8)间隙配合的中心孔，以供转动套和主体套(71)自下而上滑动套装在天线(8)上，抱箍(72)具有松开状态和抱紧状态，当抱箍(72)处于松开状态时，用于与天线(8)形成间隙配合，以供抱箍(72)滑动套装在天线(8)上，当抱箍(72)处于抱紧状态时，用于与天线(8)锁紧固定，抱箍(72)与主体套(71)之间设有固定结构，固定结构用于在抱箍(72)处于抱紧状态时使抱箍(72)与主体套(71)固定连接。2.根据权利要求1所述的MPCVD设备的天线张紧装置，其特征是，转动套包括连接套(63)和顶压套(62)，连接套(63)的中心孔和顶压套(62)的中心孔共同构成转动套的中心孔，连接套(63)上设有沿上下方向布置的第一螺纹段和第二螺纹段，第一螺纹段与顶压套(62)螺纹连接，顶压套(62)用于顶压张紧弹簧(5)，第二螺纹段与主体套(71)螺纹连接。3.根据权利要求2所述的MPCVD设备的天线张紧装置，其特征是，第一螺纹段与第二螺纹段的螺纹旋向相反。4.根据权利要求3所述的MPCVD设备的天线张紧装置，其特征是，连接套(63)包括上段、中段、下段，上段和下段均为螺杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔名扬，李宏利，方海江，孙胜浩，郑逢达，
申请(专利权)人：河南天璇半导体科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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