提供铂族金属回收方法、含铂族金属膜的制造方法及成膜装置。铂族金属的回收方法是一种在成膜腔室内导入含有铂族金属的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含铂族金属膜之后，回收存在于成膜腔室内的铂族金属的方法，该回收方法具备：(i)向取出了所述基板的所述成膜腔室内导入含氟的清洁气体的步骤；以及(ii)向捕获容器内导入从所述成膜腔室排出的所述清洁气体的步骤，所述捕获容器保持有由选自由碱石灰、消石灰及CaO组成的组中的至少一种构成的捕获剂。至少一种构成的捕获剂。至少一种构成的捕获剂。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】铂族金属回收方法、含铂族金属膜的制造方法及成膜装置
[0001]本专利技术关于铂族金属的回收方法、含铂族金属膜的制造方法及成膜装置。本专利技术基于并要求于2020年6月1日提交的日本申请第2020
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095296号的优先权的权益，上述日本申请的全部内容结合于此作为参照。
技术介绍
[0002]已知有使用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition；CVD)法，在基板的表面形成钌等含金属膜的方法。在形成含金属膜时，将有机金属化合物的原料气体导入成膜腔室，在收容于成膜腔室的基板的表面形成含金属膜。在该制程中，可以认为，在被导入腔室的有机金属化合物中，在基板的表面形成金属膜的有机金属化合物为10％左右。剩余的有机金属化合物从成膜腔室的排气配管排出，另外，堆积在成膜腔室内。
[0003]为了提高成膜中的钌等贵金属的回收效率，提出了在成膜步骤中捕集从排气配管排出的金属化合物的方案。在专利文献1中记载了一种CVD薄膜形成制程，其包括：借由使包含在成膜步骤中产生的反应生成物和未反应的原料气体的废气与溶剂、吸附剂接触而回收有机金属化合物的步骤；接着，分离有机金属化合物并进行精制的步骤。
[0004]另外，已知有使用氯系、氟系的清洁气体来除去成膜腔室内的堆积物的干式清洁方法。然而，出于安全方面的理由，在清洁时无法将从成膜腔室排出的清洁气体导入用于捕获原料气体中的金属化合物的阱中。因此，清洁气体中包含的金属化合物未被回收。因此，在专利文献2中，提出了借由将成膜腔室的内部设为特定的结构，来抑制干式清洁次数，或者省略干式清洁处理本身的方案。
[0005][现有技术文献][0006][专利文献][0007]专利文献1：日本特开2001
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342566号公报。
[0008]专利文献2：日本特开2011
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192661号公报。
技术实现思路
[0009]专利技术要解决的课题
[0010]然而，不存在利用现有技术的成膜腔室实施成膜腔室内的干式清洁并回收清洁气体中包含的贵金属的方法，在成膜中使用的贵金属的回收效率存在极限。
[0011]本专利技术的目的在于提供一种安全地回收清洁气体中包含的贵金属的方法。另外，本专利技术的目的在于提供贵金属的回收效率较高的金属膜的制造方法及成膜装置。
[0012]用于解决课题的技术方案
[0013]本专利技术所涉及的铂族金属的回收方法是一种在成膜腔室内导入含有铂族金属的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含铂族金属膜之后，回收存在于所述成膜腔室内的铂族金属的方法，该回收方法具备：
[0014](i)向取出了所述基板的所述成膜腔室内导入包含氟的清洁气体的步骤；以及
[0015](ii)向捕获容器内导入从所述成膜腔室排出的所述清洁气体的步骤，所述捕获容器保持有由选自由碱石灰、消石灰及CaO组成的组中的至少一种构成的捕获剂。
[0016]另外，本专利技术所涉及的含铂族金属膜的制造方法具备：
[0017](I)向成膜腔室内导入含有铂族金属的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含铂族金属膜的步骤；
[0018](II)从所述成膜腔室取出形成有所述含铂族金属膜的所述基板的步骤；以及
[0019](III)回收存在于成膜腔室内的铂族金属的步骤，
[0020]所述(III)回收存在于成膜腔室内的铂族金属的步骤借由上述的铂族金属的回收方法来实施。
[0021]另外，本专利技术所涉及的成膜装置具备：
[0022]成膜腔室，所述成膜腔室用于在基板的表面形成薄膜；
[0023]气体供给机构，所述气体供给机构与所述成膜腔室连接；
[0024]气体排出机构，所述气体排出机构与所述成膜腔室连接；以及
[0025]控制部，所述控制部对所述成膜腔室、所述气体供给机构及所述气体排出机构进行控制，
[0026]所述气体供给机构具备：
[0027]第一供给配管，所述第一供给配管向所述成膜腔室供给含有铂族金属的原料气体；以及
[0028]第二供给配管，所述第二供给配管向所述成膜腔室供给包含氟的清洁气体，
[0029]所述气体排出机构具备：
[0030]第一排气配管，所述第一排气配管连接所述成膜腔室和能够捕获从所述成膜腔室排出的所述原料气体中包含的铂族金属的第一捕获装置；以及
[0031]第二排气配管，所述第二排气配管连接所述成膜腔室和保持有能够捕获从所述成膜腔室排出的所述清洁气体中包含的铂族金属的捕获剂的第二捕获装置。
[0032]专利技术效果
[0033]借由本专利技术的铂族金属的回收方法，能够回收清洁气体中包含的铂族金属。另外，借由本专利技术的含铂族金属膜的制造方法及成膜装置，能够回收清洁气体中的铂族金属，铂族金属的回收效率较高。
附图说明
[0034]图1是示出成膜装置的实施方式的一例中的配管的连接状态的概略的图。
[0035]图2是示出成膜装置的实施方式的一例中的控制上的连接状态的概略的图。
[0036]图3是示出含铂族金属膜的制造方法的实施方式的一例的流程图。
[0037]图4是示出成膜装置的实施方式的一例中的配管的连接状态的概略的图。
具体实施方式
[0038]在本说明书中，“铂族金属”并非仅指铂族金属的单质，而是指包含离子、化合物及络合物的、含有铂族金属的化学物种。例如，“钌”并非仅指金属钌的单质，而是指包含钌离子、钌化合物及钌络合物的、含有钌的化学物种。但是，在记载了具体的化合物名称(例如氟
化钌、氧化钌等)的情况下，并不为此限制。
[0039][实施方式的概要][0040]本专利技术所涉及的铂族金属的回收方法是一种在成膜腔室内导入含有铂族金属的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含铂族金属膜之后，回收存在于所述成膜腔室内的铂族金属的方法，该回收方法具备：
[0041](i)向取出了所述基板的所述成膜腔室内导入包含氟的清洁气体的步骤；以及
[0042](ii)向捕获容器内导入从所述成膜腔室排出的所述清洁气体的步骤，所述捕获容器保持有由选自由碱石灰、消石灰及CaO组成的组中的至少一种构成的捕获剂。
[0043]在现有技术中，将清洁气体中包含的贵金属安全地回收的方法尚未获知，清洁气体中包含的贵金属未被回收。另外，需要贵金属的回收效率优异的金属膜的制造方法及成膜装置。专利技术人等对该课题反复进行研究，想到在形成铂族金属膜时，除了在成膜时排出原料气体的排气配管以外，还设置用于在清洁时排出清洁气体的排气配管。进一步，确认到借由在该配管上连接收容有能够捕获被包含氟的清洁气体氟化后的铂族金属(铂族金属氟化物)的捕获剂的捕获装置，能够回收在现有技术中废弃的清洁气体中包含的铂族金属，能够提高铂族金属膜的制造方法中的铂族金属的回收效率。
[0044]在本专利技术所涉及的铂族金属的回收方法中，具备：(i)向本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种铂族金属的回收方法，所述回收方法是一种在成膜腔室内导入含有铂族金属的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含铂族金属膜之后，回收存在于所述成膜腔室内的铂族金属的方法，所述回收方法具备如下步骤：(i)向取出了所述基板的所述成膜腔室内导入含氟的清洁气体的步骤；以及(ii)向捕获容器内导入从所述成膜腔室排出的所述清洁气体的步骤，所述捕获容器保持有由选自由碱石灰、消石灰及CaO组成的组中的至少一种构成的捕获剂。2.根据权利要求1所述的铂族金属的回收方法，其中，所述捕获剂为碱石灰。3.根据权利要求1或2所述的铂族金属的回收方法，其中，所述铂族金属为钌或锇。4.根据权利要求1至3中任一项所述的铂族金属的回收方法，其中，所述清洁气体为ClF3。5.根据权利要求1至4中任一项所述的铂族金属的回收方法，其中，在(i)向所述成膜腔室内导入所述清洁气体的步骤以及(ii)向所述捕获容器内导入从所述成膜腔室排出的所述清洁气体的步骤之后，还具备(iii)从所述捕获剂取出铂族金属的步骤。6.根据权利要求5所述的铂族金属的回收方法，其中，所述(iii)从所述捕获剂取出铂族金属的步骤包括：在将所述捕获容器从成膜装置拆下之后，借由向所述捕获剂导入强酸而将吸附于所述捕获剂的铂族金属氟化物作为铂族金属盐溶液取出的步骤。7.一种含铂族金属膜的制造方法，具备如下步骤：(I)向成膜腔室内导入含有铂族金属的原料气体，在收容于所述成膜腔室内的基板的表面形成含铂族金属膜的步骤；(II)从所述成膜腔室取出形成有所述含铂族金属膜的...
【专利技术属性】
技术研发人员：真锅俊树，泉浩一，荘所正，永山谅太郎，
申请(专利权)人：岩谷产业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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