焊道检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及焊道检查装置，更详细地说，涉及可精确检查焊道的焊道检查装置。本发明专利技术公开了一种焊道检查装置，检查管道(10)中的焊道(20)有无缺陷，包括：外壳(100)，包围所述管道(10)，以覆盖所述焊道(20)，并且在内部形成密封的检查空间(S)；检查工具(200)，设置在所述外壳(100)，以在所述检查空间(S)确认所述焊道(20)的状态；缺陷判断部，基于通过所述检查工具(200)确认的所述焊道(20)的状态判断所述焊道(20)有无缺陷。道(20)有无缺陷。道(20)有无缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】焊道检查装置


[0001]本专利技术涉及焊道检查装置，更详细地说，涉及可精确检查焊道的焊道检查装置。

技术介绍

[0002]通常，焊接是使两种固体材料之间建立直接的原子间键来进行接合，多使用于金属材料的焊接。
[0003]尤其是，在用于半导体制造工艺的基板处理装置及基板处理系统使用的管道，为了设置管道使用焊接，在这种焊接存在缺陷的情况下，出现为了基板处理而使用的化学物质等的泄漏，因此可威胁工作人员的安全，所以需要用于判断焊接有无缺陷的检查装置。
[0004]以往，熟练的工作人员在外侧用肉眼直接检查焊道来确认焊接的完整性及有无缺陷，但是根据工作人员的熟练度及操作状态，缺陷分辨能力有所不同，并且存在无法客观化及检查成本增加的问题。
[0005]据此，以往开发了在焊道表面照射激光束来确认焊道有无缺陷的装置，但是需要将检查对象放在装置的正确位置，因此存在在狭窄区间及高处区间的检查方面存在局限性的问题。
[0006]另外，还有一部分公开了利用相机成像焊道图像的检查方法，但是根据操作环境的照度，成像的图像发生变化，因此存在无法进行精确检查的问题。

技术实现思路

[0007]要解决的问题
[0008]本专利技术的目的在于，为了解决如上所述的问题，提供一种便携性优秀的同时可恒定且精确地检查焊道的焊道检查装置。
[0009]解决问题的手段
[0010]本专利技术是为了达到如上所述的本专利技术的目的而提出的，本专利技术公开了一种焊道检查装置，检查管道10中的焊道20有无缺陷，包括：外壳100，包围所述管道10，以覆盖所述焊道20，并且在内部形成密封的检查空间S；检查工具200，设置在所述外壳100，以在所述检查空间S确认所述焊道20的状态；缺陷判断部，基于通过所述检查工具200确认的所述焊道20的状态判断所述焊道20有无缺陷。
[0011]所述外壳100可以是便携式的，以拆装于预设的所述管道10的所述焊道20。
[0012]所述检查工具200可朝向所述焊道20地设置在所述外壳100的内侧面。
[0013]所述检查工具200可包括：视觉检查部210，对所述焊道20进行成像；照明部230，在用于通过所述视觉检查部210进行成像的所述检查空间S内形成适当的照度。
[0014]所述检查工具200可包括激光检查部220，所述激光检查部220测量所述焊道20的位移。
[0015]所述检查工具200在所述外壳100的内侧面沿着所述管道10的外周面可进行旋转。
[0016]在所述外壳100内侧面沿着所述管道10的外周面可设置多个所述检查工具200。
[0017]所述管道10可以是为了用于基板处理的基板处理装置及基板处理系统供应及排放气体而设置。
[0018]所述检查工具200可包括泄漏传感器，所述泄漏传感器判断所述管道10是否泄漏气体。
[0019]所述缺陷判断部通过由所述检查工具200的确认的所述焊道20的宽度W、高度及微孔存在与否中的至少一种可判断有无缺陷。
[0020]所述缺陷判断部根据在所述管道10中与所述焊道20的两端间隔标记的水平的一对标记线L至所述焊道20中心C的间距是否一致可判断有无缺陷。
[0021]专利技术的效果
[0022]本专利技术的焊道检查装置具有便携性优秀、容易拆装于焊道部位，因此可对预设的对象进行检查的优点。
[0023]尤其是，本专利技术的焊道检查装置具有如下的优点：结构紧凑，因此不论预设对象的环境如何，都可进行检查，在诸如狭窄区间及高处区间的难以接近的区间也可进行稳定的焊道检查。
[0024]另外，本专利技术的焊道检查装置具有如下的优点：提供一贯的检查空间，并且能够通过恒定的照明进行检查，因此在检查时，即使有外部环境变化，也可进行稳定的焊道检查。
[0025]另外，本专利技术的焊道检查装置具有如下的优点：利用检查工具通过焊道的各种参数从多方面执行检查，而非通过工作人员的主观性检查，并且基于数值化数据判断有无缺陷，因此可执行具有高可靠性的焊道检查。
[0026]另外，本专利技术的焊道检查装置具有如下的优点：测量焊道部位的各种参数，并且基于测量的参数，通过预设算法判断有无缺陷，因此能够一贯、高可靠性及快速地执行检查。
附图说明
[0027]图1是示出本专利技术的焊道检查装置的外观的立体图。
[0028]图2是示出图1的焊道检查装置的A
‑
A方向剖面的外观的剖面图。
[0029]图3是示出图1的焊道检查装置的B
‑
B方向剖面的外观的剖面图。
[0030]图4是示出图1的焊道检查装置的C
‑
C方向剖面的外观的剖面图。
[0031]图5是示出图1的焊道检查装置的视觉检查部的外观的立体图。
[0032]图6是示出图1的焊道检查装置的激光检查部的外观的立体图。
具体实施方式
[0033]以下，参照附图如下说明本专利技术的焊道检查装置。
[0034]如图1至图4所示，本专利技术的焊道检查装置检查管道10中的焊道20有无缺陷，包括：外壳100，包围管道10，以覆盖焊道20，并且在内部形成密封的检查空间S；检查工具200，设置在外壳100，以在检查空间S确认焊道20的状态；缺陷判断部，基于通过检查工具200确认的焊道20的状态判断焊道20有无缺陷。
[0035]在此使用的管道10作为通过焊接结合的对象，可采用各种结构。
[0036]例如，所述管道10是为了用于基板处理的基板处理装置及基板处理系统供应及排放气体而设置的，为了根据基板处理装置及基板处理系统的设置环境实现各种形状的管道
系统，可将多个管道10相互焊接设置。
[0037]此时，在焊接管道10时，为了判断焊接有无缺陷，在各个管道10的末端可标记相互平行的标记线L。
[0038]即，所述管道10在焊接时通过焊道20的中心线与预标记的标记线L之间的距离与平行的程度等可判断焊道20有无缺陷，此时可作为一个基准使用标记线L。
[0039]所述标记线L可通过各种方式标记，例如，可利用激光在管道10的末端侧沿着圆周标记，考虑到形成焊道20的预测宽度，可在与管道10的末端间隔预定间距的点进行标记。
[0040]所述焊道20作为将一对管道10的末端相互接触进行焊接的部位，可采用各种结构。
[0041]例如，通过焊接结合一对管道10，所述焊道20可形成为以焊接点为准具有预定宽度，更进一步地从管道10具有预定高度。
[0042]所述外壳100作为包围所述管道10，以覆盖所述焊道20，并且在内部形成密封的检查空间S的结构，可采用各种结构。
[0043]另外，所述外壳100可以是便携式的，以拆装于预设的所述管道10的所述焊道20。
[0044]例如，所述外壳100可包括：外壳部件110、120，包围管道10，以覆盖焊道20；铰链部130，设置在外壳部件110、120的一端，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种焊道检查装置，检查管道(10)中的焊道(20)有无缺陷，其特征在于，包括：外壳(100)，包围所述管道(10)，以覆盖所述焊道(20)，并且在内部形成密封的检查空间(S)；检查工具(200)，设置在所述外壳(100)，以在所述检查空间(S)确认所述焊道(20)的状态；缺陷判断部，基于通过所述检查工具(200)确认的所述焊道(20)的状态判断所述焊道(20)有无缺陷。2.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，所述外壳(100)是便携式的，以拆装于预设的所述管道(10)的所述焊道(20)。3.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，所述检查工具(200)朝向所述焊道(20)地设置在所述外壳(100)的内侧面。4.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，所述检查工具(200)包括：视觉检查部(210)，对所述焊道(20)进行成像；照明部(230)，在用于通过所述视觉检查部(210)进行成像的所述检查空间(S)内形成适当的照度。5.根据权利要求1所述的焊道检查装置，其特征在于，所述检查工具(200)包括激光检查部(220)，所述激光检查部(...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔明珍，罗承一，丁佳林，
申请(专利权)人：圆益控股有限公司，
类型：发明
国别省市：