当前位置: 首页 > 专利查询>清华大学专利>正文

集成铁电微镜式光开关制造技术

技术编号:3474423 阅读:140 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
集成铁电微镜式光开关,其特征在于:它含有铁电薄膜悬臂梁以及与该梁做成一体的微反射镜。(*该技术在2012年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:任天令刘理天徐杨
申请(专利权)人:清华大学
类型:实用新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1
相关领域技术
  • 暂无相关专利