用于制备光栅尺的夹具及其联控方法技术

本发明专利技术涉及光学制造技术领域，公开一种用于制备光栅尺的夹具及其联控方法，以提高光栅尺的制备精度。本发明专利技术夹具设置有用于在光刻时将光栅尺基带当前的目标光刻区域同步压紧并拉直于工作台面的联动机构；所述联动机构设有三组气缸及两组负压真空管路，且还用于在电机牵引以切换到下一目标光刻区域的过程中，释放部分压紧作用力并继续保持所述光栅尺基带处在所述夹具工作台面上的拉直状态；确保了光栅尺刻写过程中的高平整度并全程有效避免了光栅尺起拱等情况，从而有效避免了对刻线的精度所造成的干扰。所造成的干扰。所造成的干扰。

【技术实现步骤摘要】
用于制备光栅尺的夹具及其联控方法


[0001]本专利技术涉及光学制造
，尤其涉及一种用于制备光栅尺的夹具及其联控方法。

技术介绍

[0002]光栅尺广泛应用于光刻设备上，例如：常见的光栅尺包括但不限于金属反射式光栅尺。目前，现有制备光栅尺的夹具在刻线过程中，容易存在平整度低及光栅尺起拱等情况而影响了光栅尺的精度。

技术实现思路

[0003]本专利技术主要目的在于公开一种用于制备光栅尺的夹具及其联控方法，以提高光栅尺的制备精度。
[0004]为达上述目的，本专利技术公开一种用于制备光栅尺的夹具，设置有用于在光刻时将光栅尺基带当前的目标光刻区域同步压紧并拉直于工作台面的联动机构；所述联动机构还用于在电机牵引以切换到下一目标光刻区域的过程中，释放部分压紧作用力并继续保持所述光栅尺基带处在所述夹具工作台面上的拉直状态；所述联动机构包括：
[0005]第一组气缸，包括与工作台面左右两端分别相邻的1号气缸和6号气缸；
[0006]第三组气缸，包括3号气缸和4号气缸，且所述目标光刻区域位于3号气缸与4号气缸之间；
[0007]第二组气缸，包括位于1号气缸与3号气缸之间的2号气缸，以及位于4号气缸与6号气缸之间的5号气缸；
[0008]所述第一组气缸、第二组气缸及第三组气缸都设置有与工作台面进行松紧配合的两种状态，各气缸之间的排号顺序从左至右递减1；且所述第一组气缸与所述第二组气缸的底座固定在所述夹具不动的结构上，所述第三组气缸的底座固定在受电机牵引能在水平面上做往复运动的平移块上；所述联动机构还包括：
[0009]用于与所述第三组气缸对位的负压真空管路A，用于在吸的状态下，与紧状态下的所述第三组气缸形成合力；并在破的状态下，释放作用力；
[0010]用于与所述第二组气缸对位的负压真空管路B，用于在吸的状态下，与紧状态下的所述第二组气缸形成合力；并在破的状态下，释放作用力；
[0011]与所述电机连接的控制器，用于驱动所述联动机构执行下述联动流程：
[0012]一、手工上料
[0013]人工放好光栅尺基带——2号气缸压紧——人工拉紧光栅尺基带——负压真空管路A吸——5号气缸压紧——1号气缸、6号气缸压紧；
[0014]二、自动运行
[0015]所述平移块运行到最右端的初始刻写位置——3号气缸和4号气缸压紧、负压真空管路B吸——执行第一个段的激光打标——2号气缸和5号气缸松开、负压真空管路B破——
电机牵引光栅尺基带向左前进一个段长度——3号气缸和4号气缸压紧、负压真空管路B吸——执行第二个段的激光打标，依次循环，直至电机牵引光栅尺基带向左前进了N个段长度——3号气缸和4号气缸压紧、负压真空管路B吸——执行第N个段的激光打标——2号气缸和5号气缸压紧、负压真空管路A吸、3号气缸和4号气缸松开、负压真空管路B破——所述平移块向右返回到最右端的初始刻写位置以切换到下一轮循环；
[0016]其中，N为所述平移块往复运动的最大距离除以单个段长度所得的大于或等于2的最大正整数。
[0017]优选地，所述夹具在工作台面的水平方向上设有平行的对应至少两条光栅尺基带的尺槽，且所述联动机构的作用范围横跨各所述尺槽。
[0018]为达上述目的，本专利技术还公开一种联控方法，应用于制备光栅尺的系统中，所述系统包括上述的夹具，所述方法至少包括下述的自动运行步骤：
[0019]所述平移块运行到最右端的初始刻写位置——3号气缸和4号气缸压紧、负压真空管路B吸——执行第一个段的激光打标——2号气缸和5号气缸松开、负压真空管路B破——电机牵引光栅尺基带向左前进一个段长度——3号气缸和4号气缸压紧、负压真空管路B吸——执行第二个段的激光打标，依次循环，直至电机牵引光栅尺基带向左前进了N个段长度——3号气缸和4号气缸压紧、负压真空管路B吸——执行第N个段的激光打标——2号气缸和5号气缸压紧、负压真空管路A吸、3号气缸和4号气缸松开、负压真空管路B破——所述平移块向右返回到最右端的初始刻写位置以切换到下一轮循环；
[0020]其中，N为所述平移块往复运动的最大距离除以单个段长度所得的大于或等于2的最大正整数。
[0021]优选地，本专利技术方法在所述自动运行步骤之前还包括下述的手工上料步骤：
[0022]人工放好光栅尺基带——2号气缸压紧——人工拉紧光栅尺基带——负压真空管路A吸——5号气缸压紧——1号气缸、6号气缸压紧。
[0023]本专利技术具有以下有益效果：
[0024]通过三组气缸及两组负压真空管路的协同作业，光栅尺在刻的过程中及光刻区域分段切换的过程中都以联动机构确保光栅尺的拉直状态；确保了光栅尺刻写过程中的高平整度并全程有效避免了光栅尺起拱等情况，从而有效避免了对刻线的精度所造成的干扰。
[0025]下面将参照附图，对本专利技术作进一步详细的说明。
附图说明
[0026]构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0027]图1是本专利技术实施例公开的夹具联动机构的部分结构框图。
[0028]图2是本专利技术实施例公开的夹具应用场景所对应并行同步制备系统的框图。
[0029]图3是图2所示并行同步制备系统中的光刻模组预先设置图样的示意图。
具体实施方式
[0030]以下结合附图对本专利技术的实施例进行详细说明，但是本专利技术可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0031]实施例1
[0032]本实施例公开一种用于制备光栅尺的夹具。
[0033]本实施例夹具设置有用于在光刻时将光栅尺基带当前的目标光刻区域同步压紧并拉直于工作台面的联动机构；所述联动机构还用于在电机牵引以切换到下一目标光刻区域的过程中，释放部分压紧作用力并继续保持所述光栅尺基带处在所述夹具工作台面上的拉直状态。
[0034]如图1所示，本实施例夹具上的联动机构包括：
[0035]第一组气缸，包括与工作台面左右两端分别相邻的1号气缸和6号气缸。
[0036]第三组气缸，包括3号气缸和4号气缸，且所述目标光刻区域位于3号气缸与4号气缸之间。
[0037]第二组气缸，包括位于1号气缸与3号气缸之间的2号气缸，以及位于4号气缸与6号气缸之间的5号气缸。
[0038]所述第一组气缸、第二组气缸及第三组气缸都设置有与工作台面进行松紧配合的两种状态，各气缸之间的排号顺序从左至右递减1；且所述第一组气缸与所述第二组气缸的底座固定在所述夹具不动的结构上，所述第三组气缸的底座固定在受电机牵引能在水平面上做往复运动的平移块上。且所述联动机构还包括：
[0039]用于与所述第三组气缸对位的负压真空管路A，用于在吸的状态下，与紧状态下的所述第三组气缸形成合力；并在破的状态下，释放作用力。
[0040]用于与所述第二组气缸对位的负压真空管路B，用于在吸的状态下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制备光栅尺的夹具，其特征在于，设置有用于在光刻时将光栅尺基带当前的目标光刻区域同步压紧并拉直于工作台面的联动机构；所述联动机构还用于在电机牵引以切换到下一目标光刻区域的过程中，释放部分压紧作用力并继续保持所述光栅尺基带处在所述夹具工作台面上的拉直状态；所述联动机构包括：第一组气缸，包括与工作台面左右两端分别相邻的1号气缸和6号气缸；第三组气缸，包括3号气缸和4号气缸，且所述目标光刻区域位于3号气缸与4号气缸之间；第二组气缸，包括位于1号气缸与3号气缸之间的2号气缸，以及位于4号气缸与6号气缸之间的5号气缸；所述第一组气缸、第二组气缸及第三组气缸都设置有与工作台面进行松紧配合的两种状态，各气缸之间的排号顺序从左至右递减1；且所述第一组气缸与所述第二组气缸的底座固定在所述夹具不动的结构上，所述第三组气缸的底座固定在受电机牵引能在水平面上做往复运动的平移块上；所述联动机构还包括：用于与所述第三组气缸对位的负压真空管路A，用于在吸的状态下，与紧状态下的所述第三组气缸形成合力；并在破的状态下，释放作用力；用于与所述第二组气缸对位的负压真空管路B，用于在吸的状态下，与紧状态下的所述第二组气缸形成合力；并在破的状态下，释放作用力；与所述电机连接的控制器，用于驱动所述联动机构执行下述联动流程：一、手工上料人工放好光栅尺基带——2号气缸压紧——人工拉紧光栅尺基带——负压真空管路A吸——5号气缸压紧——1号气缸、6号气缸压紧；二、自动运行所述平移块运行到最右端的初始刻写位置——3号气缸和4号气缸压紧、负压真空管路B吸——执行第一个段的激光打标——2号气缸和5号气缸松开、负压真空管路B破——电机牵引光栅尺基带向左前进一个段长度——3号气缸和4号气缸压紧、负压真空管路B吸——执行第二个段的激光打标，依次循环，直至电机牵引光栅尺基带向左前进了N个段长度——3号气缸和4号气缸压紧、负压真空管路B吸——执行第N个段的激光打标——2号气缸和5号气缸压紧、负压真空管路A吸、3号气缸和4号气缸松开、负压真空管路B破——所述平移块向右返回到最右端的初始刻写位置以切换到下一轮循环；其中，N为所述平移块往复运动的最大距离除以单个段长...

【专利技术属性】
技术研发人员：何宏伟，谢吕平，代林茂，张兆兴，李晓春，
申请(专利权)人：长沙麓邦光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：