有机EL设备及其制造方法技术

实施方式所涉及的有机EL设备(100)具备：元件基板(20)，其具有基板(1)和被基板支撑的多个有机EL元件(3)；薄膜封装结构(10)，所述薄膜封装结构(10)是形成于所述多个有机EL元件上的薄膜封装结构，其具有由第一无机阻挡层(12)、有机阻挡层(14)、第二无机阻挡层(16)构成的至少一个的复合层叠体(10S)，所述有机阻挡层(14)与所述第一无机阻挡层的上表面接触，所述第二无机阻挡层(16)与所述第一无机阻挡层的上表面及所述有机阻挡层的上表面接触；有机平坦化层(42)，其设置在所述薄膜封装结构之上由光敏树脂形成；触摸传感层(50)，其被配置在有机平坦化层之上。在有机平坦化层之上。在有机平坦化层之上。

【技术实现步骤摘要】
有机EL设备及其制造方法


[0001]本专利技术关于有机EL设备(例如，有机EL显示装置及有机EL照明装置)及其制造方法。

技术介绍

[0002]有机EL(Electro Luminescence)显示装置开始实用化。机EL显示装置的特征之一列举有能够得到柔性显示装置这一点。有机EL显示装置具有用于每个像素的至少一个有机EL元件(Organic Light Emitting Diode：OLED)以及控制提供至每个OLED的电流的至少一个的TFT(Thin Film Transistor)。以下，将有机EL显示装置称为OLED显示装置。这种每个OLED具有TFT等开关元件的OLED显示装置称为有源矩阵型OLED显示装置。另外，将形成TFT及OLED的基板称为元件基板。
[0003]OLED(特别是有机发光层及阴极电极材料)容易受到水分的影响而劣化，也容易产生显示不均。作为保护OLED不受潮并提供不会损坏柔软性的封装结构的技术，开发了一种薄膜封装技术(Thin Film Encapsulation：TFE)。薄膜封装技术是通过无机阻挡层和有机阻挡层相互层叠，通过薄膜以获得具有充分的蒸汽阻挡性的技术。从OLED显示装置的耐湿性的观点而言，作为薄膜封装结构的WVTR(Water Vapor Transmission Rate：WVTR)，通常要求小于1
×
10
‑4g/m2/day。
[0004]目前市面上贩卖的使用在OLED显示装置上的薄膜封装结构具有厚度大约为5μm～20μm的有机阻挡层(高分子阻隔层)。这种较厚的有机阻挡层承担了将元件基板的表面平坦化的作用。但是，存在当有机阻挡层较厚时，OLED显示装置的弯曲性会被限制的问题。
[0005]另外，还存在量产性较低的问题。所述较厚的有机阻挡层是使用喷墨法、微喷法等印刷技术来形成的。另一方面，无机阻挡层是在真空(例如，小于1Pa)的环境下使用薄膜成膜技术形成的。由于使用印刷技术的有机阻挡层的形成是在空气中或者氮气的环境下进行，而无机阻挡层的形成是在真空中进行的，所以在形成薄膜封装结构的过程中，将元件基板从真空容器中进出而量产性低。
[0006]在此，例如，如专利文献1所公开的，开发了一种可以连续制造无机阻挡层和有机阻挡层的成膜装置。
[0007]另外，专利文献2中公开了一种薄膜封装结构，其从元件基板侧以依序形成第一无机阻挡层、第一树脂材及第二无机材料层时，使第一树脂材在第一无机材料层的凸部(覆盖凸部的第一无机材料层)的周围不均匀。根据专利文献2，使第一树脂材在可能未被第一无机材料层充分覆盖的某个凸部周围不均匀地分布，从而抑制了水分或氧气从该部分侵入。另外，通过将第一树脂材作为第二无机材料层的基底层发挥作用，由此第二无机材料层适当地成膜，并可以以期望的薄膜厚度适当地覆盖第一无机材料层的侧面。第一树脂材形成为如下。使加热气化的雾气状的有机材料提供至维持在室温以下的温度的元件基板，有机材料在基板上凝结、滴状化。滴状化的有机材料通过毛细管现象或表面张力在基板上移动，并在第一无机材料层的凸部的侧面和基板表面的边界部不均匀分布。之后，通过使有机材
料固化，在边界部形成第一树脂材。专利文献3也公开了具有同样的薄膜封装结构的OLED显示装置。另外，专利文献4公开了用于OLED显示装置的制造的成膜装置。
[0008]专利文献2或3中记载的，具有由不均匀分布的树脂构成的有机阻挡层的薄膜封装结构被认为由于不具有较厚的有机阻挡层，所以改善了OLED显示装置的弯曲性。另外，因为可以连续形成无机阻挡层和有机阻挡层，所以也改善了量产性。
[0009]但是，根据本专利技术人的研究，若通过专利文献2或3所记载的方法形成有机阻挡层，则会产生无法获得充分的耐湿可靠性的问题。已经发现该问题是因大气中的水蒸气经由有机阻挡层而到达元件基板上的有源区域(也称为“元件形成区域”或“显示区域”)内导致的。
[0010]当使用喷墨法等印刷方法形成有机阻挡层时，有机阻挡层能够仅形成于元件基板上的有源区域(也称为“元件形成区域”或“显示区域”)，而不形成于除了有源区域以外的区域。因此，在有源区域的周边(外侧)存在有第一无机材料层和第二无机材料层直接接触的区域，并且有机阻挡层被第一无机材料层和第二无机材料层完全包围，从周围隔绝。
[0011]对此，在专利文献2或3中记载的有机阻挡层的形成方法中，对整个元件基板提供树脂(有机材料)，利用液状的树脂的表面张力，使树脂在元件基板的表面的凸部的侧面和基板表面的边界部不均匀分布。因此，除了有源区域之外的区域(也被称为“周边区域”)，即，配置有多个端子的端子区域、以及从有源区域到端子区域形成有引出配线的引出配线区域也形成有有机阻挡层。具体而言，例如，树脂在引出配线及端子的侧面和基板表面的边界部不均匀分布。这样一来，沿着引出配线而形成的有机阻挡层的部分端部不被第一无机阻挡层和第二无机阻挡层包围，而暴露在空气(周边环境)中。
[0012]由于有机阻挡层与无机阻挡层相比水蒸气阻挡性较低，所以沿着引出配线形成的有机阻挡层变成将空气中的水蒸气引导至有源区域内的路径。
[0013]另外，具有以现有的不均匀的树脂构成的有机阻挡层的薄膜封装结构也存在下述的问题。
[0014]例如，具有使用在智能手机、平板终端的触摸面板功能的OLED显示装置中，如专利文献5所记载的，薄膜封装结构的有机阻挡层较厚并作为平坦化层发挥作用，在薄膜封装结构的平坦的表面上经由连接层设置有触摸传感层(也称为“触摸屏层”)。在这种于薄膜封装结构上设置触摸传感层的结构中，所述专利文献2或3所记载的，若使用具有较薄的有机阻挡层的薄膜封装结构，薄膜封装结构内存在粒子(异物)时，因为薄膜封装结构的上面变得不平坦，所以会在触摸传感层产生应变，其结果，有可能会发生触摸面板功能降低的问题。例如，在一对电极间具有细微的间隙的电阻膜式的触摸传感器及检测电极间的电容变化的投影型静电电容方式的触摸传感器中，有可能将存在粒子的地方误识别成被触摸的位置。
[0015]在此，说明了适用于柔性OLED显示装置的薄膜封装结构的问题，但是薄膜封装结构不限于OLED显示装置，也可以使用在有机EL照明装置等其他有机EL设备。现有技术文献专利文献
[0016]专利文献1：特开2013
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186971号公报专利文献2：国际公开公报2014/196137号专利文献3：特开2016
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39120号公报专利文献4：特开2013
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64187号公报
专利文献5：美国专利申请公开第2016/226021号公报

技术实现思路

专利技术要解决的问题
[0017]本专利技术是为了解决上述问题而成，其目的在于提供一种有机EL设备及其制造方法，在具备具有改善了量产性和耐湿可靠性，且较薄的有机阻挡层的薄膜封装结构的同时，抑制了触摸面板功能降低。解决问题的方法
[0018]本专利技术的某个实施方式所涉及的有机EL设备中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有机EL设备，其特征在于，所述有机EL设备包括：元件基板，其具有基板以及被所述基板支撑的多个有机EL元件；薄膜封装结构，所述薄膜封装结构是形成于所述多个有机EL元件上的薄膜封装结构，且所述薄膜封装结构具有由第一无机阻挡层、有机阻挡层及第二无机阻挡层构成的至少一个的复合层叠体，所述有机阻挡层与所述第一无机阻挡层的上表面接触，所述第二无机阻挡层与所述第一无机阻挡层的所述上表面及所述有机阻挡层的上表面接触；有机平坦化层，其设置在所述薄膜封装结构上，由光敏树脂构成；触摸传感层，其被配置在所述有机平坦化层上；驱动电路，其被所述基板支撑；多个端子，其配置在周边区域；以及多条引出配线，其连接所述驱动电路和所述多个端子，所述薄膜封装结构选择性地形成在至少配置有所述多个有机EL元件的有源区域和所述多条引出配线的所述有源区域侧的部分之上，且与所述多条引出配线的至少一部分接触，在所述多条引出配线上与所述薄膜封装结构接触的部分中，所述第一无机阻挡层的、与所述多条引出配线的线宽度方向平行的截面的形状的侧面的锥角小于90
°
，所述薄膜封装结构具有无机阻挡层接合部，所述无机阻挡层接合部中不存在所述有机阻挡层，且在所述无机阻挡层接合部中所述第一无机阻挡层和所述第二无机阻挡层直接接触，在包含所述多条引出配线各自的锥形部上的区域中形成有所述无机阻挡层接合部，且所述无机阻挡层接合部将所述有源区域完全包围。2.如权利要求1所述的有机EL设备，其特征在于，所述光敏树脂为负性。3.如权利要求1或2所述的有机EL设备，其特征在于，所述有机平坦化层的厚度不超过15μm。4.如权利要求1～3中的任意一项所述的有机EL设备，其特征在于，所述光敏树脂包含硅树脂。5.如权利要求1～4中的任意一项所述的有机EL设备，其特征在于，所述有机平坦化层的对350nm的光的透射率大于80％。6.如权利要求1～5中的任意一项所述的有机EL设备，其特征在于，所述光敏树脂在0℃的弹性率不超过400M...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本克彦，鸣泷阳三，
申请(专利权)人：堺显示器制品株式会社，
类型：发明
国别省市：