转架系统技术方案

技术编号:34722105 阅读:17 留言:0更新日期:2022-08-31 18:07
本实用新型专利技术提供的一种转架系统,涉及镀膜设备技术领域,以在一定程度上解决待镀膜工件镀膜不均匀的问题。本实用新型专利技术提供的转架系统,包括驱动装置、传动装置以及悬挂组件;传动装置包括主转盘、自转盘、第一齿轮以及第二齿轮,主转盘与驱动装置的输出轴相连接,自转盘与主转盘转动连接;第一齿轮设置于主转盘朝向驱动装置的一侧,且主转盘能够相对第一齿轮转动,以带动自转盘相对第一齿轮转动,第二齿轮与自转盘相连接,且第二齿轮与第一齿轮相啮合,以驱动自转盘相对主转盘转动;悬挂组件与自转盘背离驱动装置的一侧相连接。自转盘背离驱动装置的一侧相连接。自转盘背离驱动装置的一侧相连接。

【技术实现步骤摘要】
转架系统


[0001]本技术涉及镀膜设备
,尤其是涉及一种转架系统。

技术介绍

[0002]采用多弧离子镀膜机进行镀膜的过程中需要不断相对靶材转动,从而能够实现待镀膜件外表面形成的涂层均匀。
[0003]现阶段在进行镀膜时,通常将待镀膜件挂设在转架上,通过转架的转动实现待镀膜件的均匀镀膜。
[0004]但采用现阶段的转架进行镀膜时,由于挂设在转架上的待镀膜件始终一侧朝向靶材,因此,使得背离靶材的一侧的镀膜效果较差,从而导致涂层的不均匀。
[0005]因此,急需提供一种转架系统,以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种转架系统,以在一定程度上解决待镀膜工件镀膜不均匀的问题。
[0007]本技术提供的一种转架系统,包括驱动装置、传动装置以及悬挂组件;所述传动装置包括主转盘、自转盘、第一齿轮以及第二齿轮,所述主转盘与所述驱动装置的输出轴相连接,所述自转盘与所述主转盘转动连接;所述第一齿轮设置于所述主转盘朝向所述驱动装置的一侧,且所述主转盘能够相对所述第一齿轮转动,以带动所述自转盘相对所述第一齿轮转动,所述第二齿轮与所述自转盘相连接,且所述第二齿轮与所述第一齿轮相啮合,以驱动所述自转盘相对所述主转盘转动;所述悬挂组件与所述自转盘背离所述驱动装置的一侧相连接。
[0008]其中,所述驱动装置包括驱动机构以及连接机构;所述驱动机构包括驱动件、第一传动轮、传送带以及第二传动轮,所述驱动件的输出轴与所述第一传动轮相连接,所述第一传动轮与所述第二传动轮通过所述传送带相连接,且所述第二传动轮的直径大于所述第一传动轮的直径;所述第二传动轮与所述连接机构的一端相连接,所述连接机构的另一端与所述主转盘相连接。
[0009]具体地,所述连接机构包括磁流体、定位盘以及传动盘;所述磁流体的转轴的一端与所述第二传动轮相连接,所述转轴的另一端与所述传动盘相连接,所述传动盘与所述主转盘相连接;所述磁流体的外壳与所述定位盘相连接,所述定位盘与所述第一齿轮相连接。
[0010]进一步地,所述定位盘上形成有多个定位凸部,多个所述定位凸部沿所述定位盘的周向间隔设置;所述第一齿轮朝向所述定位盘的一侧,且对应所述定位凸部的位置形成有配合凹部,所述定位凸部对应插入所述配合凹部内,使所述第一齿轮与所述定位盘相连接。
[0011]更进一步地,所述传动盘朝向所述主转盘的一侧上形成有多个连接部,所述主转盘通过对应所述连接部的位置设有连接件,且所述主转盘通过所述连接件与所述传动盘相
连接。
[0012]其中,本技术提供的转架系统,还包括电极组件以及屏蔽组件;所述电极组件与所述主转盘相接触,所述屏蔽组件罩设于所述传动装置的外部。
[0013]具体地,所述悬挂组件包括多个挂杆、上转盘和多个支撑杆,多个所述支撑杆均沿竖直方向延伸,且多个所述支撑杆的一端均与所述主转盘相连接,另一端与所沿上转盘相连接,多个所述支撑杆沿所述主转盘的周向间隔分布;所述上转盘上形成有多个限位孔,所述限位孔与所述挂杆一一对应设置,且所述挂杆远离所述主转盘的一端设置于所述限位孔内,且所述挂杆能够相对所述上转盘转动;
[0014]进一步地,所述挂杆上设有第一承载盘和第三齿轮,所述第一承载盘与所述挂杆相连接,且能够跟随所述挂杆转动,所述第一承载盘上设有第一转动部,所述第一转动部的一端连接有第四齿轮,所述第四齿轮与所述第三齿轮相啮合;所述第三齿轮上连接有拨杆,所述拨杆的一端与所述第三齿轮相连接,另一端向接近所述支撑杆的方向延伸,所述第三齿轮能够相对所述挂杆由第一位置运动至第二位置,且当所述第三齿轮运动至所述第二位置时,所述拨杆与所述支撑杆相抵接,所述挂杆相对所述第三齿轮转动。
[0015]进一步地,所述挂杆上设有第二承载盘、第三承载盘和第五齿轮;所述第二承载盘与所述挂杆相连接,所述第二承载盘上设有第二转动部,所述第二转动部的一端连接有第六齿轮,所述支撑杆上设有拨动机构,所述拨动机构的一端能够拨动所述第六齿轮;所述第三承载盘与所述第五齿轮相连接,所述第五齿轮与所述挂杆相连接,所述第三承载盘上设有第三转动部,且第三转动部的一端连接有第七齿轮,所述第七齿轮与所述第五齿轮相啮合。
[0016]更进一步地,所述驱动装置还包括检测机构,所述检测机构包括检测组件以及反馈板;所述反馈板与所述第二传动轮远离所述连接机构的一侧相连接,且能够跟随所述第二传动轮转动,所述反馈板上形成有反馈部,所述检测组件能够检测所述反馈部。
[0017]相对于现有技术,本技术提供的转架系统具有以下优势:
[0018]本技术提供的转架系统,包括驱动装置、传动装置以及悬挂组件;传动装置包括主转盘、自转盘、第一齿轮以及第二齿轮,主转盘与驱动装置的输出轴相连接,自转盘与主转盘转动连接;第一齿轮设置于主转盘朝向驱动装置的一侧,且主转盘能够相对第一齿轮转动,以带动自转盘相对第一齿轮转动,第二齿轮与自转盘相连接,且第二齿轮与第一齿轮相啮合,以驱动自转盘相对主转盘转动;悬挂组件与自转盘背离驱动装置的一侧相连接。
[0019]由此分析可知,通过驱动装置驱动主转盘转动,从而能够驱使自转盘跟随主转盘转动,而由于第一齿轮相对主转盘固定,第二齿轮与自转盘相连接,且第二齿轮与第一齿轮相啮合,因此,当自转盘跟随主转盘转动时,能够带动第二齿轮相对第一齿轮运动,从而能够使第二齿轮相对第一齿轮转动,进而能够带动自转盘转动,实现自转盘相对主转盘的转动。
[0020]而由于悬挂组件与自转盘相连接,且本申请中的悬挂组件用于承装待镀膜件,因此,当自转盘转动时,能够带动悬挂组件转动,从而使待镀膜件既具有跟随主转盘的转动,也具有自转盘的转动,进而使形成的涂层更加均匀。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术实施例提供的转架系统中局部结构的剖视图;
[0023]图2为图1中A处的局部放大图;
[0024]图3为本技术实施例提供的转架系统中驱动装置的剖视图;
[0025]图4为本技术实施例提供的转架系统中电极组件的剖视图;
[0026]图5为本技术实施例提供的转架系统中第一承载盘及第三齿轮的剖视图;
[0027]图6为本技术实施例提供的转架系统中第三齿轮与第四齿轮啮合的结构示意图;
[0028]图7为本技术实施例提供的转架系统中拨动机构与第六齿轮配合的结构示意图。
[0029]图中:1

驱动件;101

第一传动轮;102

传送带;103

第本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转架系统,其特征在于,包括驱动装置、传动装置以及悬挂组件;所述传动装置包括主转盘、自转盘、第一齿轮以及第二齿轮,所述主转盘与所述驱动装置的输出轴相连接,所述自转盘与所述主转盘转动连接;所述第一齿轮设置于所述主转盘朝向所述驱动装置的一侧,且所述主转盘能够相对所述第一齿轮转动,以带动所述自转盘相对所述第一齿轮转动,所述第二齿轮与所述自转盘相连接,且所述第二齿轮与所述第一齿轮相啮合,以驱动所述自转盘相对所述主转盘转动;所述悬挂组件与所述自转盘背离所述驱动装置的一侧相连接。2.根据权利要求1所述的转架系统,其特征在于,所述驱动装置包括驱动机构以及连接机构;所述驱动机构包括驱动件、第一传动轮、传送带以及第二传动轮,所述驱动件的输出轴与所述第一传动轮相连接,所述第一传动轮与所述第二传动轮通过所述传送带相连接,且所述第二传动轮的直径大于所述第一传动轮的直径;所述第二传动轮与所述连接机构的一端相连接,所述连接机构的另一端与所述主转盘相连接。3.根据权利要求2所述的转架系统,其特征在于,所述连接机构包括磁流体、定位盘以及传动盘;所述磁流体的转轴的一端与所述第二传动轮相连接,所述转轴的另一端与所述传动盘相连接,所述传动盘与所述主转盘相连接;所述磁流体的外壳与所述定位盘相连接,所述定位盘与所述第一齿轮相连接。4.根据权利要求3所述的转架系统,其特征在于,所述定位盘上形成有多个定位凸部,多个所述定位凸部沿所述定位盘的周向间隔设置;所述第一齿轮朝向所述定位盘的一侧,且对应所述定位凸部的位置形成有配合凹部,所述定位凸部对应插入所述配合凹部内,使所述第一齿轮与所述定位盘相连接。5.根据权利要求3所述的转架系统,其特征在于,所述传动盘朝向所述主转盘的一侧上形成有多个连接部,所述主转盘通过对应所述连接部的位置设有连接件,且所述主转盘通过所述连接件与所述传动盘相连接。6.根据权利要求1所述的转架系统,其特征在于,还包括电极组件以及屏蔽组件;所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:王君闫超颖依君梁惠朋
申请(专利权)人:沈阳爱科斯科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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