一种黄光制程曝光偏移校正装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及图像处理技术领域，公开了一种黄光制程曝光偏移校正装置，包括台体，所述台体的顶端左部固定连接在纵梁的底端，所述纵梁的底端内壁固定连接在升降电机的底端，所述升降电机的驱动端固定连接在螺杆的底端，所述螺杆的外周螺纹连接有夹杆，所述纵梁的底端固定连接在横梁的底端左部，所述横梁的顶端右部固定连接有气缸，所述台体的内壁中部设置有支柱，所述支柱的左右两端均固定连接在液压缸的驱动端，所述支柱的顶端固定连接在承台的底端。本实用新型专利技术中，升降电机转动带动螺杆转动，螺杆转动带动夹杆移动，夹杆移动带动透光板移动，气缸的驱动端推动灯具移动，根据不同尺寸的产品调节透光板和灯具的高度。的产品调节透光板和灯具的高度。的产品调节透光板和灯具的高度。

【技术实现步骤摘要】
一种黄光制程曝光偏移校正装置


[0001]本技术涉及图像处理
，尤其涉及一种黄光制程曝光偏移校正装置。

技术介绍

[0002]黄光制程是将光罩主要图案先转移至感光材料上，利用光线透过光罩照射在感光材料上，再以溶剂浸泡将感光材料受光照射到的部份加以溶解或保留，如此所形成的光阻图案会和光罩完全相同或呈互补，黄光制程过程中有时候装置会发生偏移，需要对其进行校正。
[0003]黄光制程曝光要求较高，需要角度和光照强度都满足条件才可以，常见的装置存在的缺点有：一是普通的装置不能调灯具的高度，透光板也是不可以移动的，不可以根据曝光的具体情况调整距离高度，影响产品的质量，二是装置曝光过程中，会出现偏移的情况，制程板没有对准正中间，造成制程曝光出来的产品存在瑕疵，使用起来很不方便。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种黄光制程曝光偏移校正装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种黄光制程曝光偏移校正装置，包括台体，所述台体的顶端左部固定连接在纵梁的底端，所述纵梁的底端内壁固定连接在升降电机的底端，所述升降电机的驱动端固定连接在螺杆的底端，所述螺杆的外周螺纹连接有夹杆，所述纵梁的底端固定连接在横梁的底端左部，所述横梁的顶端右部固定连接有气缸，所述台体的内壁中部设置有支柱，所述支柱的左右两端均固定连接在液压缸的驱动端，所述支柱的顶端固定连接在承台的底端。
[0006]作为上述技术方案的进一步描述：
[0007]所述台体的前端右部固定连接有操作台，所述操作台电性连接升降电机、气缸和液压缸。
[0008]作为上述技术方案的进一步描述：
[0009]所述纵梁的右端设置有开口，所述夹杆垂直贯穿开口。
[0010]作为上述技术方案的进一步描述：
[0011]所述气缸的底端固定连接有灯具。
[0012]作为上述技术方案的进一步描述：
[0013]所述夹杆的右端固定连接有透光板。
[0014]作为上述技术方案的进一步描述：
[0015]所述支柱的底端设置有滚轮。
[0016]作为上述技术方案的进一步描述：
[0017]所述承台的顶端固定连接在制程板的底端。
[0018]作为上述技术方案的进一步描述：
[0019]所述台体的底端四角均固定连接在支腿的顶端。
[0020]本技术具有如下有益效果：
[0021]1、本技术中，首先升降电机转动带动螺杆转动，螺杆转动带动夹杆移动，然后夹杆移动带动透光板移动，达到了上下调节透光板高度的目的，最后气缸的驱动端推动灯具移动，调节灯具到制程板的距离，根据不同尺寸的产品调节透光板和灯具的高度，保证适应各种尺寸的产品制造，提高了产品的质量，使用起来十分方便。
[0022]2、本技术中，首先支柱的左右两端均固定连接有液压缸，液压缸的驱动端移动带动支柱移动，然后支柱移动带动承台移动，最后承台移动带动制程板移动，达到了偏移校正的目的，保证了制程板处于中间位置，保障了产品的质量，使用起来十分方便。
附图说明
[0023]图1为本技术提出的一种黄光制程曝光偏移校正装置的主视图；
[0024]图2为本技术提出的一种黄光制程曝光偏移校正装置的曝光调节详图；
[0025]图3为本技术提出的一种黄光制程曝光偏移校正装置的校正装置详图。
[0026]图例说明：
[0027]1、台体；2、制程板；3、承台；4、操作台；5、支腿；6、透光板；7、夹杆；8、开口；9、纵梁；10、横梁；11、灯具；12、气缸；13、升降电机；14、螺杆；15、支柱；16、液压缸；17、滚轮。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]参照图1
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3，本技术提供的一种实施例：一种黄光制程曝光偏移校正装置，包括台体1，台体1的顶端左部固定连接在纵梁9的底端，纵梁9起支撑的作用，纵梁9的底端内壁固定连接在升降电机13的底端，升降电机13的驱动端固定连接在螺杆14的底端，螺杆14的外周螺纹连接有夹杆7，升降电机13转动带动螺杆14转动，螺杆14转动带动夹杆7移动，夹杆7移动带动透光板6移动，达到了上下调节透光板6高度的目的，纵梁9的底端固定连接在横梁10的底端左部，横梁10起固定支撑气缸12和灯具11的作用，横梁10的顶端右部固定连接有气缸12，气缸12的驱动端推动灯具11移动，调节灯具11到制程板2的距离，根据不同尺
寸的产品调节透光板6和灯具11的高度，保证适应各种尺寸的产品制造，提高了产品的质量，台体1的内壁中部设置有支柱15，支柱15的左右两端均固定连接在液压缸16的驱动端，支柱15的顶端固定连接在承台3的底端，采用双液压缸16驱动方式更加准确和稳定，液压缸16的驱动端移动带动支柱15移动，支柱15移动带动承台3移动，承台3移动带动制程板2移动，达到了偏移校正的目的，保证了制程板2处于中间位置，保障了产品的质量。
[0031]台体1的前端右部固定连接有操作台4，操作台4电性连接升降电机13、气缸12和液压缸16，通过操作台4控制电气设备工作，纵梁9的右端设置有开口8，夹杆7垂直贯穿开口8，方便夹杆7的上下移动，气缸12的底端固定连接有灯具11，气缸12的驱动端推动灯具11移动，调节灯具11到制程板2的距离，夹杆7的右端固定连接有透光板6，透光板6可以拆卸，支柱15的底端设置有滚轮17，减小了支柱15移动的摩擦力，承台3的顶端固定连接在制程板2的底端，制程板2放置在承台3的顶端，两者可以拆卸，台体1的底端四角均固定连接在支腿5的顶端，支腿5起支撑和承重的作用。
[0032]工作原理：升降电机13转动带动螺杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种黄光制程曝光偏移校正装置，包括台体（1），其特征在于：所述台体（1）的顶端左部固定连接在纵梁（9）的底端，所述纵梁（9）的底端内壁固定连接在升降电机（13）的底端，所述升降电机（13）的驱动端固定连接在螺杆（14）的底端，所述螺杆（14）的外周螺纹连接有夹杆（7），所述纵梁（9）的底端固定连接在横梁（10）的底端左部，所述横梁（10）的顶端右部固定连接有气缸（12），所述台体（1）的内壁中部设置有支柱（15）， 所述支柱（15）的左右两端均固定连接在液压缸（16）的驱动端，所述支柱（15）的顶端固定连接在承台（3）的底端。2.根据权利要求1所述的一种黄光制程曝光偏移校正装置，其特征在于： 所述台体（1）的前端右部固定连接有操作台（4），所述操作台（4）电性连接升降电机（13）、气缸（12）和液压缸（16）。...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖啸，见强，周国鹏，张建权，郑志鹏，刘明淇，曾云飞，
申请(专利权)人：湖北香城智能机电研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：