本实用新型专利技术公开了一种超纯水制备及中水回用组合系统,超纯水系统包括依次连接的水箱、多介质过滤系统、超滤系统、一级RO系统、二级RO系统、EDI装置、抛光混床;中水回用系统包括研磨废水和切割废水,依次连接初沉池、调节池、混凝气浮池、AOP系统。所述多介质过滤系统的反洗水和一级RO系统的浓水通连接外排池,混凝气浮池、连接污泥池,污泥池连接板框压滤机,板框压滤机的滤液与调节池相连。本实用新型专利技术具有能够有效改善废水处理效果、提高废水回用效率和践行可持续发展的特点。率和践行可持续发展的特点。率和践行可持续发展的特点。
【技术实现步骤摘要】
一种超纯水制备及中水回用组合系统
[0001]本技术涉及一种废水处理系统,特别是一种超纯水制备及中水回用组合系统。
技术介绍
[0002]芯片在制作生产过程中,产生的废水主要包含清洗、研磨、切割废水,其中清洗废水中污染物主要来源于清洗剂,研磨废水主要污染物来源于物料中的粉末,切割废水污染物主要来源于切割液和物料中粉末,以及生产区内员工生活活动产生的生活污水。
[0003]此外,由于不同工序产生的加工废水各项指标存在较大差异,会出现将清洗废水清理过度、浓污废水清理不到位的情况,影响处理结果和处理效率。因此,目前的技术仅对废水中污染物的去除,并未考虑废水的回用,在减少废水排放量的问题上存在不佳的问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于,提供一种超纯水制作及中水回用系统。本技术具备有效降低废水中污染物浓度,并增加中水回用率的特点。
[0005]本技术的技术方案:一种超纯水制作及中水回用系统,其特征在于:超纯水制备中包括依次连接的水箱、多介质过滤系统、超滤系统、一级RO系统、二级RO系统、EDI装置、抛光混床;中水回用系统包括研磨废水和切割废水,依次连接初沉池、调节池、混凝气浮池、AOP系统。所述多介质过滤系统的反洗水和一级RO系统的浓水通连接外排池,混凝气浮池连接污泥池,污泥池连接板框压滤机,板框压滤机的滤液与调节池相连。
[0006]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,多介质过滤系统的反洗水通过管道连接外排池,超滤系统设有回流管连接至多介质过滤系统。
[0007]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述一级RO系统的浓水通过管道连接外排池,二级RO系统设有回流管连接至一级RO系统。
[0008]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述二级RO系统设有回流管连接至一级RO系统,EDI装置设有回流管连接至二级RO系统。
[0009]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述混凝气浮池设有污泥管与污泥池相连,出水与AOP系统相连。
[0010]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述超纯水制备中的多介质过滤系统为碳钢结构,超滤系统、一级RO系统、二级RO系统、EDI装置、抛光混床为一体化集成设备;中水回用系统中的初沉池、调节池、外排池为碳钢结构,混凝气浮池为高效、平流式、组合式浮选固液分离设备。
[0011]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述超纯水制备中多介质过滤系统为碳钢罐体,内含石英砂滤料、活性炭滤料。
[0012]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述超纯水制备中一级RO系统和二级RO系统均内含一级反渗透膜,采用聚酰胺复合膜,抗污染型;内含一级反渗透膜壳,FRP
材质,300Psi。
[0013]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述的AOP系统圆柱形,采用碳钢防腐结构,设置催化剂。
[0014]与现有技术相比,本技术先将各股生产废水通过初沉池、调节池和混凝气浮进行处理,构成中水回用系统。再将出水与自来水混合调匀作为原水,依次进入多介质过滤系统、超滤系统、一级RO系统、二级RO系统、EDI装置、抛光混床进行处理,构成超纯水制备系统。将生产废水进行预处理和自来水混合处理得到超纯水,既提高了整体处理效率、提升了回用效率,更是积极践行可持续发展的时代需要。综上所述,本技术具有能够有效改善废水处理效果、提高废水回用效率和顺应时代发展趋势的特点。
附图说明
[0015]图1是本技术的结构示意图;
[0016]附图中的标记为:1
‑
原水箱,2
‑
多介质过滤系统,3
‑
超滤系统,4
‑
一级RO系统,5
‑
二级RO系统,6
‑
EDI装置,7
‑
抛光混床,8
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初沉池,9
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调节池,10
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混凝气浮池,11
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AOP系统,12
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外排池,13
‑
污泥池,14
‑
板框压滤机。
具体实施方式
[0017]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的说明,但并不作为对本技术限制的依据。
[0018]实施例:一种超纯水制备及中水回用组合系统,构成如图1,超纯水系统包括依次连接的水箱1、多介质过滤系统2、超滤系统3、一级RO系统4、二级RO系统5、EDI装置6、抛光混床7;中水回用系统包括研磨废水和切割废水,依次连接初沉池8、调节池9、混凝气浮池10、AOP系统11。所述多介质过滤系统2的反洗水和一级RO系统4的浓水通连接外排池12,混凝气浮池10、连接污泥池13,污泥池13连接板框压滤机14,板框压滤机14的滤液与调节池9相连。
[0019]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述多介质过滤系统2的反洗水通过管道连接外排池12,超滤系统3设有回流管连接至多介质过滤系统2。
[0020]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述一级RO系统4的浓水通过管道连接外排池12,二级RO系统5设有回流管连接至一级RO系统4。
[0021]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述二级RO系统5设有回流管连接至一级RO系统4,EDI装置6设有回流管连接至二级RO系统5。
[0022]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述凝气浮池10设有污泥管与污泥池13相连,出水与AOP系统11相连。
[0023]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述超纯水处理中的多介质过滤系统2为碳钢结构,超滤系统3、一级RO系统4、二级RO系统5、EDI装置6、抛光混床7为一体化集成设备;中水回用系统中的初沉池8、调节池9、外排池12为碳钢结构,混凝气浮池10为高效、平流式、组合式浮选固液分离设备。
[0024]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述超纯水制备中多介质过滤系统1为碳钢罐体,内含石英砂滤料、活性炭滤料。
[0025]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述超纯水制备中一级RO系统4
和二级RO系统5均内含一级反渗透膜,采用聚酰胺复合膜,抗污染型;内含一级反渗透膜壳,FRP材质,300Psi。
[0026]前述的一种超纯水制备及中水回用组合系统中,所述的AOP系统11圆柱形,采用碳钢防腐结构,设置催化剂。
[0027]本技术的工作过程:各股生产废水收集后经过初沉池后进入调节池,调节池调节水质水量后,通过混凝沉淀池和AOP系统,处理去除水中污染物。中水回用系统出水与自来水混合均匀作为超纯水处理系统的原水,依次进入多介质过滤系统、超滤系统、一级RO系统、二级RO系统、EDI装置、抛光混床进行处理,超纯水出水用于生产线。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超纯水制备及中水回用组合系统,其特征在于:超纯水制备包括依次连接的原水箱(1)、多介质过滤系统(2)、超滤系统(3)、一级RO系统(4)、二级RO系统(5)、EDI装置(6)、抛光混床(7);中水回用系统包括研磨废水和切割废水,依次连接初沉池(8)、调节池(9)、混凝气浮池(10)、AOP系统(11);所述多介质过滤系统(2)的反洗水和一级RO系统(4)的浓水通连接外排池(12),混凝气浮池(10)连接污泥池(13),污泥池(13)连接板框压滤机(14),板框压滤机(14)的滤液与调节池(9)相连。2.根据权利要求1所述的一种超纯水制备及中水回用组合系统,其特征在于:超纯水制备中多介质过滤系统(2)的反洗水通过管道连接外排池(12),超滤系统(3)设有回流管连接至多介质过滤系统(2)。3.根据权利要求1所述的一种超纯水制备及中水回用组合系统,其特征在于:超纯水制备中一级RO系统(4)的浓水通过管道连接外排池(12),二级RO系统(5)设有回流管连接至一级RO系统(4)。4.根据权利要求1所述的一种超纯水制备及中水回用组合系统,其特征在于:超纯水制备中二级RO系统(5)设有回流管连接至一级RO系统(4),EDI装置(6)设有回流...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶舟,董菲菲,陈烨,曾淼,
申请(专利权)人:上一环保科技杭州有限公司,
类型:新型
国别省市:
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