一种线路板高精度激光光刻设备制造技术

本申请涉及激光光刻机技术领域，且公开了一种线路板高精度激光光刻设备，包括顶板，所述顶板的内部开设有通孔，所述通孔的内部活动穿设有固定杆，所述固定杆的上端固定连接有安装机构，所述固定杆的下端固定连接有连接板，所述连接板的底部固定连接有主激光器，所述固定杆的杆壁转动套接有安装板，所述安装板的下表面边缘处固定连接有辅助激光器，所述顶板的下表面一侧固定连接有驱动机构，所述驱动机构与安装板之间通过传动机构传动连接。本申请避免了辅助激光器在高速转动的过程中出现导线缠绕的情况，保证了整个设备的正常进行。保证了整个设备的正常进行。保证了整个设备的正常进行。

【技术实现步骤摘要】
一种线路板高精度激光光刻设备


[0001]本申请涉及激光光刻机
，尤其是涉及一种线路板高精度激光光刻设备。

技术介绍

[0002]光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻机，一般线路板组焊层光刻工艺要经历涂组焊材料、对准曝光、显影、刻蚀等工序，是线路板生产中不可或缺的设备之一。
[0003]在实现本申请过程中，专利技术人发现至少存在如下问题，现有的线路板高精度激光光刻设备中的辅助激光器在高速转动的过程中容易因为导线缠绕而发生故障，从而影响整个设备的正常使用。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是为了解决现有技术中辅助激光器在高速转动的过程中容易造成导线缠绕而发生故障的问题，而提出的一种线路板高精度激光光刻设备。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：
[0006]一种线路板高精度激光光刻设备，包括顶板，所述顶板的内部开设有通孔，所述通孔的内部活动穿设有固定杆，所述固定杆的上端固定连接有安装机构，所述固定杆的下端固定连接有连接板，所述连接板的底部固定连接有主激光器，所述固定杆的杆壁转动套接有安装板，所述安装板的下表面边缘处固定连接有辅助激光器，所述顶板的下表面一侧固定连接有驱动机构，所述驱动机构与安装板之间通过传动机构传动连接。
[0007]通过采用上述技术方案，利用设置的驱动机构，能够驱动安装板往复旋转，从而能够尽量避免在工作过程中辅助激光器的导线出现缠绕的情况。
[0008]优选的，所述安装机构包括第一套管，所述第一套管固定连接于顶板的上表面，所述固定杆的上端延伸至顶板的上方且杆壁活动穿设于第一套管的内部，所述第一套管的两侧对称固定连接有螺栓，所述固定杆的上端杆壁对称开设有两个内螺纹盲孔，两个所述螺栓均分别螺纹套设于对应的内螺纹盲孔的内部。
[0009]通过采用上述技术方案，利用安装机构对固定杆进行安装，能够在主激光器和辅助激光器出现故障时对其拆卸维修。
[0010]优选的，所述驱动机构包括电机、往复丝杆、滑块和两个固定板，两个所述固定板对称固定连接于顶板的下表面，所述电机与其中一个固定板的侧壁固定连接，所述往复丝杆设置于两个固定板之间且两端杆壁分别与对应的固定板转动连接，所述往复丝杆的一端贯穿对应的固定板并与电机的输出端固定连接，所述滑块螺纹套设于往复丝杆的杆壁且侧壁固定连接有限位机构，所述滑块的另一侧固定连接有连接杆，所述连接杆的另一端固定连接有与传动机构相连接的齿条。
[0011]通过采用上述技术方案，利用设置的往复丝杆，能够在电机工作时驱动往复丝杆转动，从而实现滑块能够通过连接杆带动齿条往复运动，进而便于对安装板进行驱动。
[0012]优选的，所述传动机构包括转杆、第一齿轮和第二齿轮，所述转杆设置于顶板的下侧且上端杆壁与顶板转动连接，所述第一齿轮固定连接于转杆的下端且与齿条啮合连接，所述安装板的上表面固定连接有第二套管，所述固定杆活动穿设于第二套管的内部，所述第二齿轮固定套接于第二套管的外壁且与第一齿轮啮合连接，所述第一齿轮的半径大于第二齿轮的半径。
[0013]通过采用上述技术方案，利用设置的第一齿轮和第二齿轮之间的啮合连接，能够在第一齿轮转动时驱动第二齿轮转动，从而能够驱动安装板带动辅助激光器转动。
[0014]优选的，所述限位机构包括限位块和限位杆，所述限位杆活动穿设于限位块的内部，所述限位杆的两端分别与对应的固定板固定连接。
[0015]通过采用上述技术方案，利用设置的限位块和限位杆，能够在往复丝杆转动的同时尽量避免滑块转动，从而能够始终保持齿条与第一齿轮之间的高度啮合。
[0016]优选的，所述往复丝杆的长度等于齿条的长度且等于第一齿轮的周长。
[0017]通过采用上述技术方案，能够在滑块运动的过程中驱动第一齿轮正转、反转的角度均为360
°
，以便于辅助激光器能够形成可见的光圈。
[0018]与现有技术相比，本申请提供了一种线路板高精度激光光刻设备，具备以下有益效果：
[0019]该线路板高精度激光光刻设备，通过设置的驱动机构，利用往复丝杆能够实现齿条的往复运动，从而能够驱动第二齿轮往复旋转，能够避免安装板单向旋转造成辅助激光器的导线缠绕，进而保证了整个设备的正常工作。
[0020]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本申请避免了辅助激光器在高速转动的过程中出现导线缠绕的情况，保证了整个设备的正常进行。
附图说明
[0021]图1为本申请提出的一种线路板高精度激光光刻设备的结构示意图；
[0022]图2为图1中驱动机构的俯视图。
[0023]附图标记说明：
[0024]1、顶板；2、固定杆；3、连接板；4、主激光器；5、安装板；6、辅助激光器；7、第一套管；8、螺栓；9、电机；10、往复丝杆；11、滑块；12、固定板；13、连接杆；14、齿条；15、转杆；16、第一齿轮；17、第二齿轮；18、第二套管；19、限位块；20、限位杆。
具体实施方式
[0025]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0026]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0027]参照图1，一种线路板高精度激光光刻设备，包括顶板1，顶板1的内部开设有通孔，通孔的内部活动穿设有固定杆2，固定杆2的上端固定连接有安装机构，安装机构包括第一
套管7，第一套管7固定连接于顶板的上表面，固定杆2的上端延伸至顶板1的上方且杆壁活动穿设于第一套管7的内部，第一套管7的两侧对称固定连接有螺栓8，固定杆2的上端杆壁对称开设有两个内螺纹盲孔，两个螺栓8均分别螺纹套设于对应的内螺纹盲孔的内部，利用安装机构对固定杆2进行安装，能够在主激光器4和辅助激光器6出现故障时对其拆卸维修。
[0028]参照图1
‑
2，固定杆2的下端固定连接有连接板3，连接板3的底部固定连接有主激光器4，固定杆2的杆壁转动套接有安装板5，安装板5的下表面边缘处固定连接有辅助激光器6，顶板1的下表面一侧固定连接有驱动机构。
[0029]其中，驱动机构包括电机9、往复丝杆10、滑块11和两个固定板12，两个固定板12对称固定连接于顶板1下表面的两侧，电机9与其中一个固定板12的侧壁固定连接，往复丝杆10设置于两个固定板12之间且两端杆壁分别与对应的固定板12转动连接，往复丝杆10的一端贯穿对应的固定板12并与电机9的输出端固定连接，滑块11的另一侧固定连接有连接杆13，连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线路板高精度激光光刻设备，包括顶板（1），其特征在于：所述顶板（1）的内部开设有通孔，所述通孔的内部活动穿设有固定杆（2），所述固定杆（2）的上端固定连接有安装机构，所述固定杆（2）的下端固定连接有连接板（3），所述连接板（3）的底部固定连接有主激光器（4），所述固定杆（2）的杆壁转动套接有安装板（5），所述安装板（5）的下表面边缘处固定连接有辅助激光器（6），所述顶板（1）的下表面一侧固定连接有驱动机构，所述驱动机构与安装板（5）之间通过传动机构传动连接。2.根据权利要求1所述的一种线路板高精度激光光刻设备，其特征在于：所述安装机构包括第一套管（7），所述第一套管（7）固定连接于顶板的上表面，所述固定杆（2）的上端延伸至顶板（1）的上方且杆壁活动穿设于第一套管（7）的内部，所述第一套管（7）的两侧对称固定连接有螺栓（8），所述固定杆（2）的上端杆壁对称开设有两个内螺纹盲孔，两个所述螺栓（8）均分别螺纹套设于对应的内螺纹盲孔的内部。3.根据权利要求1所述的一种线路板高精度激光光刻设备，其特征在于：所述驱动机构包括电机（9）、往复丝杆（10）、滑块（11）和两个固定板（12），两个所述固定板（12）对称固定连接于顶板（1）的下表面，所述电机（9）与其中一个固定板（12）的侧壁固定连接，所述往复丝杆（10）设置于两个固定板（12）之间且两端杆壁分别与对应的固定板（...

【专利技术属性】
技术研发人员：周海彬，韦海桃，丰振亚，陈瑜群，王旭，刘占斌，
申请(专利权)人：深圳捷飞高电路有限公司，
类型：新型
国别省市：