本实用新型专利技术公开了一种小抽速离子泵寿命考核装置。该小抽速离子泵寿命考核装置氢源罐、提纯器、三通、被测离子泵、真空阀门、分子泵组以及数据处理器。氢源罐上设置有开关阀；提纯器通过连接管与开关阀连接；三通包括第一端口、第二端口以及第三端口，第一端口与提纯器密封连接；被测离子泵与第二端口密封连接，被测离子泵通过高压电源加电；真空阀门与第三端口密封连接；分子泵组与真空阀门连接；数据处理器用于对被测离子泵高压电源离子流数据进行采集和处理。本实用新型专利技术的小抽速离子泵寿命考核装置，可以客观、真实、有效的考核被测离子泵在特定气体负载下的使用寿命，能够提高氢原子频标整机可靠性与寿命评估的精度。子频标整机可靠性与寿命评估的精度。子频标整机可靠性与寿命评估的精度。
【技术实现步骤摘要】
小抽速离子泵寿命考核装置
[0001]本技术涉及离子泵寿命考核
，具体而言，涉及一种小抽速离子泵寿命考核装置。
技术介绍
[0002]目前，用于氢原子频标的小抽速离子泵抽速范围一般在1L/s～8L/s，其与吸气剂泵一起组合成复合泵共同维持氢原子频标内真空环境的高真空度，为氢原子提供一个理想的高真空环境。其工作时，加3KV～5KV高压，在阴阳极之间形成一个强电势，同时叠加一个强磁场，实现内部空间电子的螺旋加速运动。当内部环境有气体分子时，被高速电子碰撞形成离子，大质量离子被电磁场加速撞击离子泵阴极钛板形成钛膜覆盖在阳极圈上，实现对空间气体分子的吸附抽除，以达到内真空环境真空度要求。显然，小抽速离子泵属于氢原子频标内的耗损部件，具有一定的使用寿命。市售货架产品一般标有标称使用寿命，但上述标称寿命有如下不足之处：
[0003](1)氢原子频标用离子泵工作环境特殊，主要的气体负载是氢气，而市面离子泵货架产品的标称寿命是按照负载气体为氮气考核，离子泵对不同气体负载的使用寿命存在差异，无法采用该货架产品标称工作寿命来判断氢原子频标用小抽速离子泵工作寿命；
[0004](2)氢原子频标内还有一种离子泵为非标自研部件，也需要考核其工作寿命；
[0005]综上两点，需要设计一种小抽速离子泵寿命考核装置，以考核氢原子频标所用离子泵的工作寿命，用于评估氢原子频标的整机寿命。
技术实现思路
[0006]本技术的主要目的在于提供一种小抽速离子泵寿命考核装置，以用于考核氢原子频标所用离子泵的工作寿命。<br/>[0007]为了实现上述目的，本技术提供了一种小抽速离子泵寿命考核装置，包括：
[0008]氢源罐，所述氢源罐上设置有开关阀；
[0009]提纯器，所述提纯器通过连接管与所述开关阀连接，所述提纯器通过恒流源加电；
[0010]三通，所述三通包括第一端口、第二端口以及第三端口，所述第一端口与所述提纯器密封连接；
[0011]被测离子泵，所述被测离子泵与所述第二端口密封连接，所述被测离子泵通过高压电源加电；
[0012]真空阀门，所述真空阀门与所述第三端口密封连接；
[0013]分子泵组，所述分子泵组与所述真空阀门连接；
[0014]数据处理器，所述数据处理器与所述被测离子泵电连接，以用于对所述被测离子泵高压电源离子流数据进行采集和处理。
[0015]进一步地，所述提纯器为镍提纯器。
[0016]进一步地，所述第一端口、所述第二端口以及所述第三端口均设置有连接法兰，所
述连接法兰与所述被测离子泵之间、所述连接法兰与所述真空阀门之间、以及所述连接法兰与所述提纯器之间均设置有密封圈。
[0017]进一步地，所述密封圈为无氧铜密封圈；和/或，
[0018]所述第一端与所述提纯器之间的所述连接法兰为与所述提纯器相适配的非标准法兰；和/或，
[0019]所述第二端口与所述被测离子泵之间的所述连接法兰为CF16法兰；和/或，
[0020]所述第三端口与所述真空阀门之间的所述连接法兰为CF16法兰。
[0021]进一步地，所述真空阀门为CF16高真空金属阀门。
[0022]进一步地，所述三通的管径为6mm至8mm，所述三通的壁厚为2mm至3mm。
[0023]应用本技术的技术方案，采用本技术的寿命考核装置对小抽速离子泵的寿命进行考核时，用恒流源给提纯器加电，同时打开氢源罐的开关阀。恒流源电流设定值可根据被测离子泵离子流大小自行设定。被测离子泵正常工作状态下离子流比较平稳，当离子流出现大幅波动甚至瞬间冲高又回落时，表明被测离子泵寿命接近尾声，直至离子泵短路，被测离子泵的高压电源无法工作，表明被测离子泵寿命考核结束，然后通过数据处理器整理采集数据，即可计算得到被测离子泵的工作寿命。通过本技术的小抽速离子泵寿命考核装置，可以客观、真实、有效的考核被测离子泵在特定气体负载下的使用寿命，能够提高氢原子频标整机可靠性与寿命评估的精度。
附图说明
[0024]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附
[0025]图中：
[0026]图1是本技术实施例公开的小抽速离子泵寿命考核装置的主视图；
[0027]图2是本技术实施例公开的小抽速离子泵寿命考核方法的流程图。
[0028]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0029]10、氢源罐；11、开关阀；20、提纯器；30、连接管；40、三通；41、第一端口；42、第二端口；43、第三端口；401、连接法兰；50、被测离子泵；60、真空阀门。
具体实施方式
[0030]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0031]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0032]除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本技术的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技
术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0033]实施例一
[0034]参见图1所示，根据本技术的实施例，提供了一种小抽速离子泵寿命考核装置，下称寿命考核装置，该寿命考核装置尤其适用于对测定氢原子频标用小抽速离子泵的寿命进行考核。该寿命考核装置包括氢源罐10、提纯器20、三通40、被测离子泵50、真空阀门60、分子泵组(图中未示出)以及数据处理器。
[0035]其中，氢源罐10上设置有开关阀11，该开关阀11用于对氢源罐10的开闭进行控制；提纯器20通过连接管30与开关阀11连接，便于对氢源罐10输送过来的氢进行提纯处理，该提纯器20通过恒流源(图中未示出)加电；三通40包括第一端口41、第二端口42以及第三端口43，第一端口41与提纯器20密封连接，第二端口42与被测离子泵50密封连接，被测离子泵50通过高压电源加电；第三端口43与真空阀门60密封连接；分子泵组与真空阀本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种小抽速离子泵寿命考核装置，其特征在于，包括：氢源罐(10)，所述氢源罐(10)上设置有开关阀(11)；提纯器(20)，所述提纯器(20)通过连接管(30)与所述开关阀(11)连接，所述提纯器(20)通过恒流源加电；三通(40)，所述三通(40)包括第一端口(41)、第二端口(42)以及第三端口(43)，所述第一端口(41)与所述提纯器(20)密封连接；被测离子泵(50)，所述被测离子泵(50)与所述第二端口(42)密封连接，所述被测离子泵(50)通过高压电源加电；真空阀门(60)，所述真空阀门(60)与所述第三端口(43)密封连接；分子泵组，所述分子泵组与所述真空阀门(60)连接；数据处理器，所述数据处理器与所述被测离子泵(50)电连接，以用于对所述被测离子泵(50)高压电源离子流数据进行采集和处理。2.根据权利要求1所述的小抽速离子泵寿命考核装置，其特征在于，所述提纯器(20)为镍提纯器。3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：王文明，沈国辉，冯玉宾，李晶，陈强，郑贺斐，王锋，
申请(专利权)人：北京无线电计量测试研究所，
类型：新型
国别省市：
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