应用于真空腔内夹持机构的定位组件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种应用于真空腔内夹持机构的定位组件，其中，定位组件包括：设于两个机械臂之间、包括机械臂固定部和机械臂抵触部的限位块，其中，所述机械臂固定部与一所述机械臂中的电机控制端固定连接，所述机械臂抵触部在两个机械臂的电机控制端靠近时，与另一所述机械臂中的电机控制端相抵触，形成限位配合；设于所述夹持机构下方可检测到托盘的位置的光电感应器；分别与所述光电感应器及用于控制两个所述机械臂旋转位置的电机相连接的控制模块。通过设置限位块和光电感应器，使得应用于真空腔内夹持机构的定位组件具备易于实施、使用方便、准确性高、适用范围广泛的特点。适用范围广泛的特点。适用范围广泛的特点。

【技术实现步骤摘要】
应用于真空腔内夹持机构的定位组件


[0001]本技术涉及加工辅助装置
，尤其涉及一种应用于真空腔内夹持机构的定位组件。

技术介绍

[0002]在半导体部件生产制造过程中一般需要采用气相沉积法进行加工生产，现有技术中通常采用化学气相沉积设备(CVD)与物理气相沉积设备(PVD)执行气相沉积法相加工。为满足加工需求，化学气相沉积设备(CVD)与物理气相沉积设备(PVD)内部均设有真空腔(Transfer)，加工时，待加工部件被放置于真空腔中，并由真空腔内的夹持机构来执行对待加工部件的固定，为保障加工精度，夹持机构的初始位置的确定就格外的重要。然而由于现有技术中的真空腔内的夹持机构包括两个机械臂，两个机械臂夹持着托盘(blade)来对待加工部件进行承载，并带动待加工部件移动，为了更好地对托盘(blade)进行固定，故两个机械臂之间的间距可调，且两个机械臂均为可绕轴旋转的结构，这种位于真空腔内的夹持机构存在回零和原点复位难度高的问题。
[0003]现有技术中在对夹持机构进行定位时，通过执行下述步骤：
[0004]首先，需要释放真空腔(Transfer)中的真空环境，打开真空腔(Transfer)的密封盖；
[0005]然后，关掉控制机械臂的电机的使能，用手对给机械臂上的托盘(blade)进行定位，并用基准工具进行校准；
[0006]再次，使机械臂进行旋转和伸缩动作后，再次用基准工具进行校准。
[0007]最后，再关闭真空腔(Transfer)腔体的密封盖，对真空腔(Transfer)腔体抽真空，从而完成整个校准过程结束。
[0008]上述定位过程存在操作困难，定位速度慢的问题。

技术实现思路

[0009]本技术的目的是克服了上述现有技术中的缺点，提供了一种操作方便、结构简单、有效提高真空腔内夹持机构定位效率的应用于真空腔内夹持机构的定位组件。
[0010]为了实现上述的目的，本技术的应用于真空腔内夹持机构的定位组件如下：
[0011]该应用于真空腔内夹持机构的定位组件，其主要特点是，包括：
[0012]限位块，包括机械臂固定部和机械臂抵触部，所述机械臂固定部和所述机械臂抵触部分别位于所述限位块的两端，且所述限位块位于夹持机构中的两个机械臂之间，其中，所述机械臂固定部与一所述机械臂中的电机控制端固定连接，所述机械臂抵触部在两个机械臂的电机控制端靠近时，与另一所述机械臂中的电机控制端相抵触，形成限位配合；
[0013]光电感应器，设于所述夹持机构下方可检测到托盘的位置，所述托盘设置于两个所述机械臂上；
[0014]控制模块，分别与所述光电感应器及用于控制两个所述机械臂旋转位置的电机相
连接。
[0015]上述的应用于真空腔内夹持机构的定位组件，其中，所述限位块将两个机械臂的电机控制端之间的极限间隔角度限定在180
°
。
[0016]上述的应用于真空腔内夹持机构的定位组件，其中，所述限位块中的机械臂固定部通过塞打螺钉固定在一所述机械臂中的电机控制端。
[0017]上述的应用于真空腔内夹持机构的定位组件，其中，所述限位块上开设有减轻孔。
[0018]上述的应用于真空腔内夹持机构的定位组件，其中，所述光电感应器设于真空腔外侧。
[0019]本技术的应用于真空腔内夹持机构的定位组件的有益效果：
[0020]采用本技术的应用于真空腔内夹持机构的定位组件，可通过限位块限定两个机械臂的电机控制端之间的极限间隔角度，并通过光电感应器检测出设置于两个所述机械臂上的托盘的位置，从而获取机械臂的旋转位置，进而更快速、方便、准确地对真空腔内夹持机构进行定位。该应用于真空腔内夹持机构的定位组件具备易于实施、使用方便、准确性高、适用范围广泛的特点。
附图说明
[0021]以下将结合附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本技术的目的、特征和效果。
[0022]图1是一实施例中本技术的应用于真空腔内夹持机构的定位组件的结构示意图。
[0023]附图标记
[0024]1ꢀꢀꢀꢀꢀ
限位块
[0025]11
ꢀꢀꢀꢀ
减轻孔
[0026]2ꢀꢀꢀꢀꢀ
光电感应器
[0027]21
ꢀꢀꢀꢀ
光柱
[0028]3ꢀꢀꢀꢀꢀ
机械臂
[0029]4ꢀꢀꢀꢀꢀ
托盘
[0030]5ꢀꢀꢀꢀꢀ
电机
具体实施方式
[0031]为了使技术实现的技术手段、创造特征、达成目的和功效易于明白了解，下结合具体图示，进一步阐述本技术。但本技术不仅限于以下实施的案例。
[0032]须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。
[0033]如图1所述，在一实施例中，应用于真空腔内夹持机构的定位组件包括：
[0034]限位块1，包括机械臂固定部和机械臂抵触部，所述机械臂固定部和所述机械臂抵
触部分别位于所述限位块1的两端，且所述限位块1位于夹持机构中的两个机械臂3之间，其中，所述机械臂固定部与一所述机械臂3中的电机控制端固定连接，所述机械臂抵触部在两个机械臂3的电机控制端靠近时，与另一所述机械臂3中的电机控制端相抵触，形成限位配合；即在两个所述机械臂3收拢至极限位置时，机械臂抵触部与另一所述机械臂3中的电机控制端相抵触，所述限位块1用于限定两个所述机械臂3收拢至极限位置时的间隔距离；
[0035]光电感应器2，设于所述夹持机构下方可检测到托盘4的位置，所述托盘4设置于两个所述机械臂3上；
[0036]控制模块，分别与所述光电感应器2及用于控制两个所述机械臂3旋转位置的电机5相连接。
[0037]上述控制模块可由现有技术中的单片机、可编程控制器等控制机构构成。
[0038]图1中为使得本领域技术人员更好地了解到光柱21的位置，绘制出了光柱21，但实际应用时，肉眼并不一定能够看得见光柱21，即其并非存在实体。
[0039]其中，为保障调节精度，电机5可由伺服电机构成。
[0040]在该实施例中，所述限位块1将两个机械臂3的电机控制端之间的极限间隔角度限定在180
°
。
[0041]在该实施例中，所述限位块1中的机械臂固定部通过塞打螺钉固定在一所述机械臂3中的电机控制端，令限位块更稳定地固定于一机械臂3上。
[0042]在该实施例中，所述限位块1上开设有减轻孔11，以减轻限位块的重量。
[0043本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于真空腔内夹持机构的定位组件，其特征在于，包括：限位块，包括机械臂固定部和机械臂抵触部，所述机械臂固定部和所述机械臂抵触部分别位于所述限位块的两端，且所述限位块位于夹持机构中的两个机械臂之间，其中，所述机械臂固定部与一所述机械臂中的电机控制端固定连接，所述机械臂抵触部在两个机械臂的电机控制端靠近时，与另一所述机械臂中的电机控制端相抵触，形成限位配合；光电感应器，设于所述夹持机构下方可检测到托盘的位置，所述托盘设置于两个所述机械臂上；控制模块，分别与所述光电感应器及用于控制两个所述机械臂旋转位置的电机相连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：禅明，黄善发，李靖，吴金马，王金，臧宇，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：