一种管口密封装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种管口密封装置，属于电池片生产技术领域，解决了现有技术中管口与底板的连接方式导致底板易掉落的问题。该管口密封装置包括与管口形状相匹配的底板、支架和调节部；所述调节部包括轴、第一轴承和缓震件；所述轴穿过所述支架上的通孔与所述底板连接，所述支架与所述底板连接；所述缓震件和所述第一轴承均套设于所述轴的外壁，所述第一轴承、所述支架和所述缓震件在所述轴上按照距离所述底板由远及近的方向依次设置。本实用新型专利技术实现了不需要拆解整个密封装置就能更换底板的密封件。封件。封件。

【技术实现步骤摘要】
一种管口密封装置


[0001]本技术涉及电池片生产
，尤其涉及一种管口密封装置。

技术介绍

[0002]在电池片镀膜工艺制程中，工艺过程中用到的气体需要在真空的环境下通过加热、放电等手段使其分子电离，各种活性基团向薄膜生长表面和管壁扩散运输。到达硅片表面的各种初级反应和次级反应产物被吸附并与硅片表面发生反应沉积生成薄膜。在真空系统中，气体的流动处于黏滞状态，气体的输送过程对薄膜的沉积速度、薄膜厚度的均匀性、反应物的利用效率以及电池片的转换效率等都有重要的影响。
[0003]目前管体的管口密封装置都是使用螺栓固定在相对的位置，在使用过程中密封底板往复，由于震动造成连接螺栓松动，导致密封底板非常容易掉落。

技术实现思路

[0004]鉴于上述的分析，本技术旨在提供一种管口密封装置，用以解决现有管口与底板的连接方式导致底板易掉落的问题。
[0005]本技术的目的主要是通过以下技术方案实现的：
[0006]本技术提供了一种管口密封装置，包括与管口形状相匹配的底板、支架和调节部；所述调节部包括轴、第一轴承和缓震件；所述轴穿过所述支架上的通孔与所述底板连接，所述支架与所述底板连接；所述缓震件和所述第一轴承均套设于所述轴的外壁，所述第一轴承、所述支架和所述缓震件在所述轴上按照距离所述底板由远及近的方向依次设置。
[0007]可选地，所述轴为球头轴，所述球头轴包括第一主体和球形端；所述密封装置还包括球头套，所述球头套设于所述球头轴和所述底板之间，其包括与所述球形端相适应的腔体；所述底板远离管口的一面设有凹槽；所述球形端置于所述腔体后，其一部分伸出所述球头套进入所述凹槽内。
[0008]可选地，所述支架与所述底板通过连接件连接，所述连接件包括连接轴、套设于所述连接轴上的第二轴承和弹性件，所述弹性件位于所述支架和所述底板之间。
[0009]可选地，所述支架包括多个支撑臂，所述多个支撑臂周向均匀设置，且每个所述支撑臂从所述支架的中心向边缘伸出。
[0010]可选地，所述支撑臂的数量为3个。
[0011]可选地，所述调节部还包括轴承套，所述轴承套套设于所述第一轴承的外壁，所述轴承套的底壁以及所述支架的相应位置上分别设有第一安装孔。
[0012]可选地，所述支撑臂远离所述支架中心的一端设有轴向的第二安装孔，所述连接件穿过所述第二安装孔与所述底板固定连接。
[0013]可选地，所述腔体包括第一开口和第二开口，所述第一开口朝向所述底板一侧，所述第二开口朝向所述支架一侧，所述第一开口的尺寸小于球头的直径。
[0014]可选地，所述连接轴包括相互连接的头部和第二主体，所述头部和所述第二主体
均呈圆柱状，所述头部的直径大于所述第二主体的直径，所述头部与所述底板的表面连接。
[0015]可选地，所述调节部还包括定位件，所述球头轴上、与所述球形端相对的一端设有轴向的限位孔，所述定位件与所述限位孔螺纹连接。
[0016]本技术至少可实现如下有益效果之一：
[0017](1)本技术通过在轴上套设缓震件，弱化了密封装置往复运动带来的震动，使底板不易掉落。
[0018](2)本技术通过采用球头连接方式，并与缓震件和轴承配合使用，实现了密封装置的可伸缩性，从而能够使本实施例的密封装置适应不同的装机工艺。
[0019](3)本技术通过连接轴、第二轴承和弹性件的组合设置形成独立的自适应压紧装置，尤其是弹性件的设置能够使密封装置具有调平功能，实现对底板水平自适应压紧调节。
[0020]本技术中，上述各技术方案之间还可以相互组合，以实现更多的优选组合方案。本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分优点可从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过说明书实施例以及附图中所特别指出的内容中来实现和获得。
附图说明
[0021]附图仅用于示出具体实施例的目的，而并不认为是对本技术的限制，在整个附图中，相同的参考符号表示相同的部件。
[0022]图1为本技术一实施例的密封装置爆炸图；
[0023]图2为本技术一实施例的密封装置组装后的示意图；
[0024]图3为本技术一实施例球头轴和球头套配合后的结构示意图；
[0025]图4为本技术一实施例支架结构示意图；
[0026]图5为本技术一实施例的密封装置组装后另一角度的示意图。
[0027]附图标记：
[0028]1‑
底板；2
‑
球头轴；3
‑
球头套；4
‑
第一轴承；5
‑
轴承套；6
‑
缓震件；7
‑
第一主体；8
‑
球形端；9
‑
第一安装孔；10
‑
定位孔；11
‑
第二定位件；12
‑
限位孔；13
‑
曲面侧面；14
‑
长方形侧面；16
‑
凹槽；17
‑
支撑臂；18
‑
第二安装孔；19
‑
连接轴；20
‑
第二轴承；21
‑
弹性件；22
‑
连接板；23
‑
第三定位件；24
‑
头部；25
‑
第二主体；26
‑
阻挡垫片；27
‑
缓震垫片；28
‑
保护垫片。
具体实施方式
[0029]下面结合附图来具体描述本技术的优选实施例，其中，附图构成本申请一部分，并与本技术的实施例一起用于阐释本技术的原理，并非用于限定本技术的范围。
[0030]PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子增强化学气相淀积)是目前生产电池片中比较常用的方法，该方法中常用的系统包括管式PECVD系统和板式PECVD系统。
[0031]本技术的一个具体实施例，公开了一种用于管式PECVD系统的管口密封装置，如图1和图2所示，包括与管口形状相匹配的底板1、支架和调节部。调节部穿过支架上设有
的通孔与底板1连接，支架通过连接件与底板1连接。
[0032]调节部包括球头轴2、球头套3、第一轴承4、轴承套5和缓震件6。
[0033]参考图3，球头轴2包括第一主体7和球形端8，第一主体7呈圆柱状，第一主体7穿过支架上的通孔，第一主体7的外壁套设第一轴承4，第一轴承4的外壁套设轴承套5。第一主体7、第一轴承4和轴承套5的相应位置上分别设有径向的定位孔10，如图2所示，第一定位件(图中未示出)穿过定位孔10实现球头轴2、第一轴承4和轴承套5的径向连接，从而限制球头轴2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种管口密封装置，其特征在于，包括与管口形状相匹配的底板、支架和调节部；所述调节部包括轴、第一轴承和缓震件；所述轴穿过所述支架上的通孔与所述底板连接，所述支架与所述底板连接；所述缓震件和所述第一轴承均套设于所述轴的外壁，所述第一轴承、所述支架和所述缓震件在所述轴上按照距离所述底板由远及近的方向依次设置。2.根据权利要求1所述的管口密封装置，其特征在于，所述轴为球头轴，所述球头轴包括第一主体和球形端；所述密封装置还包括球头套，所述球头套设于所述球头轴和所述底板之间，其包括与所述球形端相适应的腔体；所述底板远离管口的一面设有凹槽；所述球形端置于所述腔体后，其一部分伸出所述球头套进入所述凹槽内。3.根据权利要求1所述的管口密封装置，其特征在于，所述支架与所述底板通过连接件连接，所述连接件包括连接轴、套设于所述连接轴上的第二轴承和弹性件，所述弹性件位于所述支架和所述底板之间。4.根据权利要求3所述的管口密封装置，其特征在于，所述支架包括多个支撑臂，所述多个支撑臂周向均匀设置，且每个所述支撑臂从所述支架的中心向边缘伸出。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：李臣金，杨杰，熊才煜，
申请(专利权)人：晶澳扬州太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：