一种用于真空处理设备的密封检测装置制造方法及图纸

技术编号:34649851 阅读:5 留言:0更新日期:2022-08-24 15:32
本实用新型专利技术属于真空处理设备生产技术领域,尤其为一种用于真空处理设备的密封检测装置,包括检测台和活动放置在检测台顶部的真空处理设备本体,所述检测台的顶部固定设置有支撑板,所述支撑板的一侧固定设置有电动推杆,所述电动推杆的输出轴上固定设置有安装板,所述安装板一侧固定安装有压力传感器,所述压力传感器的一侧固定设置有传递杆,所述传递杆的一端固定设置有密封塞。本实用新型专利技术便于对不同大小的真空处理设备本体进行夹持固定,避免检测时发生偏移而影响检测的结果,通过电动推杆、控制器、显示屏、安装板、压力传感器、传递杆和密封塞的配合,便于对真空处理设备本体的密封性进行检测,提高了检测的效率。提高了检测的效率。提高了检测的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空处理设备的密封检测装置


[0001]本技术涉及真空处理设备生产
,尤其涉及一种用于真空处理设备的密封检测装置。

技术介绍

[0002]在真空处理设备生产完成后,需要对真空处理设备的性能进行检查,其中对其进行密封检测为重中之重,因真空处理设备密封性是非良好,决定了其内是非处于绝对真空状态。
[0003]然而现有的用于真空处理设备的密封检测装置在使用时,检测步骤较多,检测较为繁琐,降低了密封检测的效率,且不便对真空处理设备进行有效的固定,导致检测时易发生偏移而影响检测的结果,因此我们提出了一种用于真空处理设备的密封检测装置用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决上述中的缺点,而提出的一种用于真空处理设备的密封检测装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种用于真空处理设备的密封检测装置,包括检测台和活动放置在检测台顶部的真空处理设备本体,所述检测台的顶部固定设置有支撑板,所述支撑板的一侧固定设置有电动推杆,所述电动推杆的输出轴上固定设置有安装板,所述安装板一侧固定安装有压力传感器,所述压力传感器的一侧固定设置有传递杆,所述传递杆的一端固定设置有密封塞,所述真空处理设备本体的一侧固定连通有抽气口,所述检测台的顶部固定设置有定位板,所述检测台的顶部开设有两个凹槽,所述凹槽的前后侧内壁上转动设置有同一个驱动螺杆,所述驱动螺杆的一端固定设置有链轮,两个链轮上传动安装有同一个传动链,所述驱动螺杆的外侧螺纹套接有螺母,所述螺母的外侧固定套设有移动板,两个移动板的顶部固定设置有同一个固定板,所述固定板与定位板分别活动抵接在真空处理设备本体的两侧。
[0007]优选的,所述检测台的前侧固定设置有控制器,所述控制器的前侧设置有显示屏和按键。
[0008]优选的,所述固定板与定位板相互靠近的一侧均固定设置有防滑垫,两个防滑垫分别活动抵接在真空处理设备本体的两侧。
[0009]优选的,所述支撑板的顶部开设有两个圆孔,两个圆孔内均滑动套设有导向杆,两个导向杆均固定设置在安装板的另一侧。
[0010]优选的,所述检测台内开设有空腔,所述传动链和两个链轮均位于空腔内。
[0011]优选的,两个驱动螺杆中的一个驱动螺杆的一端固定设置有旋钮,所述检测台的底部固定设置有四个支防滑支架。
[0012]本技术中,所述的一种用于真空处理设备的密封检测装置,通过定位板、防滑
垫、固定板、驱动螺杆、螺母、链轮、传动链和移动板的配合,便于对不同大小的真空处理设备本体进行夹持固定,避免检测时发生偏移而影响检测的结果;
[0013]本技术中,所述的一种用于真空处理设备的密封检测装置,通过电动推杆、控制器、显示屏、安装板、压力传感器、传递杆和密封塞的配合,便于对真空处理设备本体的密封性进行检测,提高了检测的效率;
[0014]本技术结构设计合理,便于对不同大小的真空处理设备本体进行夹持固定,避免检测时发生偏移而影响检测的结果,通过电动推杆、控制器、显示屏、安装板、压力传感器、传递杆和密封塞的配合,便于对真空处理设备本体的密封性进行检测,提高了检测的效率。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种用于真空处理设备的密封检测装置的结构示意图;
[0016]图2为本技术提出的一种用于真空处理设备的密封检测装置的剖视图;
[0017]图3为本技术提出的一种用于真空处理设备的密封检测装置的A部分的结构示意图。
[0018]图中:1、检测台;2、定位板;3、真空处理设备本体;4、抽气口;5、支撑板;6、电动推杆;7、导向杆;8、安装板;9、压力传感器;10、传递杆; 11、密封塞;12、控制器;13、防滑支架;14、凹槽;15、移动板;16、旋钮; 17、驱动螺杆;18、螺母;19、固定板;20、防滑垫;21、空腔;22、链轮; 23、传动链。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0020]参照图1

3,一种用于真空处理设备的密封检测装置,包括检测台1和活动放置在检测台1顶部的真空处理设备本体3,检测台1的顶部固定设置有支撑板 5,支撑板5的一侧固定设置有电动推杆6,电动推杆6的输出轴上固定设置有安装板8,安装板8一侧固定安装有压力传感器9,压力传感器9的一侧固定设置有传递杆10,传递杆10的一端固定设置有密封塞11,真空处理设备本体3 的一侧固定连通有抽气口4,启动电动推杆6,电动推杆6驱动了安装板8、压力传感器9、传递杆10和密封塞11的右移,并把密封塞11塞入抽气口4内对真空处理设备本体3进行密封,关闭电动推杆6,压力传感器9上显示此时的压力值,过一段时间,观察压力值是否发生改变,若压力值变小,则说明真空处理设备本体3的密封性较差,若压力值不变,则说明真空处理设备本体3密封性良好;
[0021]检测台1的顶部固定设置有定位板2,检测台1的顶部开设有两个凹槽14,凹槽14的前后侧内壁上转动设置有同一个驱动螺杆17,驱动螺杆17的一端固定设置有链轮22,两个链轮22上传动安装有同一个传动链23,驱动螺杆17的外侧螺纹套接有螺母18,螺母18的外侧固定套设有移动板15,两个移动板15 的顶部固定设置有同一个固定板19,固定板19与定位板2分别活动抵接在真空处理设备本体3的两侧,旋转驱动螺杆17,在凹槽14的限位下,驱动螺杆17 驱动了螺母18、移动板15和固定板19的左移,进而可调节固定板19与定位板 2之
间的间距,进而可对不同长度的真空处理设备本体3进行夹持固定,避免密封检测时,真空处理设备本体3发生偏移而影响检测的结果。
[0022]本技术中,检测台1的前侧固定设置有控制器12,控制器12的前侧设置有显示屏和按键,便于对电动推杆6和压力传感器9进行控制,同时便于显示压力传感器9上的数值,便于人员观察记录。
[0023]本技术中,固定板19与定位板2相互靠近的一侧均固定设置有防滑垫 20,两个防滑垫20分别活动抵接在真空处理设备本体3的两侧,通过防滑垫20,使得固定更加牢固。
[0024]本技术中,支撑板5的顶部开设有两个圆孔,两个圆孔内均滑动套设有导向杆7,两个导向杆7均固定设置在安装板8的另一侧,便于对安装板8进行导向,使其移动的更加稳定顺畅。
[0025]本技术中,检测台1内开设有空腔21,传动链23和两个链轮22均位于空腔21内,便于对传动链23和两个链轮22进行防护。
[0026]本技术中,两个驱动螺杆17中的一个驱动螺杆17的一端固定设置有旋钮16,检测台1的底部固定设置有四个支防滑支架13,便于旋转驱动螺杆17,同时便于对检测台1进行稳定的支撑。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空处理设备的密封检测装置,包括检测台(1)和活动放置在检测台(1)顶部的真空处理设备本体(3),其特征在于,所述检测台(1)的顶部固定设置有支撑板(5),所述支撑板(5)的一侧固定设置有电动推杆(6),所述电动推杆(6)的输出轴上固定设置有安装板(8),所述安装板(8)一侧固定安装有压力传感器(9),所述压力传感器(9)的一侧固定设置有传递杆(10),所述传递杆(10)的一端固定设置有密封塞(11),所述真空处理设备本体(3)的一侧固定连通有抽气口(4),所述检测台(1)的顶部固定设置有定位板(2),所述检测台(1)的顶部开设有两个凹槽(14),所述凹槽(14)的前后侧内壁上转动设置有同一个驱动螺杆(17),所述驱动螺杆(17)的一端固定设置有链轮(22),两个链轮(22)上传动安装有同一个传动链(23),所述驱动螺杆(17)的外侧螺纹套接有螺母(18),所述螺母(18)的外侧固定套设有移动板(15),两个移动板(15)的顶部固定设置有同一个固定板(19),所述固定板(19)与定位板(2)分别活动抵接在真空处理设备本体(3)的两...

【专利技术属性】
技术研发人员:常鸿王用文刘天才陈佳
申请(专利权)人:成都齐兴真空镀膜技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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