一种清洗半导体晶片的石英缸制造技术

本实用新型专利技术公开了一种清洗半导体晶片的石英缸，包括缸体，所述缸体的右侧壁下部设有排液口，所述缸体的左右侧壁之间转动连接有圆筒杆，所述圆筒杆中活动连接有插杆，所述圆筒杆的侧壁左右均匀对称开设有条孔，所述插杆的外侧壁均匀设有伸入到所述条孔中的第一夹板，所述圆筒杆的外侧壁设有与所述第一夹板相互对应的第二夹板，所述插杆与所述圆筒杆之间设有弹簧，所述圆筒杆的右端设有圆筒底座，所述圆筒底座的右端螺纹连接有圆帽，所述圆帽的内部设有推杆，所述圆筒杆的外侧壁左部均匀开设有限位槽，所述限位槽之间活动连接有把手，本实用新型专利技术能够保证对半导体晶片的夹持效果，避免半导体晶片在清洗的过程中脱落。免半导体晶片在清洗的过程中脱落。免半导体晶片在清洗的过程中脱落。

【技术实现步骤摘要】
一种清洗半导体晶片的石英缸


[0001]本技术涉及半导体晶片
，具体领域为一种清洗半导体晶片的石英缸。

技术介绍

[0002]在半导体晶片加工的过程中需要进行清洗工作，现有的清洗用的石英缸，在夹持半导体晶片进行清洗时，夹持效果不够稳定，导致半导体晶片脱落到缸体中。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种清洗半导体晶片的石英缸，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种清洗半导体晶片的石英缸，包括缸体，所述缸体的右侧壁下部设有排液口，所述缸体的左右侧壁之间转动连接有圆筒杆，所述圆筒杆中活动连接有插杆，所述圆筒杆的侧壁左右均匀对称开设有条孔，所述插杆的外侧壁均匀设有伸入到所述条孔中的第一夹板，所述圆筒杆的外侧壁设有与所述第一夹板相互对应的第二夹板，所述插杆与所述圆筒杆之间设有弹簧，所述圆筒杆的右端设有圆筒底座，所述圆筒底座的右端螺纹连接有圆帽，所述圆帽的内部设有推杆，所述圆筒杆的外侧壁左部均匀开设有限位槽，所述限位槽之间活动连接有把手，所述缸体的左侧壁且在所述把手的右侧前后对称设有限位杆，所述缸体的内侧壁均匀开设有滑槽，所述滑槽之间前后分别活动连接有盖板，所述盖板中活动连接有滑板，所述滑板的上表面均匀开设有竖槽，所述竖槽之间活动连接有耙板，所述缸体的左右侧壁上部前后对称开设有圆孔，所述圆孔中活动连接有圆杆，所述缸体的左右侧壁之间前后对称转动连接有搅拌轴，所述缸体的左侧壁且在所述搅拌轴的左端设有电机，所述电机的输出端与所述搅拌轴连接。r/>[0005]优选的，所述圆筒杆的外侧壁且在所述缸体的外侧左右对称设有限位环。
[0006]优选的，所述滑板的上端设有拉手。
[0007]与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种清洗半导体晶片的石英缸，通过插杆上的第一夹板和圆筒杆上的第二夹板配合夹持半导体晶片，通过将圆帽旋紧到圆筒底座上，推杆会推动插杆，使第一夹板和第二夹板相互靠近夹持住半导体晶片，圆帽不易从圆筒底座上松动从而保持对半导体晶片的夹紧效果，通过转动把手能够调节半导体晶片在缸体中的角度位置以便于对半导体晶片进行清洗，通过限位杆对把手的限制能够避免把手和圆筒杆随意转动，通过盖板与缸体和配合和盖板与滑板的配合进行添加和回收半导体晶体的工作，一次性加入和回收全部的半导体晶片。
附图说明
[0008]图1为本技术的主视剖面结构示意图。
[0009]图2为本技术的俯视结构示意图。
[0010]图中：1、缸体；2、排液口；3、圆筒杆；4、插杆；5、第一夹板；6、第二夹板；7、弹簧；8、圆筒底座；9、圆帽；10、推杆；11、把手；12、限位杆；13、滑槽；14、盖板；15、滑板；16、竖槽；17、耙板；18、圆杆；19、搅拌轴；20、电机；21、限位环；22、拉手。
具体实施方式
[0011]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0012]请参阅图1和图2，本技术提供一种技术方案：一种清洗半导体晶片的石英缸，包括缸体1，所述缸体1的右侧壁下部设有排液口2，排液口2固定在缸体1上，与缸体1的内部连通，设置阀门以控制排空缸体1的工作，所述缸体1的左右侧壁之间转动连接有圆筒杆3，圆筒杆3左右贯穿缸体1，圆筒杆3与缸体1之间进行密封，使圆筒杆3能够在缸体1之间转动，所述圆筒杆3中活动连接有插杆4，插杆4插入到圆筒杆3中，能够在圆筒杆3中左右活动，所述圆筒杆3的侧壁左右均匀对称开设有条孔，所述插杆4的外侧壁均匀设有伸入到所述条孔中的第一夹板5，所述圆筒杆3的外侧壁设有与所述第一夹板5相互对应的第二夹板6，所述插杆4与所述圆筒杆3之间设有弹簧7，弹簧7的两端顶在插杆4与圆筒杆3之间处于被压缩的状态会将插杆4向右推出圆筒杆3，条孔贯穿圆筒杆3的侧壁，两行条孔左右排列分布在圆筒杆3上，多个第一夹板5固定在插杆4上，从条孔伸出圆筒杆3，条孔对第一夹板5的限制使插杆4无法在圆筒杆3中转动，多个第二夹板6固定在圆筒杆3上，第二夹板6与第一夹板5相互对应，第一夹板5和第二夹板6的相对面上设有橡胶垫，通过左右移动插杆4能够调节第一夹板5与第二夹板6之间的距离，用于夹持半导体晶片，所述圆筒杆3的右端设有圆筒底座8，圆筒底座8固定在圆筒杆3上，圆筒底座8与圆筒杆3连通，形成有外延圈和外螺纹，外延圈右端形成有橡胶垫，所述圆筒底座8的右端螺纹连接有圆帽9，所述圆帽9的内部设有推杆10，圆帽9螺纹连接有圆筒底座8上，推杆10固定在圆帽9的内部，旋紧圆帽9将圆帽9固定在圆筒底座8上，推杆10能够将插杆4向左推，使第一夹板5和第二夹板6稳固夹持住半导体晶片，将圆帽9从圆筒底座8上取下后，弹簧7会将插杆4向右推动，使第一夹板5远离第二夹板6，以便于将半导体晶片插入到夹板之间，所述圆筒杆3的外侧壁左部均匀开设有限位槽，所述限位槽之间活动连接有把手11，四个限位槽中心对称开设在圆筒杆3上，把手11由套在圆筒杆3上的小圆环、伸入到限位槽中的突出头、供手持的大圆环和固定大圆环和小圆环的四个短杆组成，通过转动把手11能够带动圆筒杆3转动，并且把手11能够在圆筒杆3上限位槽的范围内左右移动，所述缸体1的左侧壁且在所述把手11的右侧前后对称设有限位杆12，两个限位杆12固定在缸体1上，限位杆12与把手11上的短杆相互配合，将把手11向左拉出限位杆12后能够转动把手11，将把手11向右插入到限位杆12中后使把手11和圆筒杆3无法转动，所述缸体1的内侧壁均匀开设有滑槽13，缸体1的四个内侧面上均开设有两个上下朝向的滑槽13，所述滑槽13之间前后分别活动连接有盖板14，后侧的四个滑槽13为一组，前侧的四个滑槽13为一组，前后两个盖板14上形成有与滑槽13相互适配的滑头，使盖板14能够在缸体1中上下活动，所述盖板14中活动连接有滑板15，所述滑板15的上表面均匀开设有竖槽16，滑板15能够在盖板14中前后移动，竖槽16开设在滑板15上，用于放置半导体晶片，所述竖槽16之间
活动连接有耙板17，耙板17放置在滑板15上，伸入到竖槽16中，能够在盖板14上前后移动，用于将竖槽16中的半导体晶片从竖槽16中推出，所述缸体1的左右侧壁上部前后对称开设有圆孔，所述圆孔中活动连接有圆杆18，圆孔左右贯穿缸体1，圆杆18伸入到圆孔中，将盖板14移动到圆孔之上，再将圆杆18伸入到缸体1的内侧，通过圆杆18承接盖板14，将盖板14停滞在上端起到遮挡的作用，所述缸体1的左右侧壁之间前后对称转动连接有搅拌轴19，所述缸体1的左侧壁且在所述搅拌轴19的左端设有电机20，所述电机20的输出端与所述搅拌轴19连接，搅拌轴19能够在缸体1中转动，连接处进行密封，电机20固定在缸体1上，电机20能够带动搅拌轴19转动搅动缸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗半导体晶片的石英缸，包括缸体（1），其特征在于：所述缸体（1）的右侧壁下部设有排液口（2），所述缸体（1）的左右侧壁之间转动连接有圆筒杆（3），所述圆筒杆（3）中活动连接有插杆（4），所述圆筒杆（3）的侧壁左右均匀对称开设有条孔，所述插杆（4）的外侧壁均匀设有伸入到所述条孔中的第一夹板（5），所述圆筒杆（3）的外侧壁设有与所述第一夹板（5）相互对应的第二夹板（6），所述插杆（4）与所述圆筒杆（3）之间设有弹簧（7），所述圆筒杆（3）的右端设有圆筒底座（8），所述圆筒底座（8）的右端螺纹连接有圆帽（9），所述圆帽（9）的内部设有推杆（10），所述圆筒杆（3）的外侧壁左部均匀开设有限位槽，所述限位槽之间活动连接有把手（11），所述缸体（1）的左侧壁且在所述把手（11）的右侧前后对称设有限位杆（12），所述缸体（1）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴志坚，国旭，
申请(专利权)人：沈阳澳科新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：