【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅加工冷却装置
[0001]本技术涉及碳化硅加工冷却
，尤其涉及一种碳化硅加工冷却装置。
技术介绍
[0002]现有技术公开了申请号为CN201720771010.4的一种碳化硅加工冷却装置，包括第一电极板、第二电极板和加热炉，所述第一电极板和第二电极板的外侧设有安装板，所述安装板通过螺钉安装于加热炉的内部，所述加热炉的内部通过十字隔热板设有腔体，所述腔体的内部设有第一冷却水管，所述加热炉的侧壁内部设有第二冷却水管，所述加热炉的下部设有第一进水口，所述加热炉的上部设有第一出水口，本技术冷却水进入第二冷却水管，第二冷却水管内部冷却水将对加热炉整体进行降温，然后再通过第一冷却水管的冷却水，对腔体进行降温，单一对腔体的内部温度不受其他对腔体的影响，待温场稳定后，下籽晶，避免温场分布不均使碳化硅单晶粘锅，提高晶体的合格率，降低生产成本。
[0003]上述专利不足之处在于，通过从下至上的冷却水在第二冷却水管内流动实现冷却，但是流动至上端的冷却水与下端的冷却水具有一定的温度差，导致对加热炉内冷却均匀度不佳，影响晶体的质量。
[0004]因此，我们设计了一种碳化硅加工冷却装置来解决以上问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅加工冷却装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种碳化硅加工冷却装置，包括加热炉，所述加热炉安装有两个电极片，两个所述电极片上均安装有钨加热棒，所述加热炉的内...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅加工冷却装置，包括加热炉（1），所述加热炉（1）安装有两个电极片（5），两个所述电极片（5）上均安装有钨加热棒（6），所述加热炉（1）的内部设有十字板（7），所述十字板（7）将加热炉（1）分割成四个腔体，四个所述腔体内均设有第一冷却水管（8），其特征在于，所述加热炉（1）内安装有出水管（3）和进水管（4），所述出水管（3）和进水管（4）之间连接有分布在加热炉（1）内的多个第二冷却水管（2）。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅加工冷却装置，其特征在于，所述进水管（...
【专利技术属性】
技术研发人员：周强，朱述理，马运志，高惠，高祥恩，王中连，
申请(专利权)人：山东圣诺实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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