一种更换治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种更换治具，适用于更换光阻喷嘴，所述更换治具包括第一柱体和第二柱体；其中，所述第一柱体的一端连接所述第二柱体，所述第一柱体与所述第二柱体具有一非零夹角；所述第一柱体的另一端设有一连接孔，所述连接孔与所述光阻喷嘴适配；所述光阻喷嘴能够可拆卸地插入所述连接孔内。本实用新型专利技术提供的更换治具结构轻巧紧凑，适用于狭小空间工作，高效省时省力的拆装光阻喷嘴，同时，所述更换治具的使用降低了所述光阻喷嘴安装不到位或者不易拆除的风险。者不易拆除的风险。者不易拆除的风险。

【技术实现步骤摘要】
一种更换治具


[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种更换治具。

技术介绍

[0002]在半导体制造中所使用的涂胶显影设备，都会使用到光阻喷嘴来使光阻顺利喷出。而涂胶显影设备在实际运行过程中，由于光阻异常、喷嘴异常或安装新规光阻等原因，需要对光阻喷嘴进行更换作业。在现有技术中，当进行更换光阻喷嘴作业时，往往需要使用到专用治具来进行更换。目前现有的光阻喷嘴更换治具太小，操作人员使用时不好控制，使得所述专用治具无法顺利将光阻喷嘴拆下，存在着所述专用治具脱手的风险。
[0003]因此，如何提供一种更换治具，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种更换治具，以解决现有技术存在的光阻喷嘴过小，普通拆卸治具无法顺利将光阻喷嘴拆下，并且出现普通拆卸治具脱手的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术提供了一种更换治具，适用于更换光阻喷嘴，所述更换治具包括第一柱体和第二柱体；
[0006]其中，所述第一柱体的一端连接所述第二柱体的侧面，所述第一柱体与所述第二柱体具有一非零夹角；
[0007]所述第一柱体的另一端设有一连接孔，所述连接孔与所述光阻喷嘴适配；
[0008]所述光阻喷嘴能够可拆卸地插入所述连接孔内。
[0009]可选的，所述第一柱体和所述第二柱体均为圆柱形，所述第一柱体的一端连接所述第二柱体包括：所述第一柱体的一端与所述第二柱体的侧连接。
[0010]可选的，所述第一柱体的直径＜所述第二柱体的长度。
[0011]可选的，所述第一柱体的直径≤所述第二柱体的直径。
[0012]可选的，所述光阻喷嘴包括一多棱柱和一滴嘴，所述滴嘴的一端连接所述多棱柱的其中一个底面，所述连接孔的形状与所述多棱柱的形状相匹配；所述光阻喷嘴插入所述连接孔包括：所述滴嘴另一端能够插入所述连接孔内直至所述多棱柱插入所述连接孔内。
[0013]可选的，所述第一柱体和所述第二柱体之间的夹角为90
°
。
[0014]可选的，所述连接孔的深度＞所述滴嘴和所述多棱柱的高度之和。
[0015]可选的，所述第一柱体的一端与所述第二柱体的侧面连接包括：所述第一柱体与所述第二柱体的连接处位于所述第二柱体的中点。
[0016]可选的，所述第一柱体和所述第二柱体间的连接方式包括：一体成型。
[0017]可选的，所述更换治具的材质包括：不锈钢。
[0018]与现有技术相比，本技术提供的一种更换治具具有以下有益效果：
[0019]本技术提供了一种更换治具，适用于更换光阻喷嘴，所述更换治具包括第一
柱体和第二柱体；其中，所述第一柱体的一端连接所述第二柱体的侧面，所述第一柱体与所述第二柱体具有一非零夹角；所述第一柱体的另一端设有一连接孔，所述连接孔与所述光阻喷嘴适配；所述光阻喷嘴能够可拆卸地插入所述连接孔内。本技术提供的更换治具，能够将所述光阻喷嘴插入所述连接孔内，通过转动所述第二柱体从而旋转所述更换治具，所述更换治具在转动的过程中带动插入所述连接孔内的所述光阻喷嘴旋转，从而控制所述光阻喷嘴的拆卸和安装。同时，可拆卸连接保证了当所述更换治具在拆卸或安装完一个所述光阻喷嘴后，能够与以完成作业的所述光阻喷嘴分离，从而对下一个需要进行作业的所述光阻喷嘴进行拆卸或安装工作。所述更换治具结构轻巧紧凑，适用于狭小空间工作。能够高效省时省力的拆卸和安装所述光阻喷嘴。同时，所述更换治具的使用降低了所述光阻喷嘴安装不到位或者不易拆除的风险。
附图说明
[0020]图1为本技术一实施例提供的更换治具的结构图；
[0021]图2为本技术一实施例提供的更换治具的俯视图；
[0022]图3为本技术一实施例提供的更换治具的剖面图；
[0023]图4为本技术一实施例提供的更换治具中第二柱体的结构图；
[0024]图5为本技术一实施例提供的光阻喷嘴的结构图；
[0025]其中，100
‑
更换治具，101
‑
第一柱体，102
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第二柱体，103
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连接孔，200
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光阻喷嘴，201
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多棱柱，202
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滴嘴。
具体实施方式
[0026]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本技术的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本技术某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本技术的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0027]在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。
[0028]本技术的其中一个实施例提供了一种更换治具100，参见附图1
‑
附图5，图1为本技术一实施例提供的更换治具100的结构图；图2为本技术一实施例提供的更换治具100的俯视图；图3为本技术一实施例提供的更换治具100的剖面图；图4为本技术一实施例提供的更换治具100中第二柱体102的结构图；图5为本技术一实施例提供的光阻喷嘴200的结构图；结合图1
‑
图5可以明显看出，本技术提供的更换治具100，
适用于更换光阻喷嘴200，所述更换治具100包括第一柱体101和第二柱体102；其中，所述第一柱体101的一端连接所述第二柱体102的侧面，所述第一柱体101与所述第二柱体102具有一非零夹角；所述第一柱体101的另一端设有一连接孔103，所述连接孔103与所述光阻喷嘴200适配；所述光阻喷嘴200能够可拆卸地插入所述连接孔103内。
[0029]如此设置，能够将所述光阻喷嘴200插入所述连接孔103内，通过转动所述第二柱体102从而旋转所述更换治具100，所述更换治具100在转动的过程中带动插入所述连接孔103内的所述光阻喷嘴200旋转，从而控制所述光阻喷嘴200的拆卸和安装。同时，可拆卸连接保证了当所述更换治具100在拆卸或安装完一个所述光阻喷嘴200后，能够与以完成作业的所述光阻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种更换治具，适用于更换光阻喷嘴，其特征在于，所述更换治具包括第一柱体和第二柱体；其中，所述第一柱体的一端连接所述第二柱体，所述第一柱体与所述第二柱体具有一非零夹角；所述第一柱体的另一端设有一连接孔，所述连接孔与所述光阻喷嘴适配；所述光阻喷嘴能够可拆卸地插入所述连接孔内。2.如权利要求1所述的一种更换治具，其特征在于，所述第一柱体和所述第二柱体均为圆柱形，所述第一柱体的一端连接所述第二柱体包括：所述第一柱体的一端与所述第二柱体的侧面连接。3.如权利要求2所述的一种更换治具，其特征在于，所述第一柱体的直径＜所述第二柱体的长度。4.如权利要求2所述的一种更换治具，其特征在于，所述第一柱体的直径≤所述第二柱体的直径。5.如权利要求2所述的一种更换治具，其特征在于，所述光阻喷嘴包括一多棱柱和一滴嘴，所述滴嘴的一端连接所述多棱柱的其中一个底面，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐越晨，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：