本实用新型专利技术提供了一种气体分流器拆卸装置，用于拆卸安装于上腔体基座的气体分流器，包括底座，放置于所述上腔体基座的表面；升降支架，设置于所述底座顶部，所述升降支架至少包括一呈平行四边形铰链的支撑框架，所述支撑框架的下对角端固定在所述底座表面，一丝杆贯穿所述支撑框架的左对角端和右对角端，通过旋转所述丝杆调节所述左对角端和所述右对角端的间距，实现所述升降支架的升降；承载台，设置于所述升降支架的上对角端，在所述升降支架的带动下向上与所述气体分流器相抵接并带动所述气体分流器向上移动，从而拆卸所述气体分流器。本实用新型专利技术可以在不损坏气体分流器的情况下提高拆卸速度，且便于携带和运输。且便于携带和运输。且便于携带和运输。
【技术实现步骤摘要】
气体分流器拆卸装置
[0001]本技术涉及集成电路制造
，尤其涉及一种气体分流器拆卸装置。
技术介绍
[0002]在半导体工艺中，无论是对晶圆进行沉积工艺或刻蚀工艺，工艺过程中均会产生副产物并残留在半导体机台中。这些副产物的残留可能会对半导体机台造成损伤，或对后续处理的晶圆造成污染，从而大幅降低晶圆良率。因此，在半导体机台处理过一定数量的晶圆后，需要对所述半导体机台进清洁和保养处理，以去除其中残留的副产物，延长半导体机台的使用寿命。
[0003]图1为一刻蚀机台的部分结构示意图。在清洁和保养所述刻蚀机台的前后会涉及到气体分流器的拆卸和安装工作，参阅图1，所述气体分流器1与上腔体基座2接触较为紧密，在长期接触条件下很难进行分离。目前常用的拆卸方法是采用高纯度的异丙醇(例如纯度为100％的异丙醇)浸润所述上腔体基座2与所述气体分流器1之间的缝隙，待一段时间后手动拨出所述气体分流器1。然而，这种拆卸方法在拆除过程中容易碰撞到所述上腔体基座2内侧及其内侧的气体管路，从而造成损坏。
[0004]鉴于此，需要一种装置拆卸所述气体分流器，以提高拆卸速度，减少或避免气体分流器及上腔体基座的相关零件在拆卸过程中受到损伤。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种气体分流器拆卸装置，在不损坏气体分流器的情况下提高拆卸速度。
[0006]为了达到上述目的，本技术提供了一种气体分流器拆卸装置，用于拆卸安装于上腔体基座的气体分流器，包括：
[0007]底座，放置于所述上腔体基座的表面；
[0008]升降支架，设置于所述底座的顶部，所述升降支架至少包括一呈平行四边形铰链的支撑框架，所述支撑框架的下对角端固定在所述底座的表面，一丝杆贯穿所述支撑框架的左对角端和右对角端，通过旋转所述丝杆调节所述左对角端和所述右对角端的间距，实现所述升降支架的升降；
[0009]承载台，设置于所述升降支架的上对角端，在所述升降支架的带动下向上与所述气体分流器相抵接并带动所述气体分流器向上移动，从而拆卸所述气体分流器。
[0010]可选的，所述支撑框架呈菱形。
[0011]可选的，所述支撑框架包括设置在所述底座的表面的第一连杆和第二连杆，与所述第一连杆和所述第二连杆关于所述丝杆对称设置的第三连杆和第四连杆，其中，所述第一连杆和所述第三连杆通过第一连接件铰链，构成所述支撑框架的左对角端，所述第二连杆和所述第四连杆通过第二连接件铰链，构成所述支撑框架的右对角端。
[0012]可选的，所述第一连杆和所述第二连杆铰链在一承力柱上，构成所述支撑框架的
下对角端，并通过所述承力柱固定在所述底座的表面。
[0013]可选的，所述第三连杆和所述第四连杆铰链在第三连接件上，构成所述支撑框架的上对角端，所述承载台固定在所述第三连接件的上表面。
[0014]可选的，所述丝杆贯穿所述第一连接件和所述第二连接件，且所述丝杆的一端设置有螺母，另一端连接一施力把手。
[0015]可选的，所述第一连杆和所第二连杆与所述承力柱的铰接点相互分离且位于同一水平面上，两个铰接点之间存在一设定距离；所述第三连杆和所第四连杆与所述第三连接件的铰接点相互分离且位于同一水平面上，两个铰接点之间存在相同的所述设定距离。
[0016]可选的，所述丝杆的长度大于所述第一连杆的长度、所述第二连杆的长度与所述设定距离之和，小于或等于所述底座的长度。
[0017]可选的，所述承载台的顶部覆盖有弹性材料。
[0018]可选的，所述底座面向所述上腔体基座一面设置有凹槽，且所述凹槽的直径大于所述气体分流器的底端的直径，所述凹槽的深度大于所述气体分流器的底端的厚度。
[0019]可选的，所述升降支架上升带动所述承载台与所述气体分流器的三个支杆抵接，并带动所述气体分流器的三个支杆与所述上腔体基座的三个导气管分离。
[0020]综上所述，本技术提供一种气体分流器拆卸装置，用于拆卸安装于上腔体基座的气体分流器，包括：底座，放置于所述上腔体基座的表面；升降支架，设置于所述底座的顶部，所述升降支架至少包括一呈平行四边形铰链的支撑框架，所述支撑框架的下对角端固定在所述底座的表面，一丝杆贯穿所述支撑框架的左对角端和右对角端，通过旋转所述丝杆调节所述左对角端和所述右对角端的间距，实现所述升降支架的升降；承载台，设置于所述升降支架的上对角端，在所述升降支架的带动下向上与所述气体分流器相抵接并带动所述气体分流器向上移动，从而拆卸所述气体分流器。本技术所述的气体分流器拆卸装置可以在不损坏气体分流器的情况下提高拆卸速度，且便于携带和运输。
附图说明
[0021]图1为一刻蚀机台的部分结构示意图；
[0022]图2为本技术一实施例提供的气体分流器拆卸装置的结构示意图；
[0023]图3为本技术一实施例提供的气体分流器拆卸装置的俯视图；
[0024]其中，附图标记如下：
[0025]1‑
气体分流器；2
‑
上腔体基座；21
‑
导气管；
[0026]3‑
气体分流器拆卸装置；31
‑
底座；311
‑
承力柱；312
‑
凹槽；32
‑
升降支架； 321
‑
第一连杆；322
‑
第二连杆；323
‑
第三连杆；324
‑
第四连杆；325
‑
第一连接件；326
‑
第二连接件；327
‑
第三连接件；33
‑
承载台；34
‑
丝杆；341
‑
螺母；342
‑
施力把手；
[0027]E1、E2、E3
‑
支杆；A1、A2
‑
支架单元；B1、B2
‑
铰接部。
具体实施方式
[0028]下面将结合示意图对本技术的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0029]图2为本技术一实施例提供的气体分流器拆卸装置的结构示意图；图3 为所述气体分流器拆卸装置的俯视图。参阅图1～图3，本实施例所述的气体分流器拆卸装置3用于拆卸安装于上腔体基座2的气体分流器1，包括：
[0030]底座31，放置于所述上腔体基座2的表面；
[0031]升降支架32，设置于所述底座31的顶部，所述升降支架32至少包括一呈平行四边形铰链的支撑框架，所述支撑框架的下对角端固定在所述底座31的表面，一丝杆34贯穿所述支撑框架的左对角端和右对角端，通过旋转所述丝杆34 调节所述左对角端和所述右对角端的间距，实现所述升降支架32的升降；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气体分流器拆卸装置，用于拆卸安装于上腔体基座的气体分流器，其特征在于，包括：底座，放置于所述上腔体基座的表面；升降支架，设置于所述底座的顶部，所述升降支架至少包括一呈平行四边形铰链的支撑框架，所述支撑框架的下对角端固定在所述底座的表面，一丝杆贯穿所述支撑框架的左对角端和右对角端，通过旋转所述丝杆调节所述左对角端和所述右对角端的间距，实现所述升降支架的升降；承载台，设置于所述升降支架的上对角端，在所述升降支架的带动下向上与所述气体分流器相抵接并带动所述气体分流器向上移动，从而拆卸所述气体分流器。2.如权利要求1所述的气体分流器拆卸装置，其特征在于，所述支撑框架呈菱形。3.如权利要求2所述的气体分流器拆卸装置，其特征在于，所述支撑框架包括设置在所述底座的表面的第一连杆和第二连杆，与所述第一连杆和所述第二连杆关于所述丝杆对称设置的第三连杆和第四连杆，其中，所述第一连杆和所述第三连杆通过第一连接件铰链，构成所述支撑框架的左对角端，所述第二连杆和所述第四连杆通过第二连接件铰链，构成所述支撑框架的右对角端。4.如权利要求3所述的气体分流器拆卸装置，其特征在于，所述第一连杆和所述第二连杆铰链在一承力柱上，构成所述支撑框架的下对角端，并通过所述承力柱固定在所述底座的表面。5.如权利要求4所述的气体分流器拆卸装置，其特征在于，所述第三连杆和...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁先根，刘志攀，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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