本发明专利技术公开了一种扫描探针更换装置、探针更换方法，扫描探针更换装置包括探针安装部件，所述探针安装部件的顶面设置有第一吸附件，探针安装部件顶面设置有定位槽；基座，所述基座上设置有多个工作位置，探针安装部件能够安装于工作位置，基座上设置有移动件，移动件上设置有第一限位结构，第一限位结构凸出于移动件的侧面，移动件设置于基座的相对两侧。本发明专利技术中，多个探针安装部件安装在基座的多个工作位置，第一限位结构能够防止探针安装部件从基座上脱落，扫描探针成像设备进行探针安装时，两个移动件相互远离，探针安装部件能够通过第一吸附件安装到扫描探针成像设备上，并通过定位槽进行探针安装部件的定位，便于探针安装。装。装。
【技术实现步骤摘要】
一种扫描探针更换装置、探针更换方法
[0001]本专利技术涉及显微设备
，特别涉及一种扫描探针更换装置、探针更换方法。
技术介绍
[0002]扫描探针成像设备主要分为原子力显微镜和扫描隧道电流显微镜，基本的组成包括光学系统、悬臂梁探针、反馈控制器以及样品扫描平台。扫描探针作为一种精密传感器，在整个系统中扮演非常重要的作用，在目前的原子力显微镜、扫描隧道电流显微镜当中，由于扫描探针作为一种损耗品，寿命较短，同时扫描探针放置的定位要求很精密，因此其更换方式基本为人工操作，需要非常有经验的操作人员才能完成此操作。人工将扫描探针装夹到探针夹的过程良率较低，同时探针夹装载过程需要停机操作，降低了工作效率，同时在工业精密检测中，人工操作不符合标准化生产的要求。
技术实现思路
[0003]为解决上述技术问题中的至少之一，本专利技术提供一种扫描探针更换装置、探针更换方法，所采用的技术方案如下：
[0004]本专利技术提供一种扫描探针更换装置，包括：
[0005]探针安装部件，所述探针安装部件的顶面设置有第一吸附件，所述探针安装部件顶面设置有定位槽；基座，所述基座上设置有多个工作位置，所述探针安装部件能够安装于所述工作位置，所述基座上设置有移动件，所述移动件上设置有第一限位结构，所述第一限位结构凸出于所述移动件的侧面，所述移动件设置两个，两个所述移动件设置于所述基座的相对两侧。
[0006]本专利技术的实施例至少具有以下有益效果：本专利技术中，多个探针安装部件安装在基座的多个工作位置上，第一限位结构能够防止探针安装部件从基座上脱落，扫描探针成像设备进行探针安装时，两个移动件相互远离，移动件带动第一限位结构脱离探针安装部件的范围，探针安装部件能够通过第一吸附件安装到扫描探针成像设备上，并通过定位槽进行探针安装部件的定位，便于探针安装。
[0007]本专利技术的某些实施例中，所述探针安装部件底面设置有第一定位结构，各所述工作位置底部设置有第二定位结构，所述第一定位结构能够安装在所述第二定位结构上。
[0008]本专利技术的某些实施例中，所述基座上设置有第一电机、传动件，所述第一电机的输出轴连接所述传动件，所述传动件连接所述移动件，所述第一电机通过所述传动件控制两个所述移动件相互靠近或远离。
[0009]本专利技术的某些实施例中，所述传动件包括主动部，所述主动部包括联轴器、第二曲柄，所述第一电机的输出轴连接所述联轴器，所述联轴器上铰接两个所述第二曲柄，两个所述第二曲柄分别连接两个所述移动件。
[0010]本专利技术的某些实施例中，所述传动件还包括一个或多个从动部，各所述从动部包括第一曲柄、第三曲柄，所述第一曲柄上铰接两个所述第三曲柄，两个所述第三曲柄分别连
接两个所述移动件。
[0011]本专利技术的某些实施例中，所述传动件还包括连接杆，所述联轴器、所述第一曲柄分别与所述连接杆铰接，所述连接杆设置有两个，所述连接杆与所述第一曲柄形成平行四边形结构。
[0012]本专利技术的某些实施例中，所述扫描探针更换装置还包括移动组件，所述移动组件能够驱动所述基座或扫描探针成像设备移动。
[0013]本专利技术的某些实施例中，扫描探针更换装置还包括固定座，所述固定座顶面用于连接扫描探针成像设备，所述固定座底面用于连接所述探针安装部件，所述固定座底面设置有第二吸附件，所述第二吸附件能够与所述第一吸附件吸附，所述固定座底面设置有凸出部，所述凸出部能够安装在所述定位槽上。
[0014]本专利技术的某些实施例中，所述探针安装部件顶面边缘设置有第二限位结构，通过所述移动件的运动，所述第一限位结构能够安装在所述第二限位结构上。
[0015]本专利技术提供一种探针更换方法：系统初始化；扫描探针成像设备的扫描头装配固定座；移动组件驱动扫描探针成像设备或基座进行定位；扫描头向下贴近探针安装部件；第一限位结构打开，固定座磁力吸附探针安装部件；扫描头上升，第一限位结构对探针安装部件限位；扫描头移至工作区；移动组件收到更换探针指令，移动组件驱动扫描探针成像设备或基座进行定位；第一限位结构打开，释放探针；移动组件使扫描头对准其他工作位置进行取针。
[0016]本专利技术的实施例至少具有以下有益效果：通过固定座与探针安装部件的磁力吸附作用进行探针安装，安装方便；在进行探针更换时，移动组件能够对扫描探针成像设备与基座的相对位置进行定位，简化更换探针的过程。
[0017]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0018]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0019]图1是本专利技术一种扫描探针更换装置的结构示意图；
[0020]图2是本专利技术一种扫描探针更换装置中探针安装部件的结构示意图；
[0021]图3是本专利技术一种扫描探针更换装置中探针安装部件底面的俯视图；
[0022]图4是本专利技术一种扫描探针更换装置中固定座底面的示意图；
[0023]图5是本专利技术一种扫描探针更换装置中移动件的结构示意图；
[0024]图6是本专利技术一种扫描探针更换装置中传动件的结构示意图；
[0025]图7是本专利技术一种扫描探针更换装置中移动组件的工作流程图；
[0026]图8是本专利技术探针更换方法的流程图。
[0027]附图标记：100、探针安装部件；101、探针头部运动孔；102、第一吸附件；103、定位槽；104、凹槽；105、第一定位结构；106、第二限位结构；200、固定座；201、第二吸附件；202、凸出部；300、基座；301、工作位置；302、第二定位结构；303、移动件；304、第一限位结构；305、联轴器；306、第二曲柄；307、第一曲柄；308、连接件；309、导轨结构；310、第三曲柄。
具体实施方式
[0028]本部分将结合图1至图8详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0029]在本专利技术的描述中，需要理解的是，若出现术语“中心”、“中部”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。限定有“第一”、“第二”的特征是用于区分特征名称，而非具有特殊含义，此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种扫描探针更换装置，其特征在于，包括：探针安装部件(100)，所述探针安装部件(100)的顶面设置有第一吸附件(102)，所述探针安装部件(100)顶面设置有定位槽(103)；基座(300)，所述基座(300)上设置有多个工作位置(301)，所述探针安装部件(100)能够安装于所述工作位置(301)，所述基座(300)上设置有移动件(303)，所述移动件(303)上设置有第一限位结构(304)，所述第一限位结构(304)凸出于所述移动件(303)的侧面，所述移动件(303)设置两个，两个所述移动件(303)设置于所述基座(300)的相对两侧。2.根据权利要求1所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述探针安装部件(100)底面设置有第一定位结构(105)，各所述工作位置(301)底部设置有第二定位结构(302)，所述第一定位结构(105)能够安装在所述第二定位结构(302)上。3.根据权利要求1所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述基座(300)上设置有第一电机、传动件，所述第一电机的输出轴连接所述传动件，所述传动件连接所述移动件(303)，所述第一电机通过所述传动件控制两个所述移动件(303)相互靠近或远离。4.根据权利要求3所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述传动件包括主动部，所述主动部包括联轴器(305)、第二曲柄(306)，所述第一电机的输出轴连接所述联轴器(305)，所述联轴器(305)上铰接两个所述第二曲柄(306)，两个所述第二曲柄(306)分别连接两个所述移动件(303)。5.根据权利要求4所述的扫描探针更换装置，其特征在于，所述传动件还包括一个或多个从动部，各所述从动部包括第一曲柄(307)、第三曲柄(310)，所述第一曲柄(307)上铰接两个所述第三曲柄(310)，两个...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈庚亮，胡思豫，高昊霖，方正炜，陈锦波，尚夏雪，
申请(专利权)人：深圳明锐仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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