一种化学气相沉积设备的基体支撑装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种化学气相沉积设备的基体支撑装置，包括设备壳体、第一主动辊、第二主动辊及从动辊，所述第一主动辊、第二主动辊及从动辊均水平设置在设备壳体内，所述设备壳体的内侧壁上固定连接有隔热层，所述第一主动辊、第二主动辊及从动辊均贯穿隔热层并与隔热层转动连接，所述从动辊位于第一主动辊及第二主动辊的中心上方。本实用新型专利技术，驱动机构简单，传动可靠性高，基体竖直放置且进行旋转沉积，可以消除基体面沉积颗粒杂质和接触位置沉积不到位的问题，保证了基体的沉积质量。保证了基体的沉积质量。保证了基体的沉积质量。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积设备的基体支撑装置


[0001]本技术涉及机械设备
，特别是涉及一种化学气相沉积设备的基体支撑装置。

技术介绍

[0002]现有化学气相沉积(CVD)设备的基体支撑装置采用行星齿轮机构传动，每个行星齿轮带动一叠基体在设备腔体内做水平转动，转动过程中进行沉积工艺。现有支撑装置具有以下缺点：
[0003]在沉积过程中，基体面处于水平状态，易在上表面沉积颗粒杂质，基体底面与转台的支撑杆一直处于接触状态，接触位置因没有反应气体渗入而无法沉积到位，将会在基体上形成无涂层的缺口，影响基体的质量或使用寿命。

技术实现思路

[0004]本技术提供了一种化学气相沉积设备的基体支撑装置，解决了现有技术中的技术问题。
[0005]本技术解决上述技术问题的方案如下：
[0006]一种化学气相沉积设备的基体支撑装置，包括设备壳体、第一主动辊、第二主动辊及从动辊，所述第一主动辊、第二主动辊及从动辊均水平设置在设备壳体内，所述设备壳体的内侧壁上固定连接有隔热层，所述第一主动辊、第二主动辊及从动辊均贯穿隔热层并与隔热层转动连接，所述从动辊位于第一主动辊及第二主动辊的中心上方。
[0007]进一步，所述第一主动辊、第二主动辊及从动辊外表面均交错套接有若干固定套和基体定位套，所述基体定位套外侧为槽口，所述第一主动辊、第二主动辊及从动辊上的若干基体定位套的槽口围合形成若干槽型区域，每个槽型区域内竖直放置有基体。
[0008]进一步，所述第一主动辊、第二主动辊及从动辊的两端均固定连接有转接板，每个所述转接板固定连接有转轴，每个所述转轴上转动连接有安装座，每个所述转轴贯穿安装座的轴心，每个所述安装座贯穿设备壳体并与设备壳体固定连接。
[0009]进一步，每个所述转轴的外侧端设置有冷却水的进水口和出水口。
[0010]进一步，所述第一主动辊与第二主动辊通过旋转驱动机构相互传动连接，所述旋转驱动机构包括电机、电机座、第一传动轮、第二传动轮、第三传动轮及传动带，所述电机座与设备壳体固定连接，所述电机座的顶端与电机固定连接，所述第三传动轮固定连接在电机的输出端，所述第一传动轮与第一主动辊一端的转轴外侧端固定连接，所述第二传动轮与第二主动辊一端的转轴外侧端固定连接，第一传动轮、第二传动轮及第三传动轮通过所述传动带相互传动连接做同步转动。
[0011]进一步，所述电机为可调速电机。
[0012]本技术的有益效果是：本技术提供了一种化学气相沉积设备的基体支撑装置，具有以下优点：
[0013]驱动机构简单，传动可靠性高，基体面竖直放置时，可以消除基体上表面沉积颗粒杂质的问题，基体在定位套槽型区域内进行旋转沉积时，基体与定位套的接触位置在不断改变，不存在接触位置沉积不到位的问题，保证了基体的沉积质量。
[0014]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本技术的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。
附图说明
[0015]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0016]图1为本技术一实施例提供的一种化学气相沉积设备的基体支撑装置的剖视图；
[0017]图2为图1提供的一种化学气相沉积设备的基体支撑装置的结构示意图；
[0018]图3为图1提供的一种化学气相沉积设备的基体支撑装置中左视角剖视图。
[0019]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0020]1、第一主动辊；2、第二主动辊；3、从动辊；4、旋转驱动机构；5、基体；6、设备壳体；7、隔热层；11、固定套；12、基体定位套；13、转接板；14、转轴；41、电机；42、电机座；43、第一传动轮；44、第二传动轮；45、第三传动轮；46、传动带；141、进水口；142、出水口。
具体实施方式
[0021]以下结合下列附图对本技术的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本技术，并非用于限定本技术的范围。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0022]需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0023]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0024]如图1
‑
3所示，本技术提供了一种化学气相沉积设备的基体支撑装置，包括设备壳体6、第一主动辊1、第二主动辊2及从动辊3，第一主动辊1、第二主动辊2及从动辊3均水平设置在设备壳体6内，设备壳体6的内侧壁上固定连接有隔热层7，第一主动辊1、第二主动辊2及从动辊3均贯穿隔热层7并与隔热层7转动连接，从动辊3位于第一主动辊1及第二主动
辊2的中心上方。第一主动辊1、第二主动辊2及从动辊3外表面均交错套接有若干固定套11和基体定位套12，基体定位套12外侧为槽口，第一主动辊1、第二主动辊2及从动辊3上的若干基体定位套12的槽口围合形成若干槽型区域，每个槽型区域内竖直放置有基体5。槽型区域的尺寸与基体5的尺寸相匹配，便于基体5在转动过程中不会被挤压且便于基体5从槽型区域中取放。
[0025]优选的，第一主动辊1、第二主动辊2及从动辊3的两端均固定连接有转接板13，每个转接板13固定连接有转轴14，每个转轴14上转动连接有安装座15，每个转轴14贯穿安装座15的轴心，每个安装座15贯穿设备壳体6并与设备壳体6固定连接，转轴14可在安装座15中旋转，并通过转接板13将旋转运动传递至第一主动辊1，转接板13具有隔热及便于拆装的作用。每个转轴14的外侧端设置有冷却水的进水口141和出水口142，避免设备壳体6内的高温外溢。
[0026]优选的，第一主动辊1与第二主动辊2通过旋转驱动机构4相互传动连接，旋转驱动机构4包括电机41、电机座42、第一传动轮43、第二传动轮44、第三传动轮45及传动带46，电机座42与设备壳体6固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积设备的基体支撑装置，包括设备壳体(6)、第一主动辊(1)、第二主动辊(2)及从动辊(3)，其特征在于，所述第一主动辊(1)、第二主动辊(2)及从动辊(3)均水平设置在设备壳体(6)内，所述设备壳体(6)的内侧壁上固定连接有隔热层(7)，所述第一主动辊(1)、第二主动辊(2)及从动辊(3)均贯穿隔热层(7)并与隔热层(7)转动连接，所述从动辊(3)位于第一主动辊(1)及第二主动辊(2)的中心上方。2.根据权利要求1所述一种化学气相沉积设备的基体支撑装置，其特征在于，所述第一主动辊(1)、第二主动辊(2)及从动辊(3)外表面均交错套接有若干固定套(11)和基体定位套(12)，所述基体定位套(12)外侧为槽口，所述第一主动辊(1)、第二主动辊(2)及从动辊(3)上的若干基体定位套(12)的槽口围合形成若干槽型区域，每个槽型区域内竖直放置有基体(5)。3.根据权利要求2所述一种化学气相沉积设备的基体支撑装置，其特征在于，所述第一主动辊(1)、第二主动辊(2)及从动辊(3)的两端均固定连接有转接板(13)，每个所述转接板(13)固定连接有转轴(14)，每个所述转轴(14)上转动连接有安装座(15)，每个所述转轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋光伟，高常春，
申请(专利权)人：湖南碳源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：