相位对比成像法制造技术

本文公开了一种方法，其包括：对于i＝1，...，M，朝向图像传感器发送铅笔形辐射束(i)，其中所述铅笔形辐射束(i)入射在所述图像传感器的有源区域上的入射区域(i)上，其中所述铅笔形辐射束(i)对准所述有源区域上的目标区域(i)，其中M是正整数，对于i＝1，...，M，确定在所述入射区域(i)和所述目标区域(i)之间的偏移量(i)。辐射检测器(100)包括像素(150)的阵列、吸收层(110)和电子器件层(120)。吸收层(110)和电子器件层(120)。吸收层(110)和电子器件层(120)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】相位对比成像法

技术介绍

[0001]辐射检测器是一种测量辐射特性的装置。所述特性的示例可包括辐射的强度、相位和偏振的空间分布。所述辐射可以是与物体相互作用的辐射。例如，由辐射检测器所测得的辐射可以是已经从物体穿透或从物体反射的辐射。所述辐射可以是电磁辐射，比如红外光、可见光、紫外光、X射线或γ射线。所述辐射可以是其他类型，比如α射线和β射线。一个图像传感器可以包括多个辐射检测器。

技术实现思路

[0002]本文公开一种方法，其包括：对于i＝1，...，M，朝向图像传感器发送铅笔形辐射束(i)，其中所述铅笔形辐射束(i)入射在所述图像传感器的有源区域上的入射区域(i)上，其中所述铅笔形辐射束(i)对准所述有源区域上的目标区域(i)，其中M是正整数，对于i＝1，...，M，确定在所述入射区域(i)和所述目标区域(i)之间的偏移量(i)。
[0003]在某方面，所述有源区域是所述图像传感器的唯一有源区域，并且所述有源区域是空间上连续的。
[0004]在某方面，所述方法进一步包括基于所述偏移量(i)，确定所述物体的点(i)，i＝1，...，M，的折射率；其中所述铅笔形辐射束(i)入射在所述点(i)上。
[0005]在某方面，每个所述目标区域(i)，i＝1，...，M，不小于所述图像传感器的一个像素的大小。
[0006]在某方面，所述目标区域(i)，i＝1，...，M，中的任意2个，同时被间隔至少10倍于所述图像传感器的一个像素的宽度。
[0007]在某方面，所述铅笔形辐射束(i)，i＝1，...，M，是将辐射引导通过过滤器的至少一个小孔而形成的，并且其中所述方法还包括在多次曝光之间相对于所述图像传感器移动所述过滤器。
[0008]在某方面，所述方法进一步包括捕获所述铅笔形辐射束(i)，i＝1，...，M，的图像，基于所述捕获的所述铅笔形辐射束(i)的图像确定所述入射区域(i)的位置(i)，其中所述的确定所述偏移量(i)是基于所述入射区域(i)的所述位置(i)。
[0009]在某方面，所述方法进一步包括：对于i＝1，...，M，发送附加铅笔形辐射束(i，j)，j＝1，...，Ni，其中Ni是正整数，并且其中每个所述附加铅笔形辐射束(i，j)，j＝1，...，Ni，与所述铅笔形辐射束(i)平行并重叠；捕获所述铅笔形辐射束(i)，i＝1，...，M，和所述附加铅笔形辐射束(i，j)，i＝1，...，M，和j＝1，...，Ni，的图像；并且对于i＝1，...，M，对所述铅笔形辐射束(i)的图像和所述附加铅笔形辐射束(i，j)，j＝1，...，Ni，的图像应用超分辨率算法，从而得到所述铅笔形辐射束(i)的增强图像(i)，基于所述增强图像(i)确定所述入射区域(i)的位置(i)，其中所述的确定所述偏移量(i)是基于所述入射区域(i)的所述位置(i)。
[0010]本文一种方法，其包括：朝向图像传感器发送第一扇形辐射束和第二扇形辐射束，其中，对于i＝1，...，M，所述第一扇形辐射束之一和所述第二扇形辐射束之一的一对(i)分
别入射在所述图像传感器的有源区域上的2个入射区域上，所述2个入射区域共用所述有源区域上的一个公共入射区域(i)，其中M为正整数，其中，对于i＝1，...，M，所述对(i)分别对准所述有源区域上的2个目标区域，这2个目标区域共用所述有源区域上的一个公共目标区域(i)，对于i＝1，...，M，确定在所述公共入射区域(i)和所述公共目标区域(i)之间的偏移量(i)。
[0011]在某方面，所述有源区域是所述图像传感器的唯一有源区域，并且所述有源区域是空间上连续的。
[0012]在某方面，所述方法进一步包括基于所述偏移量(i)确定所述物体的点(i)，i＝1，...，M，的折射率，其中所述对(i)的2个扇形辐射束都入射在所述点(i)上。
[0013]在某方面，每个所述公共目标区域(i)，i＝1，...，M，不小于所述图像传感器的一个像素的大小。
[0014]在某方面，所述第一扇形辐射束的任意2个辐射束同时对准的所述有源区域上的任意2个目标区域被间隔至少10倍于所述图像传感器的一个像素的宽度。
[0015]在某方面，被所述第一扇形辐射束所对准的所述有源区域上的目标区域彼此平行。
[0016]在某方面，所述第一扇形辐射束是通过引导辐射通过过滤器的至少一个狭缝而形成的，并且其中所述方法还包括在多次曝光之间相对于所述图像传感器移动所述过滤器。
[0017]在某方面，所述第一扇形辐射束所对准的所述有源区域上的目标区域不平行于所述第二扇形辐射束所对准的所述有源区域上的目标区域。
[0018]在某方面，所述第一扇形辐射束是将辐射引导通过过滤器的第一狭缝而形成的，而所述第二扇形辐射束是将辐射引导通过所述过滤器的第二狭缝而形成的，并且其中所述第一狭缝彼此平行，所述第二狭缝彼此平行，并且所述第一狭缝不平行于所述第二狭缝。
[0019]在某方面，所述方法进一步包括捕获所述第一扇形辐射束和所述第二扇形辐射束的图像，基于所捕获的所述对(i)的所述2个辐射束的图像，确定所述公共入射区域(i)的位置(i)，其中所述的确定所述偏移量(i)是基于所述公共入射区域(i)的所述位置(i)。
[0020]在某方面，所述方法进一步包括：对于所述第一扇形辐射束和所述第二扇形辐射束的每个辐射束，发送与所述第一扇形辐射束和所述第二扇形辐射束的所述辐射束平行并重叠的附加扇形辐射束；捕获所述第一扇形辐射束和所述第二扇形辐射束以及与它们相关联的附加扇形辐射束的图像；并且对于所述第一扇形辐射束和所述第二扇形辐射束的每个辐射束，将超分辨率算法应用于所述辐射束以及与所述辐射束相关联的附加扇形辐射束的所述图像，从而得到所述辐射束的增强图像，基于所述对(i)的所述2个辐射束的所述增强图像确定所述公共入射区域(i)的位置(i)，其中所述的确定所述偏移量(i)是基于所述公共入射区域(i)的所述位置(i)。
[0021]在某方面，所述第二扇形辐射束在所述第一扇形辐射束被发送之后被发送。
【附图说明】
[0022]图1示意示出根据实施例的一种辐射检测器。
[0023]图2A示意示出根据实施例的所述辐射检测器的简化截面图。
[0024]图2B示意示出根据实施例的所述辐射检测器的详细截面图。
[0025]图2C示意示出根据实施例的所述辐射检测器的替代详细截面图。
[0026]图3示意示出根据实施例的包括了辐射检测器和印刷电路板(PCB)的封装的俯视图。
[0027]图4示意示出根据实施例的图像传感器的截面图，其中图3中的多个所述封装被安装到系统印刷电路板。
[0028]图5A
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图5D示意示出根据不同实施例的成像系统及其使用铅笔形辐射束的操作。
[0029]图6A
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图6F示意示出根据不同实施例的成像系统及其使用扇形辐射束的操作。
[0030]图7A
‑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种方法，其包括：对于i＝1，...，M，朝向图像传感器发送铅笔形辐射束(i)，其中所述铅笔形辐射束(i)入射在所述图像传感器的有源区域上的入射区域(i)上，其中所述铅笔形辐射束(i)对准所述有源区域上的目标区域(i)，其中M是正整数，对于i＝1，...，M，确定在所述入射区域(i)和所述目标区域(i)之间的偏移量(i)。2.如权利要求1所述的方法，其中所述有源区域是所述图像传感器的唯一有源区域，并且所述有源区域是空间上连续的。3.如权利要求1所述的方法，其进一步包括基于所述偏移量(i)，确定所述物体的点(i)，i＝1，...，M，的折射率；其中所述铅笔形辐射束(i)入射在所述点(i)上。4.如权利要求1所述的方法，其中每个所述目标区域(i)，i＝1，...，M，不小于所述图像传感器的一个像素的大小。5.如权利要求1所述的方法，其中所述目标区域(i)，i＝1，...，M，中的任意2个，同时被间隔至少10倍于所述图像传感器的一个像素的宽度。6.如权利要求1所述的方法，其中所述铅笔形辐射束(i)，i＝1，...，M，是将辐射引导通过过滤器的至少一个小孔而形成的，并且其中所述方法还包括在多次曝光之间相对于所述图像传感器移动所述过滤器。7.如权利要求1所述的方法，其进一步包括捕获所述铅笔形辐射束(i)，i＝1，...，M，的图像，基于所述捕获的所述铅笔形辐射束(i)的图像确定所述入射区域(i)的位置(i)，其中所述的确定所述偏移量(i)是基于所述入射区域(i)的所述位置(i)。8.如权利要求1所述的方法，其进一步包括：对于i＝1，...，M，发送附加铅笔形辐射束(i，j)，j＝1，...，Ni，其中Ni是正整数，并且其中每个所述附加铅笔形辐射束(i，j)，j＝1，...，Ni，与所述铅笔形辐射束(i)平行并重叠；捕获所述铅笔形辐射束(i)，i＝1，...，M，和所述附加铅笔形辐射束(i，j)，i＝1，...，M，和j＝1，...，Ni，的图像；并且对于i＝1，...，M，对所述铅笔形辐射束(i)的图像和所述附加铅笔形辐射束(i，j)，j＝1，...，Ni，的图像应用超分辨率算法，从而得到所述铅笔形辐射束(i)的增强图像(i)，基于所述增强图像(i)确定所述入射区域(i)的位置(i)，其中所述的确定所述偏移量(i)是基于所述入射区域(i)的所述位置(i)。9.一种方法，其包括：朝向图像传感器发送第一扇形辐射束和第二扇形辐射束，其中，对于i＝1，...，M，所述第一扇形辐射束之一和所述第二扇形辐射束之一的一对(i)分别入射在所述图像传感器的有源区域上的2个入射区域上，所述2个入射区域共用所述有源区域上的一个公共入射区域(i)，其中M为正整数，其中，对于i＝1，...，M，所述对(i)分别对准所述有源区域上的2个目标区域，这2...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹培炎，刘雨润，
申请(专利权)人：深圳帧观德芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：