一种新型扩散炉配套用石英舟工作台制造技术

本实用新型专利技术涉及石英舟技术领域，且公开了一种新型扩散炉配套用石英舟工作台，解决了现有的石英舟通过石英舟工作台对其进行放置，而石英舟工作台上载物台隔板之间的距离是固定的，而不同规格的石英舟需要不同的工作台进行放置，不便于实际使用的问题，其包括支撑座，所述支撑座的顶部固定连接有侧板，侧板的顶部固定连接有顶板，侧板的一侧设有若干石英舟放置板，侧板的一侧开设有两个第一凹槽，第一凹槽的一侧内壁开设有若干卡槽，石英舟放置板的一侧设有两个活动块，活动块和石英舟放置板通过滑动单元连接；可以根据需要放置石英舟的规格，调节相邻两个石英舟放置板之间的距离，便于存放石英舟。于存放石英舟。于存放石英舟。

【技术实现步骤摘要】
一种新型扩散炉配套用石英舟工作台


[0001]本技术属于石英舟
，具体为一种新型扩散炉配套用石英舟工作台。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
[0003]扩散炉中需要使用到舟，承载电池片所用的舟，因为其要求耐高温、防腐蚀的特性，以石英为材料做成的舟成了扩散的最佳选择，石英舟在扩散领域起到了非常重要的作用。
[0004]现有的石英舟通过石英舟工作台对其进行放置，而石英舟工作台上载物台隔板之间的距离是固定的，而不同规格的石英舟需要不同的工作台进行放置，不便于实际使用。

技术实现思路

[0005]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种新型扩散炉配套用石英舟工作台，有效的解决了上述
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现以上目的，本技术采用以下的技术方案：
[0007]一种新型扩散炉配套用石英舟工作台，包括支撑座，所述支撑座的顶部固定连接有侧板，侧板的顶部固定连接有顶板，侧板的一侧设有若干石英舟放置板，侧板的一侧开设有两个第一凹槽，第一凹槽的一侧内壁开设有若干卡槽，石英舟放置板的一侧设有两个活动块，活动块和石英舟放置板通过滑动单元连接，两个活动块相靠近的一侧均固定连接有卡块，第一凹槽内设有限位板，第一凹槽的一侧内壁开设有第二凹槽，侧板上设有与限位板相配合的定位组件。
[0008]作为本技术所述的一种新型扩散炉配套用石英舟工作台的一种优选实时方案，其中，所述定位组件包括两个设置于第二凹槽内的连接板，侧板的两侧均设有支撑板，连接板的一端与限位板的一侧固定连接，连接板的另一端贯穿第二凹槽的一侧内壁，且连接板的一端与支撑板的一侧固定连接，侧板上设有与支撑板相配合的阻挡单元。
[0009]作为本技术所述的一种新型扩散炉配套用石英舟工作台的一种优选实时方案，其中，所述阻挡单元包括设置于支撑板一侧的挡板，支撑板的底部设有固定板，固定板的一侧与侧板的一侧固定连接，挡板贯穿固定板，挡板的底部固定连接有活动板，活动板的顶部和固定板的底部通过拉伸弹簧连接。
[0010]作为本技术所述的一种新型扩散炉配套用石英舟工作台的一种优选实时方案，其中，所述挡板的一侧与支撑板的一侧相接触，支撑板远离限位板的一侧固定连接有拉环。
[0011]作为本技术所述的一种新型扩散炉配套用石英舟工作台的一种优选实时方案，其中，所述活动块位于第一凹槽内，卡块位于卡槽内，限位板的一侧与活动块的一侧相接触。
[0012]作为本技术所述的一种新型扩散炉配套用石英舟工作台的一种优选实时方案，其中，所述滑动单元包括设置于活动块一侧的滑块，滑块的一侧与活动块的一侧固定连接，石英舟放置板的一侧开设有两个滑槽，滑块位于滑槽内，滑槽和滑块的横截面均为T形结构。
[0013]作为本技术所述的一种新型扩散炉配套用石英舟工作台的一种优选实时方案，其中，所述活动块的顶部固定连接有把手，支撑座的底部设有若干支撑块，支撑块的底部设有滚轮。
[0014]本技术具有以下有益效果：
[0015]1、通过侧板、石英舟放置板、第一凹槽、卡槽、活动块、卡块、限位板和滑动单元的设计，通过滑槽和滑块的配合，使得活动块相对石英舟放置板平稳的移动，调节石英舟放置板的高度，进而驱动活动块插入第一凹槽内，通过驱动活动块移动，使得卡块插入对应的卡槽内，进而限位石英舟放置板的高度，同理，根据石英舟的规格，调节其他石英舟放置板的高度，进而使得石英舟放置板上的卡块插入对应的卡槽内，完成对石英舟放置板的安装，进而驱动限位板移动，使得限位板与活动块相接触，通过限位板限位活动块和卡块的位置，避免卡块脱离对应的卡槽，即可完成对石英舟放置板位置的限定，可以根据需要放置石英舟的规格，调节相邻两个石英舟放置板之间的距离，便于存放石英舟；
[0016]2、通过侧板、限位板、第二凹槽和定位组件的设计，通过驱动活动板和挡板下移，使得挡板不再位于支撑板的一侧，拉伸弹簧处于拉伸状态，解除对支撑板位置的限定，通过驱动支撑板远离侧板移动，使得限位板移动至第二凹槽内，即可解除对活动块和卡块位置的限定，使得活动块可以驱动卡块脱离卡槽，解除对石英舟放置板的固定，进而驱动石英舟放置板移动，使得活动块脱离第一凹槽，即可完成石英舟放置板的拆除。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其它的附图。
[0018]图1为本技术整体结构示意图；
[0019]图2为本技术侧板的结构示意图；
[0020]图3为本技术限位板的结构示意图；
[0021]图4为本技术石英舟放置板的结构示意图；
[0022]图5为图1中A处的局部放大结构示意图。
[0023]图中：1、支撑座；2、侧板；3、顶板；4、石英舟放置板；5、第一凹槽；6、卡槽；7、活动块；8、卡块；9、限位板；10、第二凹槽；11、支撑板；12、连接板；13、挡板；14、活动板；15、拉伸弹簧；16、拉环；17、固定板；18、滑槽；19、滑块；20、把手；21、支撑块；22、滚轮。
[0024]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0027]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0028]实施例一
[0029]由图1至图5给出，本技术包括支撑座1，支撑座1的顶部固定连接有侧板2，侧板2的顶部固定连接有顶板3，侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型扩散炉配套用石英舟工作台，包括支撑座(1)，其特征在于：所述支撑座(1)的顶部固定连接有侧板(2)，侧板(2)的顶部固定连接有顶板(3)，侧板(2)的一侧设有若干石英舟放置板(4)，侧板(2)的一侧开设有两个第一凹槽(5)，第一凹槽(5)的一侧内壁开设有若干卡槽(6)，石英舟放置板(4)的一侧设有两个活动块(7)，活动块(7)和石英舟放置板(4)通过滑动单元连接，两个活动块(7)相靠近的一侧均固定连接有卡块(8)，第一凹槽(5)内设有限位板(9)，第一凹槽(5)的一侧内壁开设有第二凹槽(10)，侧板(2)上设有与限位板(9)相配合的定位组件。2.根据权利要求1所述的一种新型扩散炉配套用石英舟工作台，其特征在于：所述定位组件包括两个设置于第二凹槽(10)内的连接板(12)，侧板(2)的两侧均设有支撑板(11)，连接板(12)的一端与限位板(9)的一侧固定连接，连接板(12)的另一端贯穿第二凹槽(10)的一侧内壁，且连接板(12)的一端与支撑板(11)的一侧固定连接，侧板(2)上设有与支撑板(11)相配合的阻挡单元。3.根据权利要求2所述的一种新型扩散炉配套用石英舟工作台，其特征在于：所述阻挡单元包括设置于支撑板(11)一侧的挡板(13)，支撑板(11)的底部...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟庆昌，赵海军，
申请(专利权)人：青岛海通达微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：