大动态微机械可变光衰减器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大动态微机械可变光衰减器，它涉及光电子领域中的可变光衰减器器件。它由Ｎ型单晶硅衬底、可动梳齿、固定梳齿、可动梳齿驱动电极、固定梳齿驱动电极、弹性折叠悬梁、可动部件支撑连接梁、光纤、硅挡板、Ｖ形槽等部件组成。它采用在静电力的作用下，使硅挡板在光纤间移动，达到硅挡板部分阻断光纤传输光信号的通过，从而达到对传输光的能量衰减控制作用。本实用新型专利技术具有大动态衰减范围、低插入损耗、低偏振相关损耗、低波长相关损耗、相应时间快、功耗低以及体积小、成本低、易集成和批量化等特点，可以制成系列的可变光衰减器，特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作可变光衰减器器件装置。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种大动态微机械可变光衰减器，它包括Ｎ型单晶硅衬底（１）、光纤（１０）、浓硼层（１４）、光刻胶层（１５），其特征在于：它还包括固定梳齿驱动电极（２）、固定梳齿（３）、可动梳齿（４）、可动梳齿驱动电极（５）、弹性折叠悬梁（６）、可动部件支撑连接梁（７）、金属层（８）、硅挡板（９）、光纤端面定位结构（１１）、垂直槽（１２）、Ｖ形槽（１３），其中Ｎ型单晶硅衬底（１）上扩散一层浓硼层（１４）结构，浓硼层（１４）上涂一层光刻胶层（１５），光刻胶层（１５）上光刻固定梳齿驱动电极（２）、固定梳齿（３）、可动梳齿（４）、可动梳齿驱动电极（５）、弹性折叠悬梁（６）、可动部件支撑连接梁（７）、硅挡板（９）、光纤端面定位结构（１１）、垂直槽（１２）结构，固定梳齿驱动电极（２）和可动梳齿驱动电极（５）底部与浓硼层（１４）连接，Ｎ型单晶硅衬底（１）的浓硼层（１４）上腐蚀加工悬浮的固定梳齿（３）、可动梳齿（４）、弹性折叠悬梁（６）、可动部件支撑连接梁（７）、硅微型挡板（９）、光纤端面定位结构（１１），Ｎ型单晶硅衬底（１）的四周浓硼层（１４）上腐蚀加工垂直槽（１２）结构，固定梳齿（３）的各个梳齿一端与固定梳齿驱动电极（２）连接、可动梳齿（４）的各个梳齿一端通过可动部件支撑连接梁（７）与弹性折叠悬梁（６）连接，可动部件支撑连接梁（７）穿接弹性折叠悬梁（６）后与硅挡板（９）连接，弹性折叠悬梁（６）与可动梳齿驱动电极（５）连接，垂直槽（１２）底部腐蚀加工Ｖ形槽（１３），光纤（１０）放置在垂直槽（１２）和Ｖ形槽（１３）内，光纤（１０）端面侧壁与光纤端面定位结构（１１）侧壁接触连接，光纤端面定位结构（１１）侧壁与Ｎ型单晶硅衬底（１）成垂直结构，硅挡板（９）插装在两根光纤（１０）相对端面间隙之间，固定梳齿驱动电极（２）和可动梳齿驱动电极（５）上溅射加工金属层（８）结构，金属层（８）与光电管壳管脚连接。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李海军，杨拥军，徐永青，郑七龙，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：实用新型
国别省市：13[中国|河北]