一种集成式钟罩及石英件清洗设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种集成式钟罩及石英件清洗设备，包括浸泡工位和钟罩清洗工位，浸泡工位包括通风柜和位于通风柜内部的浸泡槽，两组钟罩清洗单元对称安装在浸泡工位的一端；浸泡槽的一侧设置有储液箱，浸泡槽上部的外围套设有环形外槽，浸泡槽的上部设置有多个溢流孔，浸泡槽的内部设置有最少两根喷淋管，所述喷淋管的一侧设置有多个喷流孔。所述集成式钟罩及石英件清洗设备将浸泡工位和钟罩清洗工位合二为一，空间布局合理，设备占地面积小；同时能对钟罩相关的配套件以及石英件进行浸泡清洗作业以及对钟罩进行喷淋清洗作业，显著提高清洗效率；浸泡工位处的浸泡清洗效果好，应用价值高。用价值高。用价值高。

【技术实现步骤摘要】
一种集成式钟罩及石英件清洗设备


[0001]本技术涉及一种集成式钟罩及石英件清洗设备，属于半导体行业外延钟罩清洗设备


技术介绍

[0002]目前，对半导体领域中的石英炉管钟罩及石英件的清洗通常都是分为两个工位/设备，钟罩相关的配套件以及石英件都是在浸泡槽中进行浸泡清洗。钟罩的主体通常都是对其内表面进行清洗，如采用喷淋清洗的方式，具体方式可参见授权公告号为CN101352714B“一种组合式钟罩清洗机及其操作方法”。
[0003]将浸泡槽与钟罩清洗设备集成时，通常只是简单二合一，空间布局不合理，集成的设备占地面积大。同时，现有的浸泡槽的浸泡清洗效果有限，有待进一步提高。

技术实现思路

[0004]本技术针对现有技术存在的不足，提供了一种集成式钟罩及石英件清洗设备，具体技术方案如下：
[0005]一种集成式钟罩及石英件清洗设备，包括浸泡工位和钟罩清洗工位，所述浸泡工位包括通风柜和位于通风柜内部的浸泡槽，所述浸泡工位设置有一组，所述钟罩清洗工位设置有两组钟罩清洗单元，两组钟罩清洗单元对称安装在浸泡工位的一端；所述浸泡槽的一侧设置有储液箱，所述浸泡槽上部的外围套设有环形外槽，所述浸泡槽的上部设置有多个溢流孔，所述浸泡槽与外槽之间通过溢流孔连通，所述浸泡槽的内部设置有最少两根喷淋管，所述喷淋管均设置在外槽的上方，所述喷淋管的一侧设置有多个喷流孔，所述喷淋管的一端与储液箱的内腔连通。
[0006]作为上述技术方案的改进，所述浸泡槽的内部固定安装有洞洞板，所述洞洞板与浸泡槽的槽底之间设置有间隔，所述洞洞板的板面设置有多个正六边形通孔。
[0007]作为上述技术方案的改进，所述浸泡槽下部的外围套设有环形接液槽，所述接液槽位于外槽的正下方。
[0008]作为上述技术方案的改进，所述喷淋管与浸泡槽的内壁之间安装有多块用来固定喷淋管的卡块，所述卡块的尾端与浸泡槽的内壁固定连接，所述卡块的首端设置有供喷淋管进出的V形槽、与喷淋管相匹配的弧形槽，所述弧形槽的横截面为优弧结构，所述V形槽与弧形槽连通。
[0009]作为上述技术方案的改进，所述喷流孔的轴线与竖直方向之间的夹角为α，45
°
≤α≤75
°
。
[0010]作为上述技术方案的改进，所述喷淋管与储液箱之间安装有耐腐蚀泵，所述耐腐蚀泵的输入端与储液箱的内腔连通，所述耐腐蚀泵的输出端与喷淋管的一端连通。
[0011]作为上述技术方案的改进，所述浸泡槽的槽口安装有两扇槽盖，所述槽盖的一侧与浸泡槽的顶部铰接。
[0012]作为上述技术方案的改进，所述钟罩清洗工位包括外壳，所述外壳的横截面为等腰三角形结构，所述外壳的内部密封连接有位于外壳对称轴处的隔板，所述外壳的内部被隔板分隔为两个呈对称设置的钟罩清洗室，所述钟罩清洗室内部设置有喷淋清洗机构；所述隔板与钟罩清洗室的内壁之间密封连接有挡板，所述挡板、隔板和钟罩清洗室的内壁之间围成有横截面为直角三角形状的排风室。
[0013]作为上述技术方案的改进，所述外壳的角部设置有倒角部。
[0014]本技术所述集成式钟罩及石英件清洗设备将浸泡工位和钟罩清洗工位合二为一，空间布局合理，设备占地面积小；同时能对钟罩相关的配套件以及石英件进行浸泡清洗作业以及对钟罩进行喷淋清洗作业，显著提高清洗效率；浸泡工位处的浸泡清洗效果好，应用价值高。
附图说明
[0015]图1为本技术所述集成式钟罩及石英件清洗设备的结构示意图；
[0016]图2为本技术所述集成式钟罩及石英件清洗设备的内部示意图；
[0017]图3为本技术所述浸泡工位和钟罩清洗工位的内部分布示意图；
[0018]图4为本技术所述浸泡工位的结构示意图；
[0019]图5为本技术所述浸泡工位的内部示意图；
[0020]图6为本技术所述喷淋管与卡块的连接示意图；
[0021]图7为本技术所述卡块的结构示意图。
具体实施方式
[0022]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0023]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]实施例1
[0026]如图1、2、4、5所示，所述集成式钟罩及石英件清洗设备，包括浸泡工位和钟罩清洗工位，所述浸泡工位包括通风柜10和位于通风柜10内部的浸泡槽11，所述浸泡工位设置有一组，所述钟罩清洗工位设置有两组钟罩清洗单元30，两组钟罩清洗单元30对称安装在浸
泡工位的一端；所述浸泡槽11的一侧设置有储液箱13，所述浸泡槽11上部的外围套设有环形外槽14，所述浸泡槽11的上部设置有多个腰圆形溢流孔111，所述浸泡槽11 与外槽14之间通过溢流孔111连通，所述浸泡槽11的内部设置有最少两根喷淋管18，所述喷淋管18均设置在外槽14的上方，所述喷淋管18的一侧设置有多个喷流孔181，所述喷淋管18的一端与储液箱13的内腔连通。
[0027]钟罩相关的配套件以及石英件都是在浸泡槽11中进行浸泡清洗；当浸泡槽11内所使用清洗液为酸性、碱性时，为保证清洗安全，使用通风柜10 进行排风。储液箱13内存储清洗液，然后，清洗液可从喷淋管18的喷流孔181处喷出，对浸泡槽11内的钟罩相关的配套件或石英件进行喷淋冲洗，从而提高清洗效果。从喷流孔181处喷出高压水流到钟罩相关的配套件或石英件，为进一步提高喷洗效果，可在喷流孔181处安装雾化喷嘴，喷出高压水雾，从而使得冲洗均匀无死角。
[0028]两组钟罩清洗单元30能够对钟罩进行喷淋清洗，两组钟罩清洗单元30 相互独立，互不干扰。
[0029]溢流孔111的设置，浸泡槽11内的漂浮物、脏污等直接溢出到外槽14，外槽14内的污水可排放至指定区域。溢流孔111为腰圆形，一方面方便加工，另一方面方便漂浮物、脏污等排出。
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成式钟罩及石英件清洗设备，包括浸泡工位和钟罩清洗工位，所述浸泡工位包括通风柜(10)和位于通风柜(10)内部的浸泡槽(11)，其特征在于：所述浸泡工位设置有一组，所述钟罩清洗工位设置有两组钟罩清洗单元(30)，两组钟罩清洗单元(30)对称安装在浸泡工位的一端；所述浸泡槽(11)的一侧设置有储液箱(13)，所述浸泡槽(11)上部的外围套设有环形外槽(14)，所述浸泡槽(11)的上部设置有多个溢流孔(111)，所述浸泡槽(11)与外槽(14)之间通过溢流孔(111)连通，所述浸泡槽(11)的内部设置有最少两根喷淋管(18)，所述喷淋管(18)均设置在外槽(14)的上方，所述喷淋管(18)的一侧设置有多个喷流孔(181)，所述喷淋管(18)的一端与储液箱(13)的内腔连通。2.根据权利要求1所述的一种集成式钟罩及石英件清洗设备，其特征在于：所述浸泡槽(11)的内部固定安装有洞洞板(16)，所述洞洞板(16)与浸泡槽(11)的槽底之间设置有间隔，所述洞洞板(16)的板面设置有多个正六边形通孔(161)。3.根据权利要求1所述的一种集成式钟罩及石英件清洗设备，其特征在于：所述浸泡槽(11)下部的外围套设有环形接液槽(17)，所述接液槽(17)位于外槽(14)的正下方。4.根据权利要求1所述的一种集成式钟罩及石英件清洗设备，其特征在于：所述喷淋管(18)与浸泡槽(11)的内壁之间安装有多块用来固定喷淋管(18)的卡块(19)，所述卡块(19)的尾端与浸泡槽(11)的内壁固定连接，所述卡块(19)的首端设置有供喷淋管(18)进出的V形槽(19...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿彪，
申请(专利权)人：北京华林嘉业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：