一种ALD尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于原子层沉积技术领域，提供了一种ALD尾气处理装置，包括第一进气口，所述第一进气口的一端连接反应腔，另一端连接有一级分解装置，所述一级分解装置远离第一进气口的一端设有第一出气口，所述第一出气口与连接管一端固定连接，所述连接管远离第一出气口的一端连接有二级分解装置，所述二级分解装置顶部的一侧设有第二进气口，所述连接管通过第二进气口与二级分解装置相通，所述二级分解装置在远离第二进气口的一端的下侧设有第二出气口，通过两级不同密度的加热分解装置，控制尾气流速，提高了尾气分解效率，延长泵的使用寿命，减少了尾气对环境的污染。减少了尾气对环境的污染。减少了尾气对环境的污染。

【技术实现步骤摘要】
一种ALD尾气处理装置


[0001]本技术属于原子层沉积
，具体涉及一种ALD尾气处理装置。

技术介绍

[0002]原子层沉积(ALD)是目前最先进的镀膜和表面处理技术。ALD在现代半导体工业中起到了中流砥柱的作用。目前ALD的工艺流程为脉冲式通入足量的前驱体，使多种前驱体在反应室内反应沉积，因在使用的过程中需要提供足量的前驱体吸附衬底表面，所以不可避免的会有多余的前驱体通过气泵抽走排出，使泵暴露于有机金属前驱体脉冲，从而造成泵的使用寿命降低，目前主流是通过在气泵前段进行加热，然而单纯热阱无法充分的反应过量的前驱体，无法正常延长泵的使用寿命，也增加尾气对环境的污染。

技术实现思路

[0003]为解决上述问题，本技术提供了一种ALD尾气处理装置，通过两级不同密度的加热分解装置，控制尾气流速，提高了尾气分解效率，延长泵的使用寿命，减少了尾气对环境的污染。
[0004]本技术提供的技术方案如下：
[0005]一方面，一种ALD尾气处理装置，包括第一进气口，所述第一进气口的一端连接反应腔，另一端连接有一级分解装置，所述一级分解装置远离第一进气口的一端设有第一出气口，所述第一出气口与连接管一端固定连接；
[0006]所述连接管远离第一出气口的一端连接有二级分解装置，所述二级分解装置顶部的一侧设有第二进气口，所述连接管通过第二进气口与二级分解装置相通，所述二级分解装置在远离第二进气口的一端的下侧设有第二出气口。
[0007]进一步的，所述一级分解装置内设有若干个竖直方向上与内壁相连的第一挡板，所述第一挡板交替在上下开有通风口。
[0008]进一步的，所述二级分解装置内设有若干个水平方向是与内壁相连的第二挡板，所述第二挡板开有若干个错位设置的气孔。
[0009]进一步的，所述二级分解装置在第二进气口处设置有过滤网。
[0010]进一步的，所述一级分解装置和二级分解装置的外表面均设置有加热装置。
[0011]进一步的，所述一级分解装置、二级分解装置与连接管连接处均设置有真空接头。
[0012]进一步的，所述一级分解装置上加热装置的温度设为150℃
‑
180℃，所述二级分解装置上加热装置的温度设为170℃
‑
200℃。
[0013]综上所述，本技术的有益效果是：
[0014]（1）本技术通过两级不同密度的加热分解装置，分级对尾气进行热分解工作，提高了尾气分解率，减少了尾气对环境的污染。
[0015]（2）本技术在加热分解装置内设置不同密度的挡板，控制尾气的流速，进一步提高了尾气分解效率，延长真空泵的使用寿命。
附图说明
[0016]图1为本技术剖视结构示意图；
[0017]图2为本技术整体结构示意图；
[0018]图3为本技术俯视结构示意图；
[0019]图4为本技术第二分解装置俯视结构示意图；
[0020]图5为本技术第二分解装置侧面剖视结构示意图；
[0021]图6为本技术第一分解装置侧面剖视构示意图。
[0022]附图标记如下：
[0023]1、第一进气口；2、一级分解装置；3、二级分解装置；4、第一出气口；5、第二进气口；6、第二出气口；7、连接管；8、加热装置；9、真空接头；21、第一挡板；31、第二挡板；32、气孔；33、过滤网。
具体实施方式
[0024]为了加深对本技术的理解，下面将结合实施例对本技术作进一步详述，以下实施例仅用于解释本技术，并不构成对本技术保护范围的限定。
[0025]如图1
‑
6所示，一种ALD尾气处理装置，包括第一进气口1，第一进气口1的一端连接反应腔，另一端连接有一级分解装置2，一级分解装置2远离第一进气口1的一端设有第一出气口4，第一出气口4与连接管7一端固定连接，连接管7可以是U型、直角等形状；
[0026]连接管7远离第一出气口4的一端连接有二级分解装置3，二级分解装置3顶部的一侧设有第二进气口5，连接管7通过第二进气口5与二级分解装置3相通，二级分解装置3在远离第二进气口5的一端的下侧设有第二出气口6。
[0027]在本实施例中，一级分解装置2内设有若干个竖直方向上与内壁相连的第一挡板21，第一挡板21交替在上下开有通风口，通风口错位设置，加大了尾气流动的距离，延长了尾气在一级分解装置2内的停留时间，提高了反应效率。
[0028]在本实施例中，二级分解装置3内设有若干个水平方向是与内壁相连的第二挡板31，第二挡板31开有若干个错位设置的气孔32，尾气从二级分解装置3顶部进入，在真空装置和重力的作用下通过气孔32下流，二级分解装置3内部的结构密度大于一级分解装置2的内部结构密度，进一步强化了反应过程。
[0029]在本实施例中，二级分解装置3在第二进气口5处设置有过滤网33，过滤网33可以快速吸收尾气一级反应后后的杂质。
[0030]在本实施例中，一级分解装置2和二级分解装置3的外表面均设置有加热装置8，加热装置8可以根据需要设置不同的温度来加热分解装置。
[0031]在本实施例中，一级分解装置2、二级分解装置3与连接管7连接处均设置有真空接头9，真空接头9可以采用KF40或KF50等接头，能够有效地防止尾气的外泄。
[0032]一级分解装置2上加热装置8的温度设为150℃
‑
180℃，二级分解装置3上加热装置8的温度设为170℃
‑
200℃。
[0033]下面通过不同的流速和温度试验本尾气处理装置的分解效果：
[0034]试验1：
[0035]尾气在一级加热分解装置2内的流速为1000ml/min;
[0036]尾气流入一级加热分解装置2，设置加热装置8温度为150℃；
[0037]加热后的尾气产生出的杂质经过滤网33过滤吸附；
[0038]尾气在二级加热分解装置3内的流速为500ml/min；
[0039]尾气流入二级加热分解装置3，设置加热装置8温度为170℃，待尾气流至第二出气口6时，热解得到排出气体。
[0040]从真空装置中排出的气体的分解率为89.7%。
[0041]试验2：
[0042]尾气在一级加热分解装置2内的流速为800ml/min;
[0043]尾气流入一级加热分解装置2，设置加热装置8温度为180℃；
[0044]加热后的尾气产生出的杂质经过滤网33过滤吸附；
[0045]尾气在二级加热分解装置3内的流速为200ml/min；
[0046]尾气流入二级加热分解装置3，设置加热装置8温度为220℃，待尾气流至第二出气口6时，热解得到排出气体。
[0047]从真空装置中排出的气体的分解率为96.5%。
[0048]试验3：
[0049]尾气在一级本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ALD尾气处理装置，包括第一进气口（1），其特征在于，所述第一进气口（1）的一端连接反应腔，另一端连接有一级分解装置（2），所述一级分解装置（2）远离第一进气口（1）的一端设有第一出气口（4），所述第一出气口（4）与连接管（7）一端固定连接；所述连接管（7）远离第一出气口（4）的一端连接有二级分解装置（3），所述二级分解装置（3）顶部的一侧设有第二进气口（5），所述连接管（7）通过第二进气口（5）与二级分解装置（3）相通，所述二级分解装置（3）在远离第二进气口（5）的一端的下侧设有第二出气口（6）。2.根据权利要求1所述的一种ALD尾气处理装置，其特征在于，所述一级分解装置（2）内设有若干个竖直方向上与内壁相连的第一挡板（21），所述第一挡板（21）...

【专利技术属性】
技术研发人员：房岩，张洪国，张海飞，李正磊，唐继远，王浩增，
申请(专利权)人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：