一种精准比例混合气体供应设备制造技术

本发明专利技术提供一种精准比例混合气体供应设备，包括特殊气体管路，与特殊气体管路连接的吹扫气体管路和标定气体管路；所述特殊气体管路包括A气体输入管路和B气体输入管路，与A气体输入管路和B气体输入管路连接的特殊气体混合器，与特殊气体混合器连接的特殊气体输出管路；所述标定气体管路与特殊气体混合器连接；所述特殊气体混合器包括混合输入管路，与混合输入管路连接的缓冲罐BT，与缓冲罐BT连接的混合输出管路。本发明专利技术通过将两种原始气体进行精准比例混合，实现混合气体供应，可以缩减购买混合气钢瓶和普通气柜的成品，并且可以根据实际使用需求进行流量控制，满足大批量使用需求，减少混合气体的使用成本，从而达到利润最大化。大化。大化。

【技术实现步骤摘要】
一种精准比例混合气体供应设备


[0001]本专利技术涉及混合气体供应设备领域，特别是涉及一种精准比例混合气体供应设备。

技术介绍

[0002]混合气体是指两种或两种以上气体组成的气体混合物。现有混合气体供应设备主要是通过气柜对存储有精准比例混合气体的钢瓶进行减压，通过气柜进行混合气体供应。
[0003]请参阅图1，现有的混合气体供应设备主要包括吹扫管路和排气管路，所述排气管路包括第一排气管路和第二排气管路，所述吹扫管路和气柜GHR、气柜GHL连通，所述第一排气管路与气柜GHR连通，第二排气管路与气柜GHL连通，所述气柜GHR与钢瓶GASR连通，所述气柜GHL与钢瓶GASL连通；其中，所述吹扫管路上依次设置有包括气动阀门AV1N、单向阀门CN1N、气动阀门AV2N、压力传感器PT4、气动阀门AV7R、气动阀门AV7L；所述第一排气管路包括第一排气主管和第一排气副管，所述第一排气主管上依次设置有气动阀门AV2R、气动阀门AV3R、手动阀门MV8R，所述第一排气副管上并行设置有气动阀门AV4R和气动阀门AV5R；所述第二排气管路包括第二排气主管和第二排气副管；所述第二排气主管上依次设置有气动阀门AV2L、气动阀门AV3L、手动阀门MV8R，所述第二排气副管上并行设置有气动阀门AV4L和气动阀门AV5L；所述第一排气副管和第二排气副管的尾部依次设置有压力传感器PT3和手动阀门MV9。
[0004]所述混合气体供应设备的工作原理如下：
[0005](1)钢瓶GASR相对于气柜GHR进行安装，钢瓶GASL相对于气柜GHL进行安装，并且进行密封性测试；
[0006](2)钢瓶GASR/GASL的阀门打开，使得特殊气体进入气柜GHR/GHL；
[0007](3)吹扫管路的气动阀门AV2R打开，通过外界输入的N2对气柜GHR/GHL进行吹扫处理；
[0008](4)钢瓶GASR/GASL内部的混合气体压力通过气柜GHR/GHL内部的压力传感器PT1R/PT1L进行观察，符合设定则自动打开气动阀门AV2R/AV2L，通过调压阀PRV1R/PRV1L进行调节输出，通过观察压力传感器PT2R/PT2L确定输出压力大小，满足压力则自动打开气动阀门AV3R/AV3 L，最后打开手动阀门MV8 R/MV8L输出混合气体。
[0009]现有混合气体供应设备存在以下缺点：
[0010]1、只能通过减压释放钢瓶GASR和钢瓶GASL中的混合气体，无法实现自主混合气体，使得混合气体供应成本较高。
[0011]2、精准比例混合气体的钢瓶价格较为昂贵，并且容量较少，无法满足大批量生产使用需求。
[0012]3、在满足大批量生产使用需求的供应量时，需要配备多个混合气柜进行供应，成本较高。

技术实现思路

[0013]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种精准比例混合气体供应设备，通过将原始的气体进行精准比例混合，实现混合气体供应；可以缩减购买混合气钢瓶和普通气柜的成品，并且可以根据实际使用需求进行流量控制，满足大批量使用需求，减少混合气体的使用成本，从而达到利润最大化。
[0014]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种精准比例混合气体供应设备，包括特殊气体管路，与特殊气体管路连接的吹扫气体管路和标定气体管路；
[0015]所述特殊气体管路包括A气体输入管路和B气体输入管路，与A气体输入管路和B气体输入管路连接的特殊气体混合器，与特殊气体混合器连接的特殊气体输出管路；所述标定气体管路与特殊气体混合器连接；
[0016]所述特殊气体混合器包括混合输入管路，与混合输入管路连接的缓冲罐BT，与缓冲罐BT连接的混合输出管路；所述混合输入管路上依次串行设置有压力传感器PT1M、混合气体比例分析仪MIX1M、手动阀门MV1M、手动阀门MV2M；
[0017]所述混合输出管路上依次串行设置有手动阀门MV3M、混合气体比例分析仪MIX2M、电子流量计MFM1M、气动阀门AV1M、手动阀门MV5M。
[0018]于本专利技术的一实施例中，所述A气体输入管路包括A气体串行输入管路和A气体并行输入管路；
[0019]所述A气体串行输入管路上依次串行设置有手动阀门MV1H、单向阀门CV1H、调压阀门PRV1H以及压力传感器PT1H；所述A气体并行输入管路上依次并行设置有手动阀门MV2和手动阀门MV3、电子流量计MFC1H和电子流量计MFC2H、气动阀门AV1H和气动阀门AV2H、手动阀门MV4H和手动阀门MV5H。
[0020]于本专利技术的一实施例中，所述B气体输入管路包括B气体串行输入管路和B气体并行输入管路；
[0021]所述B气体串行输入管路上依次串行设置有手动阀门MV1A、单向阀门CV1A、调压阀门PRV1A以及压力传感器PT1A；所述B气体并行输入管路上依次并行设置有手动阀门MV4和手动阀门MV5、电子流量计MFC1A和电子流量计MFC2A、气动阀门AV1A和气动阀门AV2A、手动阀门MV4A和手动阀门MV5A。
[0022]于本专利技术的一实施例中，所述标定气体管路包括第一标定气体管路和第二标定气体管路；所述第一标定气体管路上依次串行设置有手动阀门MV1Z、调压阀门PRV1Z、单向阀门CV1Z、多向阀门MV3C，所述第一标定气体管路上依次并行设置有单向阀门CV1C和单向阀门CV2C、手动阀门MV1C和手动阀门MV2C；所述第二标定气体管路上依次串行设置有手动阀门MV1S、调压阀门PRV1S、单向阀门CV1S、多向阀门MV3S，所述多向阀门MV3S分别与单向阀门CV1C和单向阀门CV2C连接。
[0023]于本专利技术的一实施例中，所述手动阀门MV1C与混合气体比例分析仪MIX1M连接，所述手动阀门MV2C与混合气体比例分析仪MIX2M连接。
[0024]如上所述，本专利技术的一种精准比例混合气体供应设备，具有以下有益效果：本专利技术将两种原始气体通过流量计控制初步按比例混合后进入缓冲罐BT进一步缓冲混合，直到混合气体比例分析仪MIX1M和混合气体比例分析仪MIX2M都满足条件后再从特殊气体输出管路输出，使用原气进行混合比例，可以大大缩减购买混合气钢瓶和气柜的成品，并且可以根
据实际使用需求进行流量控制，满足大量使用需求，减少气体使用成本，从而达到利润最大化。
附图说明
[0025]图1显示为现有技术中公开的混合气体供应设备的结构示意图。
[0026]图2显示为本专利技术实施例中公开的混合气体供应设备的结构示意图。
[0027]图3显示为本专利技术实施例中公开的特殊气体管路的结构示意图。
[0028]图4显示为本专利技术实施例中公开的吹扫气体管路的结构示意图。
[0029]图5显示为本专利技术实施例中公开的标定气体管路的结构示意图。
具体实施方式
[0030]以下通过特定的具体实例说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点与功效。本发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精准比例混合气体供应设备，其特征在于：包括特殊气体管路，与特殊气体管路连接的吹扫气体管路和标定气体管路；所述特殊气体管路包括A气体输入管路和B气体输入管路，与A气体输入管路和B气体输入管路连接的特殊气体混合器，与特殊气体混合器连接的特殊气体输出管路；所述标定气体管路与特殊气体混合器连接；所述特殊气体混合器包括混合输入管路，与混合输入管路连接的缓冲罐BT，与缓冲罐BT连接的混合输出管路；所述混合输入管路上依次串行设置有压力传感器PT1M、混合气体比例分析仪MIX1M、手动阀门MV1M、手动阀门MV2M；所述混合输出管路上依次串行设置有手动阀门MV3M、混合气体比例分析仪MIX2M、电子流量计MFM1M、气动阀门AV1M、手动阀门MV5M。2.根据权利要求1所述的一种精准比例混合气体供应设备，其特征在于：所述A气体输入管路包括A气体串行输入管路和A气体并行输入管路；所述A气体串行输入管路上依次串行设置有手动阀门MV1H、单向阀门CV1H、调压阀门PRV1H以及压力传感器PT1H；所述A气体并行输入管路上依次并行设置有手动阀门MV2和手动阀门MV3、电子流量计MFC1H和电子流量计MFC2H、气动阀门AV1H和气动阀门AV2H、手动阀门MV4H和手动阀门MV5H。3.根据权利要求2所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄金海，
申请(专利权)人：上海弗川自动化技术有限公司，
类型：发明
国别省市：