一种晶圆干燥摆动机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆干燥摆动机构，其结构包括摆动平台、支撑在摆动平台下端中部的支撑部、驱动摆动平台相对支撑部上下摆动的驱动单元；驱动单元包括电机、驱动轮、联动杆、导向装置、驱动杆，驱动轮一侧设有传动轴，驱动轮另外一侧设有偏心轴，电机与传动轴同轴连接，联动杆的一端与偏心轴活动连接，联动杆的另外一端活动连接驱动杆一端，驱动杆一侧设有限制驱动杆直线运动的导向装置；驱动杆另外一端传动连接到摆动平台的一端上部。本实用新型专利技术通过机械摆动方式破坏水分子与高深宽比的空隙之间的表面张力，反向使空乏区的水分不断被析出，提升干燥效果。提升干燥效果。提升干燥效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆干燥摆动机构


[0001]本技术涉及半导体处理设备领域，具体涉及一种晶圆干燥摆动机构。

技术介绍

[0002]在晶圆湿法清洗工艺中，晶圆干燥作为清洗工艺的收尾工作，需要确保有效移除晶圆表面残余水分子以及控制表面清洁度，在干燥过程中，由于晶圆表面具有图案，导致晶圆表面可能存在水分吸附于高深宽比的空隙，导致水分子可能回流到图案底下的空乏区，在干燥过程中晶圆表面干燥，但是空乏区内仍然会沉积水分，导致干燥效果不理想。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种晶圆干燥摆动机构，通过机械摆动方式破坏水分子与高深宽比的空隙之间的表面张力，反向使空乏区的水分不断被析出，提升干燥效果。
[0004]本技术的技术目的是通过以下技术方案实现的：
[0005]一种晶圆干燥摆动机构，其结构包括摆动平台、支撑在摆动平台下端中部的支撑部、驱动摆动平台相对支撑部上下摆动的驱动单元；驱动单元包括电机、驱动轮、联动杆、导向装置、驱动杆，驱动轮一侧设有传动轴，驱动轮另外一侧设有偏心轴，电机与传动轴同轴连接，联动杆的一端与偏心轴活动连接，联动杆的另外一端活动连接驱动杆一端，驱动杆一侧设有限制驱动杆直线运动的导向装置；驱动杆另外一端传动连接到摆动平台的一端上部。
[0006]进一步地，摆动平台上端还设有晶圆盒。
[0007]进一步地，摆动平台上端设有晶圆盒安装槽，晶圆盒活动嵌入晶圆盒安装槽内。
[0008]进一步地，电机安装在电机安装座上；电机导向装置包括导向导轨、导向板，导向导轨固定在电机安装座上，导向板配合导向导轨安装，导向板可相对导向导轨上下滑动；联动杆一端活动连接到导向板；驱动杆的一端与导向板固定连接，驱动杆的另外一端与摆动平台活动连接。
[0009]进一步地，驱动杆包括第一驱动杆、与第一驱动杆平行设置的第二驱动杆、连接板，第一驱动杆的下端固定连接导向板，第一驱动杆的上端垂直固定在连接板下端一侧，第二驱动杆的上端垂直固定在连接板下端另外一侧，第二驱动杆的下端活动连接摆动平台一端的上部。
[0010]进一步地，驱动杆与摆动平台通过球形轴连接。
[0011]进一步地，晶圆盒安装槽底部设有排液孔，保证干燥过程中液体可以从晶圆盒底部流走，避免晶圆盒底部存在液体存集，提升干燥效果。
[0012]进一步地，支撑部包括开口轴承、支撑座，开口轴承的外圈固定在支撑座上端，开口轴承的内圈与摆动平台下端面中部连接固定。
[0013]进一步地，导向板的一侧设有夹持部，第一驱动杆的下端通过夹持部夹持固定在
导向板一侧。
[0014]进一步地，导向板一侧还设有用以监测摆动平台运动状态的监测装置，通过监测装置对导向板的运动状态进行监测，进而可以得出摆动平台的运动状态。
[0015]相比与现有技术，本技术的有益效果在于：
[0016]本技术通过驱动单元驱动摆动平台相对支撑部机械旋转，通过机械旋转的方式破坏晶圆表面水分子与高深宽比的空隙之间的表面张力，反向使空乏区的水分不断被析出，提升干燥效果。
附图说明
[0017]图1是本技术的晶圆干燥摆动机构结构示意图。
[0018]图2是本技术中的驱动单元局部示意图
[0019]图3是本技术中的摆动平台结构示意图。
[0020]图4是本技术中的晶圆盒取下示意图。
[0021]图5是本技术中的监测装置安装示意图。
[0022]图中，1、摆动平台；2、支撑部；3、电机；4、驱动轮；5、联动杆；6、导向装置；7、驱动杆；8、晶圆盒安装槽；9、晶圆盒；10、排液孔；11、电机安装座；12、夹持部；13、球形轴；14、侦测片；15、传感器；21、开口轴承；22、支撑座；61、导向导轨；62、导向板；63、滑块；71、第一驱动杆；72、第二驱动杆；73、连接板。
具体实施方式
[0023]下面结合具体实施方式对本技术的技术方案进行进一步描述：
[0024]一种晶圆干燥摆动机构，如图1
‑
5所示，包括摆动平台1、支撑在摆动平台下端中部的支撑部2、驱动摆动平台1相对支撑部2上下摆动的驱动单元；驱动单元包括电机3、驱动轮4、联动杆5、导向装置6、驱动杆7，驱动轮4的一侧设有传动轴，驱动轮4另外一侧设有偏心轴，电机3与传动轴同轴连接，联动杆的一端与偏心轴活动连接，联动杆5的另外一端活动连接驱动杆7的一端，驱动杆7的一侧设有限制驱动杆直线运动的导向装置6；驱动杆7的另外一端传动连接到摆动平台1的一端上部。
[0025]具体地，在摆动平台1上端设有晶圆盒安装槽8，将晶圆盒9嵌入晶圆盒安装槽8中，在晶圆盒安装槽9的底部设有排液孔10，干燥过程中，晶圆表面的液体向下流动，从排液孔10流走，另外摆动平台1在摆动过程中，气流从排液孔10流过，加速了晶圆的干燥。
[0026]工作时，将电机3安装在电机安装座11上，电机安装座11如板结构，将电机3固定在板上；导向装置6如图2所示，包括导向导轨61、导向板62，将导向导轨61固定在电机安装座11的一侧，然后导向板62配合导向导轨61安装。具体地在导向板62靠近导向导轨61的一侧设置滑块63，滑块63与导向板62连接固定；联动杆5的一端通过销轴配合轴承与导向板62连接；驱动杆7的一端则通过夹持部12夹持在导向板62的另外一侧。
[0027]工作过程中，电机3转动驱动轮4进而带动联动杆5运动，联动杆5在偏心轴的作用下推动导向板62沿导向导轨61上下直线运动，在导向板62的作用下驱动杆7实现上下移动。
[0028]更近一步地，电机3设置在摆动平台1的下方，减少对摆动平台1上方空间的占用，因此驱动杆7又进一步分为第一驱动杆71、与第一驱动杆71平行设置的第二驱动杆72、连接
板73，第一驱动杆71的下端通过夹持部12固定连接导向板62，第一驱动杆71的上端垂直固定在连接板73下端一侧，第二驱动杆72的上端垂直固定在连接板73下端另外一侧，第二驱动杆72的下端通过球形轴13活动连接摆动平台1一端的上部。夹持部12如夹箍、两个相对设置的夹持块等，通过夹持的方式将驱动杆71与导向板62连接。
[0029]支撑部2包括开口轴承21、支撑座22，开口轴承21的外圈固定在支撑座22上端，开口轴承21的内圈与摆动平台1下端面中部连接固定，在驱动杆7的作用下摆动平台2沿支撑部2旋转，如跷跷板运动形式。
[0030]作为更近一步地的方案，在导向板62的一侧还设有用以监测摆动平台1运动状态的监测装置，监测装置包括侦测片14、传感器15，侦测片14安装固定在导向板62的侧面，传感器15安装在电机安装座11上，侦测片14伴随导向板62上下直线移动过程中经过传感器15，侦测片14被传感器15检测到，传感器如光电传感器，通过对侦测片14所在的导向板62的运动状态进行监测，可以得到摆动平台1的运动状态。
[0031]本实施例只是对本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆干燥摆动机构，其特征在于，其结构包括摆动平台、支撑在摆动平台下端中部的支撑部、驱动摆动平台相对支撑部上下摆动的驱动单元；所述驱动单元包括电机、驱动轮、联动杆、导向装置、驱动杆，所述驱动轮一侧设有传动轴，所述驱动轮另外一侧设有偏心轴，所述电机与传动轴同轴连接，所述联动杆的一端与偏心轴活动连接，所述联动杆的另外一端活动连接驱动杆一端，所述驱动杆一侧设有限制驱动杆直线运动的导向装置；所述驱动杆另外一端传动连接到摆动平台的一端上部。2.根据权利要求1所述的一种晶圆干燥摆动机构，其特征在于，所述摆动平台上端还设有晶圆盒。3.根据权利要求2所述的一种晶圆干燥摆动机构，其特征在于，所述摆动平台上端设有晶圆盒安装槽，所述晶圆盒活动嵌入晶圆盒安装槽内。4.根据权利要求1
‑
3任意一项所述的一种晶圆干燥摆动机构，其特征在于，所述电机安装在电机安装座上；所述电机导向装置包括导向导轨、导向板，所述导向导轨固定在电机安装座上，所述导向板配合导向导轨安装，导向板可相对导向导轨上下滑动；所述联动杆一端活动连接到导向板；所述驱动杆的一端与导向板固定连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓信甫，唐宝国，张九勤，刘大威，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：