监视一种工业设备运行状态的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于监视一工业设备３运行状态的装置，该设备３包括功能部件５，所述装置１包括检测设备３运行状态的检测器Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｊ］的组Ｇ↓［１］，Ｇ↓［２］，…Ｇ↓［ｎ］，每一组检测器负责监视一特定方面，还包括一显示单元１１，该单元包括传输由所述检测器Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｊ］接收到的运行状态的装置１３。该装置包括布置在所述检测器Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｊ］和显示单元１１之间用于处理由所述检测器Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｊ］接收到的运行状态并控制在所述的显示单元１１上有选择地显示预定的检测器Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｊ］的组Ｇ↓［１］，Ｇ↓［２］…Ｇ↓［ｎ］的整体运行状态信息的装置１５。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于监视一工业设备的运行状态的一装置和一方法，该设备特别是指一用于向微电子工业中的电路制造提供气体的设备。微电子电路的制造需要使用各种所谓的“工作”气体，比如Cl2,NH3,HCl,HBr,NF3或WF6等，其中的大部分由于具有毒性和/或可燃性，对人类是有害的。这些气体由一整套设备向用户工作站比如微电子电路的制造工厂提供，用于向这些工作站提供气体的设备包括对于每一种气体都有至少一提供气体的装置，也称为“气体柜”，还可能有一用于配给来自于一供给装置的该气体进而可以同时向多个制造厂提供该气体的装置。由于所使用的气体具有毒性，监视这样一供给设备的运行状态是必要的。具体地说，在出现设备故障的情况下，快速识别故障性质和位置，在故障尚未导致材料损失甚至人员伤亡之前采取必要的防范措施。这就是为什么这样的设备要装备有一监视其运行状态的装置，该装置一方面包括检测设备的运行状态的检测器组特别是检测每一个用于供给和配给气体的工作站，每一组检测器负责监视一特定的方面，比如监视气体泄漏或监视一特定工作站的运行状态，另一方面包括一显示单元，此显示单元包括运行状态的信息通信装置以便可以负责发出警报。本专利技术的目的是提供一种监视装置，它可以呈现一工业设备的运行状态，而且同时可以有效地识别任何设备故障或检测出的警报。为达到此目的，本专利技术提供了一种用于监视一工业设备特别是用于为微电子工业中的电路制造提供气体的整套设备的运行状态的装置，所述的设备包括功能部件，所述装置包括检测每一个功能部件的运行状态的检测器组，每一组检测器负责检测需要被监视的一特定方面，比如监视气体的泄漏或监视一功能部件的运行状态，还包括一显示单元，该显示单元包括由所述检测器接收到的运行状态的信息通信装置，其特征为它包括布置在所述检测器和显示单元之间的、用于处理由所述检测器接收到的运行状态并控制在所述的显示单元上有选择地显示预定的检测器组的整体的运行状态信息的装置。本专利技术的监视装置还可以具有一个或多个下述特征-用于处理和控制有选择的显示的装置包括一操作者指令输入单元，通过它，一操作者可以将操作指令输入，还包括布置图记忆存储装置，这些布置图中的每一个描绘了该设备的功能部件的布局的至少一部分，这些布置图在操作者的控制下由所述显示单元与至少一项信息一起显示出来，该项信息在所显示的布置图上指明至少一由至少一预定组的一检测器接收到的故障的地理位置，-所述布置图具有各不相同的详细程度，用于处理和控制有选择的显示的装置包括在操作者的控制下用于选择布置图从一种详细程度移动到另一种详细程度的装置，-具有最高详细程度的布置图的每一个均以概要图的形式描绘一基本实体，特别是一个用于供给或配给气体的工作站，并且通信装置包括在这些具有最高详细程度的布置图上显示由该基本实体的检测器接收到的并表示了该实体的运行状态的测量值的装置，-所述布置图包括一总体布置图，该布置图具有最低的详细程度并描绘了整个设备的全部，该总体布置图被永久地显示，同时由所述显示单元显示具有较高一级的详细程度的布置图，通信装置包括在该总体布置图上显示一项信息的装置，该项信息是有关同时在另一概要图中以较高一级的详细程度描绘出的设备的那一部分的位置。-用于处理和控制有选择的显示的装置包括编码装置，该装置将运行状态编码以便所述信息可以以编码的形式显示出。-编码装置所使用的编码是一种三色编码，其中一种颜色代表正常运行，一种颜色代表轻度故障，还有一种颜色代表严重故障。本专利技术还提供了一种用于监视一工业设备运行的方法，该设备特别是一为微电子工业中的电路制造提供气体的设备，所述设备包括功能部件，其特征为该方法包括以下步骤-检测功能部件的操作状态，-形成检测操作状态的检测组，每一组负责检测一特定的方面，比如监视气体的泄漏或监视一特定工作站的运行状态，和-在一显示单元上显示出所述组的全部的运行状态。本专利技术的监视方法还可以包括一个或多个下述特性；-该方法还包括在操作者的控制下在所述显示单元上显示一布置图的步骤，该布置图描绘了该设备的功能部件的布局的至少一部分，同时显示至少一项信息，该信息指明在所显示的布置图上至少一所检测出的故障的地理位置，-所述布置图具有各不相同的详细程度，并且本专利技术方法还包括在操作者的控制下选择一布置图以便从一种详细程度移动到另一种详细程度的步骤，-所述具有最高的详细程度的布置图的每一个均以一概要图的形式描绘了一基本实体，特别是一供给或配给气体的工作站，该方法包括在这些具有最高的详细程度的布置图上显示代表了所检测到的运行状态的特征的测量值的步骤，-所述布置图包括一总体布置图，该布置图具有最低的详细程度并描绘了该设备的全部，该方法包括在所述显示单元上永久地显示该总体布置图并同时显示具有较高一级的详细程度的布置图的步骤，并且在该总体布置图上显示一项信息，该项信息是有关同时在另一概要图中以较高一级的详细程度描绘出的设备的那一部分的位置。-该方法包括编码运行状态并以编码形式显示运行状态的步骤，-所使用的编码是一种三色编码，其中一种颜色代表正常运行，一种颜色代表轻度故障，还有一种颜色代表严重故障。从下面的参照附图对一非限定的实施例的描述中将看出本专利技术的其它特性和优点，附图包括附图说明图1是本专利技术的用于监视一工业设备的运行状态的装置的一概要图，图2示出了由图1所示的监视装置的显示单元所显示的一图象，详细示出了两个布置图，一个对应于最低的详细程度，另一个对应于其上一级的详细程度，和图3示出了在图1所示的监视装置的显示单元上显示的一图象，详细示出了两个布置图，一个对应于最低的详细程度，另一个对应于最高的详细程度。图1是装置1的一概要图，该装置1用于监视一工业设备3的运行状态，该工业设备3比如是一用于为微电子工业中的电路制造提供气体的设备。装置3包括功能部件5，比如简要示出的工作站P1,P2,…Po(O可以是任一自然数)。这些工作站P1,P2,…Po是用于供给气体的工作站，也称为“气体柜”，或用于配给来自其中一个供给站气体的工作站。使用气体配给工作站可以实现只从一个气体供给工作站同时向多个用户工作站(未示出)提供气体。假定这些气体供给和配给工作站对本领域的技术人员是已知的，以下不对其进行详细描述。为监视设备3的运行状态，装置1包括检测器组G1,G2,G3,…Gn(n可以是任一自然数)。不同的各组检测器以带有下标的大写字母D来表示，下标中的第一个数字对应于组的号码，第二个数字对应于该组中的检测器的号码。因此，检测器Di,j表示组号为i的第j个检测器(i,j及在图1中出现的k,l,m,p可以是任一自然数)。G1,G2,G3,…Gn中的每一组涉及被检测的工业设备3的一特定方面。例如，检测器中的组G1包括气体泄漏检测器D1,1至D1,k。这些检测器D1,1至D1,k被安装在设备3中的适当位置上，比如安装在安装气体供给和配给站P1,P2,…Po的空间内。检测器中的组G2包括传感器D2,1至D2,1，这些传感器用于测量气体供给和配给站P1,P2,…Po的气体流动管路中的压力，以便监视每一工作站的运行状态。检测器中的组G3包括安装在设备3的适当位置处的火警检测器D3,1至D3,m。另外，装置1还包括一显示单元11，该单元11包括由检测器本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于监视一工业设备（３）特别是用于为微电子工业中的电路制造提供气体的设备运行状态的装置，所述设备包括功能部件（５），所述装置（１）包括检测每一个功能部件（５）的运行状态的检测器（Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｐ］）的组（Ｇ↓［１］，Ｇ↓［２］，…Ｇ↓［ｎ］），每一组检测器（Ｇ↓［１］，Ｇ↓［２］，…Ｇ↓［ｎ］）负责检测需要被监视的一特定方面，比如监视气体的泄漏或监视一功能部件（５）的运行状态，还包括一显示单元（１１），该显示单元包括由所述检测器（Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｐ］）接收到的运行状态的信息通信装置（１３），其特征在于：它包括布置在所述检测器（Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｐ］）和显示单元（１１）之间的、用于处理由所述检测器（Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｐ］）接收到的运行状态并控制在所述的显示单元（１１）上有选择地显示预定的检测器（Ｄ↓［１，１］，…Ｄ↓［ｎ，ｐ］）的组（Ｇ↓［１］，Ｇ↓［２］，…Ｇ↓［ｎ］）的整体的运行状态信息的装置（１５）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安德列沙旺，
申请(专利权)人：阿尔卑斯自动化系统公司，
类型：发明
国别省市：FR[法国]