一种ITO靶材的圆角加工方法技术

本发明专利技术公开了一种ITO靶材的圆角加工方法，旨在降低夹紧靶材时的操作难度，其技术方案：涉及磨床、电磁吸盘以及夹紧组件，所述电磁吸盘设置在磨床上；所述夹紧组件包括2个夹块，2个所述夹块相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块可被电磁吸盘吸紧；2个所述夹块均连接有一弹性装置；包括如下步骤：将靶材插入夹紧空间，夹紧空间被撑开，弹性装置驱动夹块复位夹紧靶材；开启电磁吸盘，电磁吸盘吸紧2个夹块；开启磨床，磨床的砂轮打磨靶材的顶侧；打磨完靶材后，关闭磨床、电磁吸盘，取下靶材，属于靶材加工技术领域。于靶材加工技术领域。于靶材加工技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种ITO靶材的圆角加工方法


[0001]本专利技术属于靶材加工
，更具体而言，涉及一种ITO靶材的圆角加工方法。

技术介绍

[0002]靶材在生产的过程中，会经过磨边工序以使靶材符合生产要求；磨边工序，即对靶材的侧边进行打磨，一般是通过CNC或磨床实现。
[0003]在进行磨边工序的时候，需要通过夹具夹紧靶材，使靶材竖直布置，再由CNC或磨床的砂轮对靶材的顶边进行打磨；打磨时，可对靶材的侧面进行打磨，或对靶材的侧面的边缘磨成圆角。
[0004]其中，现有夹具的结构如技术专利公开号CN203171428U公开的平面靶材磨边倒角组装式夹具，包括第一夹块和第二夹块，所述第一夹块上设置有第一竖向夹持面，所述第二夹块上设置有可与第一竖向夹持面相配合的第二竖向夹持面，所述第一夹块上设置有第一斜向夹持面，所述第二夹块上设置有可与第一斜向夹持面相配合的第二斜向夹持面。
[0005]根据其说明书及附图可知，在实现靶材的磨边工序时，将线切割好的靶材用第一夹块和第二夹块的两个竖向夹持面垂直夹紧固定在平面磨床的磁力工作台上，通过磁力将夹具和靶材平稳固定在磨床工作台上，用砂轮进行磨边加工。
[0006]上述靶材的磨边过程中，需要工作人员手扶靶材以使靶材竖直，再操作第一夹块、第二夹块夹紧靶材，最后再开启电磁吸盘；在此过程中，需要时刻保证第一夹块、第二夹块是夹紧靶材的，要不然靶材容易歪斜、倾倒，影响夹紧工作的进行；而保证靶材被第一夹块、第二夹块夹紧的同时开启电磁吸盘的这个操作过程，难度较大。
专利技术内容
[0007]本专利技术的主要目的在于提供一种ITO靶材的圆角加工方法，旨在降低夹紧靶材时的操作难度。
[0008]根据本专利技术的第一方面，提供了一种ITO靶材的圆角加工方法，涉及磨床、电磁吸盘以及夹紧组件，所述电磁吸盘设置在磨床上；所述夹紧组件包括2个夹块，2个所述夹块相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块可被电磁吸盘吸紧；
[0009]2个所述夹块均连接有一弹性装置，当夹紧空间被撑开，弹性装置使夹块有复位的趋势；
[0010]包括如下步骤：
[0011]将靶材插入夹紧空间，夹紧空间被撑开，弹性装置驱动夹块复位夹紧靶材；
[0012]开启电磁吸盘，电磁吸盘吸紧2个夹块；
[0013]开启磨床，磨床的砂轮打磨靶材的顶侧；其中，所述砂轮包括第一磨削台、设置在第一磨削台上的第二磨削台，所述第一磨削台、第二磨削台均为柱形且同轴心布置，所述第一磨削台的直径大于第二磨削台的直径；所述第一磨削台、第二磨削台通过圆角结构以圆滑过渡的方式连接；砂轮的圆角结构打磨靶材的顶侧的边缘；
[0014]打磨完靶材后，关闭磨床、电磁吸盘，取下靶材。
[0015]本专利技术一个特定的实施例中，所述弹性装置为气弹簧，其设置在夹块的远离夹紧空间的一侧。
[0016]本专利技术一个特定的实施例中，所述电磁吸盘上还设有第一槽体，第一槽体用于导向夹块移动。
[0017]本专利技术一个特定的实施例中，所述电磁吸盘上还设有第二槽体，第二槽体垂直于第一槽体布置；
[0018]还包括限位块，所述限位块可被电磁吸盘吸紧；
[0019]靶材插入夹紧空间时，靶材的底部与第二槽体配合，限位块放置在第二槽体内且抵紧靶材的侧边。
[0020]本专利技术一个特定的实施例中，夹块上还设有缓冲垫，缓冲垫位于夹块的靠近夹紧空间的一侧。
[0021]本专利技术一个特定的实施例中，所述第一磨削台为2个，其分别与第二磨削台的两端连接。
[0022]本专利技术一个特定的实施例中，砂轮打磨靶材前进行对刀操作；对刀时，靶材的侧面上放置一第一定位板，第一磨削台的内侧以第一定位板的远离靶材的一侧为基准侧；靶材的顶面放置一第二定位板，第二磨削台的底部以第二定位板的远离靶材的一侧基准侧。
[0023]本专利技术上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：
[0024]在本专利技术中，将靶材插入夹紧空间后，靶材撑开夹紧空间，弹性装置驱动夹块复位即可夹紧靶材，无需工作人员手动操作夹块夹紧靶材，靶材被夹紧后也不会倾倒、歪斜；此时，工作人员可以去开启电磁吸盘，有效地降低了夹紧靶材时的操作难度。
附图说明
[0025]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步地说明；
[0026]图1是本专利技术的实施例1的流程图；
[0027]图2是本专利技术的实施例1的去掉砂轮的结构图；
[0028]图3是本专利技术的实施例1的结构图；
[0029]图4是本专利技术的实施例1的砂轮对刀时的示意图；
[0030]图5是本专利技术的实施例1的砂轮对刀时的另一个示意图。
具体实施方式
[0031]下面详细描述本专利技术的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0032]实施例1
[0033]参照图1至图5所示，一种ITO靶材的圆角加工方法，涉及磨床、电磁吸盘1以及夹紧组件，所述电磁吸盘1设置在磨床上；所述夹紧组件包括2个夹块2，2个所述夹块2相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块2可被电磁吸盘1吸紧，即，夹块2为可被磁吸的金属材质；
[0034]2个所述夹块2均连接有一弹性装置3，当夹紧空间被撑开，弹性装置3使夹块2有复位的趋势；
[0035]包括如下步骤：
[0036]步骤1：将靶材A插入夹紧空间，夹紧空间被撑开，弹性装置3驱动夹块2复位夹紧靶材A；
[0037]步骤2：开启电磁吸盘1，电磁吸盘1吸紧2个夹块2；
[0038]步骤3：开启磨床，磨床的砂轮4打磨靶材A的顶侧；
[0039]其中，所述砂轮4包括第一磨削台41、设置在第一磨削台41上的第二磨削台42，所述第一磨削台41、第二磨削台42均为柱形且同轴心布置，所述第一磨削台41的直径大于第二磨削台42的直径；所述第一磨削台41、第二磨削台42通过圆角结构43以圆滑过渡的方式连接；
[0040]砂轮4的圆角结构43打磨靶材A的顶侧的边缘以实现靶材A的圆角加工；
[0041]具体来说，砂轮4打磨靶材A前进行对刀操作；对刀时，靶材A的侧面上放置一第一定位板a，第一磨削台41的内侧以第一定位板a的远离靶材A的一侧为基准侧；靶材A的顶面放置一第二定位板b，第二磨削台42的底部以第二定位板b的远离靶材A的一侧基准侧；可避免砂轮4除圆角结构43外的其它部位接触到靶材A，避免因砂轮4的加工质量问题影响靶材A的表面质量。
[0042]步骤4：打磨完靶材A后，关闭磨床、电磁吸盘1，取下靶材A。
[0043]在实际应用中，步骤的顺序可根据实际生产所需进行调整，本实施例对此不做限制；本实施例所述的步骤顺序只为具体实现方式的一种。
[0044]在本实施例中，将靶材A插入夹紧空间后，靶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ITO靶材的圆角加工方法，其特征在于，涉及磨床、电磁吸盘(1)以及夹紧组件，所述电磁吸盘(1)设置在磨床上；所述夹紧组件包括2个夹块(2)，2个所述夹块(2)相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块(2)可被电磁吸盘(1)吸紧；2个所述夹块(2)均连接有一弹性装置(3)，当夹紧空间被撑开，弹性装置(3)使夹块(2)有复位的趋势；包括如下步骤：将靶材(A)插入夹紧空间，夹紧空间被撑开，弹性装置(3)驱动夹块(2)复位夹紧靶材(A)；开启电磁吸盘(1)，电磁吸盘(1)吸紧2个夹块(2)；开启磨床，磨床的砂轮(4)打磨靶材(A)的顶侧；其中，所述砂轮(4)包括第一磨削台(41)、设置在第一磨削台(41)上的第二磨削台(42)，所述第一磨削台(41)、第二磨削台(42)均为柱形且同轴心布置，所述第一磨削台(41)的直径大于第二磨削台(42)的直径；所述第一磨削台(41)、第二磨削台(42)通过圆角结构(43)以圆滑过渡的方式连接；砂轮(4)的圆角结构(43)打磨靶材(A)的顶侧的边缘；打磨完靶材(A)后，关闭磨床、电磁吸盘(1)，取下靶材(A)。2.根据权利要求1所述的ITO靶材的圆角加工方法，其特征在于，所述弹性装置(3)为气弹簧，其设置在夹块(2)的远离夹紧空间的一侧。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王梓通，裴炜炀，余芳，李伦圭，康洙男，刘毅华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：