利用SOI光学波导的可拆卸光学无线收发装置制造方法及图纸

一种可拆卸光学无线电收发装置，包含一光学装置、一硅覆绝缘层（ＳＯＩ，Ｓｉｌｉｃｏｎ　Ｏｎ　Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）光学波导及一硅床，其上表面设有一Ｕ形槽用以承接该光学装置，该ＳＯＩ光学波导使其光程对正，该ＳＯＩ光学波导包含一硅基板、一单晶硅层其上表面设有波导部分，及一硅土薄层介于该硅激板及该单晶硅层之间，以避免光通过该波导部分扩散，该硅床设有一Ｖ形槽沿该硅床纵向延伸并承接引脚，该引脚连接该硅床至一外部连接端。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种利用ＳＯＩ光学波导的可拆卸光学无线电收发装置，其特征为：其包含数个光学装置： 一硅覆绝缘层（ＳＯＩ）光学波导，其包含有： 一硅基板； 一单晶硅层，其上表面设有一波导部分； 一硅土薄层，其介于该硅基板及该单晶硅层之间，以避免光进入该波导部分而扩散；及 一硅床，其上表面设有数个Ｕ形槽，用以承接该数个光学装置及ＳＯＩ光学波导使其光程对准。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高汉俊，崔珉镐，金道热，
申请(专利权)人：ATI有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]