布气板组件以及PECVD设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种布气板组件以及PECVD设备。所述布气板组件包括相互层叠的多个布气板，每两个相邻的布气板之间通过隔离柱组分离，所述隔离柱组中的隔离柱直径从中心区域向边缘区域逐步增大。本实用新型专利技术可有效减轻布气板变形及对应的寄生等离子体。板变形及对应的寄生等离子体。板变形及对应的寄生等离子体。

【技术实现步骤摘要】
布气板组件以及PECVD设备


[0001]本技术涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及布气板组件以及PECVD设备。

技术介绍

[0002]薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称HIT或HJT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，其结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。
[0003]异质结太阳能电池制造过程中将会用到诸如等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备，在PECVD设备中沉积形成异质结太阳能电池的核心发电层非晶硅/微晶硅层。随着异质结太阳能电池尺寸的不断增大，PECVD设备反应腔的覆膜面积也随之变大，所述气体喷淋头上用于将反应气体进行均匀排布的、较薄的布气板也要变大，相邻布气板之间的间距依旧较窄，布气板变形严重时会产生相邻的布气板接触，使得电位发生变化，从而产生寄生等离子体。
[0004]因此，如何提供一种布气板组件以及PECVD设备能减轻布气板变形及对应的寄生等离子体，已成为业内亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的上述问题，本技术提出了一种布气板组件，包括相互层叠的多个布气板，每两个相邻的布气板之间通过隔离柱组分离，所述隔离柱组中的隔离柱直径从中心区域向边缘区域逐步增大。
[0006]在一实施例中，所述隔离柱组中的隔离柱从中心向边缘以同心圆或同心正方形的方式排布。
[0007]在一实施例中，所述中心隔离柱的直径为4毫米，所述四个同心正方形中的隔离柱的直径分别为6毫米、8毫米、10毫米以及12毫米。
[0008]在一实施例中，所述多个布气板的长度范围为150
‑
200厘米，宽度范围为150
‑
200厘米，厚度范围为0.3
‑
1厘米。
[0009]在一实施例中，所述多个布气板上的布气孔上下错开。
[0010]在一实施例中，所述布气板组件包括层叠的四个不锈钢布气板。
[0011]本技术还提供一种PECVD设备，包括气体喷淋头，所述气体喷淋头包括如上任一项所述的布气板组件。
[0012]本技术的布气板组件包括相互层叠的多个布气板，每两个相邻的布气板之间通过隔离柱组分离，所述隔离柱组中的隔离柱直径从中心区域向边缘区域逐步增大。本技术可有效减轻布气板变形及对应的寄生等离子体。
附图说明
[0013]在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本技术的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
[0014]图1为本技术的布气板组件的侧视组成结构示意图。
[0015]图2为图1中的隔离柱组12中的隔离柱在布气板10上的排布示意图。
具体实施方案
[0016]以下结合附图和具体实施例对本技术作详细描述，以便更清楚理解本技术的目的、特点和优点。应理解的是，以下结合附图和具体实施例描述的诸方面仅是示例性的，而不应被理解为对本技术的保护范围进行任何限制。除非上下文明确地另外指明，否则单数形式“一”和“所述”包括复数指代物。
[0017]以下将结合附图所示的具体实施例对本技术进行详细描述。值得说明的是，下文所记载的实施例并不限制本技术，本领域的普通技术人员根据这些实施例所做出的结构或功能上的变换均包含在本技术的保护范围内。
[0018]参见图1，其显示了本技术的布气板组件的侧视组成结构。如图1所示，布气板组件1包括相互层叠的多个布气板10，每两个相邻的布气板10之间通过隔离柱组12分离，所述隔离柱组12中的隔离柱直径从中心区域向边缘区域逐步增大。在图1所示的实施例中，所述布气板组件1包括层叠的四个不锈钢布气板10。
[0019]参见图2，其为所述隔离柱组12中的隔离柱在布气板10上的排布示意图。所述隔离柱组12中的隔离柱从中心向边缘以同心正方形的方式排布。在其他实施例中，所述隔离柱组12中的隔离柱从中心向边缘可以同心圆的方式排布。
[0020]如图2所示，所述隔离柱组12中的隔离柱从中心向边缘以中心隔离柱128以及围绕所述中心隔离柱128的四个同心正方形12A、12B、12C、12D的方式排布。所述中心隔离柱128的直径为4毫米，所述四个同心正方形12A、12B、12C、12D中的隔离柱的直径分别为6毫米、8毫米、10毫米以及12毫米。
[0021]为简化图示，图1中仅示出了最外侧正方形12D以及次外侧正方形12C中的隔离柱，最外侧正方形12D隔离柱在图1中用实线表示，次外侧正方形12C中的隔离柱用虚线表示。
[0022]所述多个布气板10的长度范围为150
‑
200厘米，宽度范围为150
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200厘米，厚度范围为0.3
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1厘米。所述多个布气板10上的布气孔(未图示)上下错开。
[0023]本技术还提供一种PECVD设备，PECVD设备包括气体喷淋头，所述气体喷淋头包括如图1所示的布气板组件1。
[0024]本技术的布气板组件包括相互层叠的多个布气板，每两个相邻的布气板之间通过隔离柱组分离，所述隔离柱组中的隔离柱直径从中心区域向边缘区域逐步增大。本技术可有效减轻布气板变形及对应的寄生等离子体。
[0025]应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
[0026]上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本技术的，熟悉本领域的人员可在不脱离本技术的专利技术思想的情况下，对上述实施例做出种种修改或变化，因而本技术的保护范围并不被上述实施例所限，而应该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种布气板组件，包括相互层叠的多个布气板，每两个相邻的布气板之间通过隔离柱组分离，其特征在于，所述隔离柱组中的隔离柱直径从中心区域向边缘区域逐步增大。2.根据权利要求1所述的布气板组件，其特征在于，所述隔离柱组中的隔离柱从中心向边缘以同心圆或同心正方形的方式排布。3.根据权利要求1或2所述的布气板组件，其特征在于，所述隔离柱组中的隔离柱从中心向边缘以中心隔离柱以及围绕所述中心隔离柱的四个同心正方形的方式排布。4.根据权利要求3所述的布气板组件，其特征在于，所述中心隔离柱的直径为4毫米，所述四个同心正方形中的隔离柱的直径分别为6毫米、8毫米、...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨飞云，
申请(专利权)人：上海理想万里晖薄膜设备有限公司，
类型：新型
国别省市：