本实用新型专利技术公开一种高真空稳定控压系统的装置，包括炉体，炉体的一侧固接并连通有管路，管路靠近炉体的一端固接并连通有两个蝶阀，蝶阀包括与管路固接并连通的阀体，阀体的顶部通过连接件固接有连接壳，连接壳内设有驱动机构连接壳的一端固接有第一电机，第一电机与驱动机构传动连接，连接壳远离第一电机一端固接有限位机构，限位机构位于连接壳内，管路远离炉体的一端固接并连通有真空泵，蝶阀与真空泵之间设有闸板阀，闸板阀安装在管路上。本实用新型专利技术的高真空稳定控压系统的装置，通过在炉体与真空泵之间设置两个蝶阀，采用两个蝶阀与闸板阀来控制炉体内的压力，从而使炉体内的压力稳定。压力稳定。压力稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种高真空稳定控压系统的装置
[0001]本技术涉及晶体炉控压
，特别是涉及一种高真空稳定控压系统的装置。
技术介绍
[0002]晶体炉在工作过程中需要用到控压稳定装置，现有的控压稳定装置采用一个蝶阀与闸板阀来控制炉体内部压力的稳定，在压力极低时,可以有效的控制炉体内的压力，当工艺需要较高的压力时,由于管道直径比较大,蝶阀开关度的大小会对压力产生影响,造成压力的不稳定，从而影响晶体的生长,造成晶体质量差,效率低，使得蝶阀的稳定性对于整个控压稳定装置尤为重要，因此，亟需一种新型的高真空稳定控压系统的装置来解决以上问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种高真空稳定控压系统的装置，以解决上述现有技术存在的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术提供一种高真空稳定控压系统的装置，包括炉体，所述炉体的一侧固接并连通有管路，所述管路靠近所述炉体的一端固接并连通有两个蝶阀，所述蝶阀包括与所述管路固接并连通的阀体，所述阀体内转动连接有转动轴，所述转动轴上固接有挡板，所述阀体的顶部通过连接件固接有连接壳，所述连接壳内设有驱动机构，所述转动轴的顶部穿过所述连接件并与所述驱动机构固接，所述连接壳的一端固接有第一电机，所述第一电机与所述驱动机构传动连接，所述连接壳远离所述第一电机一端固接有限位机构，所述限位机构位于所述连接壳内，所述限位机构包括与所述转动轴抵接的限位板，所述管路远离所述炉体的一端固接并连通有真空泵，所述蝶阀与所述真空泵之间设有闸板阀，所述闸板阀安装在所述管路上。
[0005]优选的，所述驱动机构包括与所述第一电机的输出轴固接的第一锥齿轮，所述第一锥齿轮啮合有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与所述转动轴的顶面固接。
[0006]优选的，所述限位机构还包括固接在所述连接内的第二电机，所述第二电机的输出轴固接有所述限位板，所述限位板与所述连接壳的底面滑动连接。
[0007]优选的，所述转动轴伸入所述连接壳内的侧壁周向设有若干第一凹槽，所述限位板靠近所述转动轴的内壁设若干第一凸起，所述第一凸起与所述第一凹槽相适配。
[0008]优选的，所述限位板靠近所述转动轴的一端形状与所述转动轴的形状相适配。
[0009]优选的，所述连接件包括分别与所述连接壳和所述阀体固接的连接块，所述连接块内中空，所述连接块内穿设有所述转动轴，所述连接块的内壁固接有第一轴承，所述第一轴承的两端分别与所述连接壳的底面和所述阀体的顶面固接，所述轴承内固接有所述转动轴。
[0010]优选的，所述连接块的顶面和底面分别设有第一环形凹槽和第二环形凹槽，所述
第一环形凹槽内嵌设有第一密封条，所述第一密封条与所述连接壳的底面抵接，所述第二环形凹槽内嵌设有第二密封条，所述第二密封条与所述阀体的顶面抵接。
[0011]优选的，所述阀体的顶面固接有安装座，所述转动轴的底部穿过所述阀体并与所述安装座转动连接。
[0012]本技术公开了以下技术效果：通过在炉体与真空泵之间设置两个蝶阀，采用两个蝶阀与闸板阀来控制炉体内的压力，当炉体内的压力较低时,这时两个蝶阀都是全开的状态,这样可以加大真空泵对炉体内抽真空；当需要较高的压力时,这时只需要将其中一个蝶阀关到小的开度,再调节另一个蝶阀的开度,从而使炉体内的压力稳定，通过在蝶阀设置驱动机构，能够更精确的控制蝶阀的开合大小，通过在蝶阀内设置限位机构，对调整完的转动轴进行限位，防止其在管道内压力的作用下发生转动。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1为本技术高真空稳定控压系统的装置中的结构示意图；
[0015]图2为蝶阀的结构示意图；
[0016]图3为图2中A的局部放大图；
[0017]图4为蝶阀的主视图；
[0018]图5为限位块的俯视图；
[0019]其中：1、炉体；2、管路；3、蝶阀；4、阀体；5、转动轴；6、挡板；7、连接壳；8、第一电机；9、限位板；10、真空泵；11、闸板阀；12、第一锥齿轮；13、第二锥齿轮；14、第二电机；15、第一凹槽；16、第一凸起；17、连接块；18、第一轴承；19、第一环形凹槽；20、第二环形凹槽；21、第一密封条；22、第二密封条；23、安装座。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0022]参照图1
‑
5，本技术提供一种高真空稳定控压系统的装置，包括炉体1，炉体1的一侧固接并连通有管路2，管路2靠近炉体1的一端固接并连通有两个蝶阀3，蝶阀3包括与管路2固接并连通的阀体4，阀体4内转动连接有转动轴5，转动轴5上固接有挡板6，阀体4的顶部通过连接件固接有连接壳7，连接壳7内设有驱动机构，转动轴5的顶部穿过连接件并与驱动机构固接，连接壳7的一端固接有第一电机8，第一电机8与驱动机构传动连接，连接壳7远离第一电机8一端固接有限位机构，限位机构位于连接壳7内，限位机构包括与转动轴5抵
接的限位板9，管路2远离炉体1的一端固接并连通有真空泵10，蝶阀3与真空泵10之间设有闸板阀11，闸板阀11安装在管路2上。
[0023]通过在炉体1与真空泵10之间设置两个蝶阀3，采用两个蝶阀3与闸板阀11来控制炉体1内的压力，当炉体1内的压力较低时,这时两个蝶阀3都是全开的状态,这样可以加大真空泵10对炉体1内抽真空；当需要较高的压力时,这时只需要将其中一个蝶阀3关到小的开度,再调节另一个蝶阀3的开度,从而使炉体1内的压力稳定，通过在蝶阀3设置驱动机构，能够更精确的控制蝶阀3的开合大小，通过在蝶阀3内设置限位机构，对调整完的转动轴5进行限位，防止其在管路2内压力的作用下发生转动。
[0024]进一步优化方案，驱动机构包括与第一电机8的输出轴固接的第一锥齿轮12，第一锥齿轮12啮合有第二锥齿轮13，第二锥齿轮13与转动轴5的顶面固接。
[0025]当需要转动轴5转动时，通过启动第一电机8，第一电机8带动第一锥齿轮12转动，第一锥齿轮12带动与其啮合的第二锥齿轮13转动，第二锥齿轮13带动与其固接的转动轴5转动。
[0026]进一步优化方案，限位机构还包括固接在连接内的第二电机14，第二电机14的输出本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高真空稳定控压系统的装置，其特征在于：包括炉体(1)，所述炉体(1)的一侧固接并连通有管路(2)，所述管路(2)靠近所述炉体(1)的一端固接并连通有两个蝶阀(3)，所述蝶阀(3)包括与所述管路(2)固接并连通的阀体(4)，所述阀体(4)内转动连接有转动轴(5)，所述转动轴(5)上固接有挡板(6)，所述阀体(4)的顶部通过连接件固接有连接壳(7)，所述连接壳(7)内设有驱动机构，所述转动轴(5)的顶部穿过所述连接件并与所述驱动机构固接，所述连接壳(7)的一端固接有第一电机(8)，所述第一电机(8)与所述驱动机构传动连接，所述连接壳(7)远离所述第一电机(8)一端固接有限位机构，所述限位机构位于所述连接壳(7)内，所述限位机构包括与所述转动轴(5)抵接的限位板(9)，所述管路(2)远离所述炉体(1)的一端固接并连通有真空泵(10)，所述蝶阀(3)与所述真空泵(10)之间设有闸板阀(11)，所述闸板阀(11)安装在所述管路(2)上。2.根据权利要求1所述的高真空稳定控压系统的装置，其特征在于：所述驱动机构包括与所述第一电机(8)的输出轴固接的第一锥齿轮(12)，所述第一锥齿轮(12)啮合有第二锥齿轮(13)，所述第二锥齿轮(13)与所述转动轴(5)的顶面固接。3.根据权利要求2所述的高真空稳定控压系统的装置，其特征在于：所述限位机构还包括固接在所述连接内的第二电机(14)，所述第二电机(14)的输出轴固接有所述限位板(9)，所述限位板(9)与所述连接壳(7)的底面滑动连接。4...
【专利技术属性】
技术研发人员：靳启忠，刘海雷，鹿皓，
申请(专利权)人：保定晶通机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。