用于划片工艺的空气净化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于划片工艺的空气净化装置，其特征在于包括：水雾分离装置，所述水雾分离装置通过短管与划片机连接以接收划片湿空气，并且被配置为包括填料填充区和折流板；空气过滤装置，被配置为包括初效过滤装置和中效过滤装置；以及离心风机装置，被配置在所述初效过滤装置和中效过滤装置之间，以为所述中效过滤装置提供静压区，所述中效过滤装置与划片工艺的环境静压层连接，以将净化后的通气提供到环境静压层。通气提供到环境静压层。通气提供到环境静压层。

【技术实现步骤摘要】
用于划片工艺的空气净化装置


[0001]本技术涉及半导体加工技术，具体地涉及一种用于半导体划片工艺的环境空气净化装置。

技术介绍

[0002]半导体生产工艺设计多个工序流程，其具有很高的复杂，并且随着半导体生产技术的更新换代，其生产设备造价成本越来越高，并且其对于生产环境的要求也相应提高。为了保证半导体生产的顺利进行，需要在洁净室内进行相应的生产步骤。如何保证洁净室中的温度、相对湿度、压力、洁净度、气流流型等参数符合相应的标准，是当前生产需要解决的问题。
[0003]在当前的生产工艺中，抽排风系统将把洁净室内工艺排风抽至室外；同时，新风空气处理机系统从室外抽取新风，补进洁净室内，并保持一定量正压。
[0004]当前的抽排风系统所面临的问题是，半导体工厂的排风系统功耗较大，并且排风系统被作为一个整体控制，开启后所有工艺设备均会被被动抽风。
[0005]此外，当前的设计还会造成空调热负荷大，大量被抽走的22℃、RH50％左右恒温恒湿、洁净的空气需要新风空气处理系统从室外抽取新空气，再经过多级调温、控湿、过滤等调控和净化处理才能补进洁净室，其中消耗的能量很大。
[0006]因此，亟需一种适用于半导体生产工艺的节约功耗的空气净化装置和系统。

技术实现思路

[0007]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，包括：水雾分离装置，所述水雾分离装置通过短管与划片机连接以接收划片湿空气，并且被配置为包括填料填充区和折流板；空气过滤装置，被配置为包括初效过滤装置和中效过滤装置；以及离心风机装置，被配置在所述初效过滤装置和中效过滤装置之间，以为所述中效过滤装置提供静压区，其中，所述中效过滤装置与划片工艺的环境静压层连接，以将净化后的通气提供到环境静压层。
[0008]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，其中，所述填料填充区利用球形多面填料填充。
[0009]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，其中，所述折流板通过PVC或者不锈钢来形成。
[0010]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，其中，所述水雾分离装置与具有存水弯的排水管连接。
[0011]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，其中，所述初效过滤装置包括G4初效板式过滤器。
[0012]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，其中，所述中效过滤装置包括F6中效袋式过滤器。
[0013]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，其中，所述离心风机装置被配置为调速高压离心风机，以提供可调风压的静压区。
[0014]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，其中，所述离心风机装置被配置为根据初效过滤装置过滤的空气湿度来调整风压。
[0015]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，其中，所述离心风机装置与具有存水弯的排水管连接。
[0016]本技术的一方面提供一种用于划片工艺的空气净化装置，其中，环境静压层中的空气中的一部分通过风机过滤单元FFU被提供到划片机。
附图说明
[0017]图1是根据本技术实施例的空气净化装置的示意图；以及
[0018]图2是示出了根据本技术实施例的包括空气净化装置的空气净化系统的示意图。
具体实施方式
[0019]在进行下面的详细描述之前，阐述贯穿本专利文件使用的某些单词和短语的定义可能是有利的。术语“耦接”“连接”及其派生词指两个或多个元件之间的任何直接或间接通信或者连接，而无论那些元件是否彼此物理接触。术语“传输”、“接收”和“通信”及其派生词涵盖直接和间接通信。术语“包括”和“包含”及其派生词是指包括但不限于。术语“或”是包含性的，意思是和/或。短语“与
……
相关联”及其派生词是指包括、包括在
……
内、互连、包含、包含在
……
内、连接或与
……
连接、耦接或与
……
耦接、与
……
通信、配合、交织、并列、接近、绑定或与
……
绑定、具有、具有属性、具有关系或与
……
有关系等。术语“控制器”是指控制至少一个操作的任何设备、系统或其一部分。这种控制器可以用硬件、或者硬件和软件和/或固件的组合来实施。与任何特定控制器相关联的功能可以是集中式的或分布式的，无论是本地的还是远程的。短语“至少一个”，当与项目列表一起使用时，意指可以使用所列项目中的一个或多个的不同组合，并且可能只需要列表中的一个项目。例如，“A、B、C中的至少一个”包括以下组合中的任意一个：A、B、C、A和B、A和C、B和C、A和B和C。
[0020]贯穿本专利文件提供了其他特定单词和短语的定义。本领域普通技术人员应该理解，在许多情况下，即使不是大多数情况下，这种定义也适用于这样定义的单词和短语的先前和将来使用。
[0021]在本专利文件中，模块的应用组合以及子模块的划分层级仅用于说明，在不脱离本公开的范围内，模块的应用组合以及子模块的划分层级可以具有不同的方式。
[0022]对于现有技术，在当前的生产工艺中，抽排风系统将把洁净室内工艺排风抽至室外；同时，新风空气处理机系统从室外抽取新风，补进洁净室内，因此，其需要消耗大量的能量。为了解决上述的问题，本技术提供一种通过单独控制划片单元的排气来节省能耗的净化装置。
[0023]对于封装工厂而言，划片工序由于其产生的湿气以及杂质较多，因此其抽排风占总排风量的85％以上，基于以上考虑，可以通过分割划片单元，即，通过将六台划片机(在双轴的情况下，将三台划片机)和一台清洗机的相应的净化装置组成一个抽排风单元，通过对
抽排风单元进行控制来取代整体控制，从而降低排风系统功耗。
[0024]通过针对划片工艺中的每个抽排风单元产生的尘雾空气进行脱水处理和过滤净化，使其达到洁净室环境的使用要求而在进行内循环。该设计避免了传统大量排风直接外排，避免了新风空调使用很大的能量来调温、控湿、过滤进行回补，以保持洁净室内的微正压从而大量耗能的问题，其具有良好的节能效果，特别是对于室内、外温差7℃以上的情况下其节能效果更加明显。
[0025]图1是根据本技术实施例的空气净化装置的示意图。
[0026]参考图1，本技术实施例的空气净化装置包括：水雾分离装置、离心风机装置、空气过滤装置以及电气控制器(外置)。
[0027]根据本技术的实施例，水雾分离装置包括填料填充区和折流板，其中，在填料填充区内填充球形多面填料。划片机产生的划片湿空气通过短管进入到水雾分离装置，通过多面填料和折流板，湿空气中的水分被滤除，并且通过连接到水雾分离装置的排水管排出，其中，所述排水管具有存水弯的结构，以避免厂区内空气被通过排水管污染。根据本技术实施例，折流板通过PVC或者不锈钢来形成。采用填料和折流板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于划片工艺的空气净化装置，其特征在于，包括：水雾分离装置，所述水雾分离装置通过短管与划片机连接以接收划片湿空气，并且被配置为包括填料填充区和折流板；空气过滤装置，被配置为包括初效过滤装置和中效过滤装置；以及离心风机装置，被配置在所述初效过滤装置和中效过滤装置之间，以为所述中效过滤装置提供静压区，所述中效过滤装置与划片工艺的环境静压层连接，以将净化后的通气提供到环境静压层。2.根据权利要求1所述的空气净化装置，其特征在于，所述填料填充区利用球形多面填料填充。3.根据权利要求1所述的空气净化装置，其特征在于，所述折流板通过PVC或者不锈钢来形成。4.根据权利要求1所述的空气净化装置，其特征在于，所述水雾分离装置与具有存水弯的排水...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱云飞，朱正，周一峰，吴长春，钱永学，赖亚明，黄鑫，
申请(专利权)人：上海昂瑞创新电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：