本公开提供了一种气缸控制装置、气缸控制方法及电子设备。该气缸控制系统包括：速度获取单元，用于获取目标气缸内活塞的预设运动速度；压力调节设备，与速度获取单元电连接，用于依据预设运动速度，调节目标气缸满足目标工作压力；速度控制单元，与压力调节设备电连接，用于至少依据目标工作压力，调整目标气缸内活塞的运动速度，以使得调整后的目标气缸内活塞的运动速度维持在第一预设范围内。上述气缸控制系统实现了对气缸工作压力和速度的自动控制，以保证半导体制造工艺的平稳进行。以保证半导体制造工艺的平稳进行。以保证半导体制造工艺的平稳进行。
【技术实现步骤摘要】
气缸控制装置、气缸控制方法及电子设备
[0001]本公开涉及半导体制造
，具体而言，涉及一种气缸控制装置、气缸控制方法及电子设备。
技术介绍
[0002]在半导体制造工艺中，由于机台部分运动由气缸运动方式驱动，进而达成传输硅片或硅片定位的目的，所以气缸是重要且不可或缺的运动驱动零件，因气缸运动过快会影响硅片位置稳定或者定位时撞破硅片，气缸运动速度过慢会影响生产节拍造成产能损失，因此气缸速度对晶圆品质稳定和产能比较关键。上述气缸运动速度通常是指气缸内活塞的直线运动速度。
[0003]气缸运动速度与缸体的工作压力有关，增大工作压力会导致气缸运动速度提高，降低工作压力则会导致气缸运动速度降低，而气缸运动速度过快不仅会影响晶圆位置的稳定性，还可能会导致定位时撞破晶圆，气缸运动速度过慢则会影响生产节拍，从而造成产能损失。
[0004]因此，现有技术中亟需提供一种气缸控制系统，以实现对气缸工作压力和速度的自动控制，并保证半导体制造工艺的平稳进行。
技术实现思路
[0005]本公开的主要目的在于提供一种气缸控制装置、气缸控制方法及电子设备，以解决现有技术中气缸运动速度过快或过慢对半导体制造工艺造成影响的问题。
[0006]为了实现上述目的，根据本公开的一个方面，提供了一种气缸控制系统，包括：速度获取单元，用于获取目标气缸内活塞的预设运动速度；压力调节设备，与速度获取单元电连接，用于依据预设运动速度，调节目标气缸满足目标工作压力；速度控制单元，与压力调节设备电连接，用于至少依据目标工作压力，调整目标气缸内活塞的运动速度，以使得调整后的目标气缸内活塞的运动速度维持在第一预设范围内。
[0007]可选地，压力调节设备包括：第一接收模块，与压力检测单元通信连接，用于接收预设运动速度；进气量调整模块，与第一接收模块通信连接，用于依据预设运动速度，获取目标气缸的进气量；压力调节阀，用于调节目标气缸的压力；第一控制模块，分别与进气量调整模块和压力调节阀通信连接，用于依据目标气缸的进气量，控制压力调节阀，以调节目标气缸满足目标工作压力。
[0008]可选地，压力调节设备还包括：第一判断模块，与第一控制模块通信连接，用于判断目标工作压力是否低于或超出第二预设范围，并在判断结果为是的情况下输出第一控制信号；第一报警模块，与第一判断模块电连接，用于在接收到第一控制信号的情况下，进行报警处理。
[0009]可选地，速度控制单元包括：第一获取模块，与压力调节设备电连接，用于依据目标工作压力和第一预设关系曲线，获取目标气缸内活塞在第一运动时间内的目标运动速
度，其中，第一预设关系曲线为表征第一运动时间与目标工作压力对应关系的曲线；第二控制模块，与第一获取模块电连接，用于控制目标气缸内活塞以目标运动速度运动。
[0010]可选地，第一获取模块包括：子获取模块，与压力调节设备电连接，用于依据目标工作压力和第一预设关系曲线，获取第一运动时间；第二计算模块，与子获取模块电连接，用于依据第一运动时间和目标气缸内活塞的单程运动长度，计算目标运动速度。
[0011]可选地，目标气缸为多个，第二控制模块用于使多个目标气缸内活塞以目标运动速度运动。
[0012]可选地，气缸控制系统还包括：速度检测单元，用于检测目标气缸内活塞的运动速度。
[0013]可选地，气缸控制系统还包括：第二报警模块，与速度检测单元电连接，用于在检测到目标气缸内活塞的运动速度低于或超出第一预设范围的情况下，进行报警处理。
[0014]可选地，速度获取单元包括：第一传感器，设置于目标气缸上，用于获取气缸中活塞运动的起始时间点；第二传感器，设置于目标气缸上，用于获取气缸中活塞运动的停止时间点；第三计算模块，分别与第一传感器和第二传感器电连接，用于依据起始时间点、停止时间点以及目标气缸内活塞的单程运动长度，获取目标气缸内活塞的运动速度。
[0015]可选地，第二报警模块包括：第二接收模块，与速度检测单元电连接，用于接收目标气缸内活塞的运动速度；第二判断模块，与速度检测单元电连接，用于判断目标气缸内活塞的运动速度是否低于或超出第一预设范围，并在判断结果为是的情况下输出报警信号；显示屏，与第二判断模块电连接，用于将报警信号以图形方式进行显示。
[0016]根据本公开的另一个方面，提供了一种气缸控制方法，包括：获取目标气缸内活塞的预设运动速度；依据预设运动速度，调节目标气缸满足目标工作压力；至少依据目标工作压力，调整目标气缸内活塞的运动速度，以使得调整后的目标气缸内活塞的运动速度维持在第一预设范围内。
[0017]可选地，至少依据目标工作压力，调整目标气缸内活塞的运动速度，包括：依据目标工作压力和第一预设关系曲线，确定目标气缸内活塞在第一运动时间内的目标运动速度，其中，第一预设关系曲线为表征第一运动时间与目标工作压力对应关系的曲线；控制目标气缸内活塞以目标运动速度运动。
[0018]可选地，气缸控制方法还包括：获取目标气缸的历史运动数据，其中，历史运动数据包括：多个历史运动时间，以及与多个历史运动时间对应的多个历史气缸压力值；建立多个历史运动时间与多个历史气缸压力值的多个关系曲线；将多个关系曲线拟合，得到第一预设关系曲线。
[0019]可选地，依据目标工作压力和第一预设关系曲线，获取目标气缸内活塞在第一运动时间内的目标运动速度，包括：依据目标工作压力和第一预设关系曲线，获取第一运动时间；依据第一运动时间和目标气缸内活塞的单程运动长度，计算目标运动速度。
[0020]根据本公开的另一方面，还提供了一种电子设备，包括：处理器；用于存储处理器可执行指令的存储器；其中，处理器被配置为执行指令，以实现如上述的气缸控制方法。
[0021]应用本公开的技术方案，提供了一种气缸控制系统，通过速度获取单元获取目标气缸内活塞的预设运动速度，并使压力调节设备依据预设运动速度，调节目标气缸满足目标工作压力，然后利用速度控制单元至少依据目标工作压力，调整目标气缸内活塞的运动
速度，以使得调整后的目标气缸内活塞的运动速度维持在第一预设范围内，从而实现了对气缸工作压力和速度的自动控制，以保证半导体制造工艺的平稳进行。
[0022]本申请的一个或多个实施例的细节在下面的附图和描述中提出。本申请的其它特征和优点将从说明书附图以及权利要求书变得明显。
附图说明
[0023]构成本公开的一部分的说明书附图用来提供对本公开的进一步理解，本公开的示意性实施例及其说明用于解释本公开，并不构成对本公开的不当限定。在附图中：
[0024]图1是根据一示例性实施例示出的一种气缸控制装置的示意图；
[0025]图2是根据一示例性实施例示出的某气缸的工作压力与气缸内活塞的运动时间的关系示意图；
[0026]图3是根据一示例性实施例示出的另一种气缸控制装置的示意图；
[0027]图4是根据一示例性实施例示出的一种气缸控制方法的流程框图；
[0028]图5是根据本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气缸控制系统，其特征在于，包括：速度获取单元，用于获取目标气缸内活塞的预设运动速度；压力调节设备，与所述速度获取单元电连接，用于依据所述预设运动速度，调节所述目标气缸满足目标工作压力；速度控制单元，与所述压力调节设备电连接，用于至少依据所述目标工作压力，调整所述目标气缸内活塞的运动速度，以使得调整后的所述目标气缸内活塞的运动速度维持在第一预设范围内。2.根据权利要求1所述的气缸控制系统，其特征在于，所述压力调节设备包括：第一接收模块，与所述压力检测单元通信连接，用于接收所述预设运动速度；进气量调整模块，与所述第一接收模块通信连接，用于依据所述预设运动速度，获取所述目标气缸的进气量；压力调节阀，用于调节所述目标气缸的压力；第一控制模块，分别与所述进气量调整模块和所述压力调节阀通信连接，用于依据所述目标气缸的进气量，控制所述压力调节阀，以调节所述目标气缸满足目标工作压力。3.根据权利要求2所述的气缸控制系统，其特征在于，所述压力调节设备还包括：第一判断模块，与所述第一控制模块通信连接，用于判断所述目标工作压力是否低于或超出第二预设范围，并在判断结果为是的情况下输出第一控制信号；第一报警模块，与所述第一判断模块电连接，用于在接收到所述第一控制信号的情况下，进行报警处理。4.根据权利要求1所述的气缸控制系统，其特征在于，所述速度控制单元包括：第一获取模块，与所述压力调节设备电连接，用于依据所述目标工作压力和第一预设关系曲线，获取所述目标气缸内活塞在第一运动时间内的目标运动速度，其中，所述第一预设关系曲线为表征所述第一运动时间与所述目标工作压力对应关系的曲线；第二控制模块，与所述第一获取模块电连接，用于控制所述目标气缸内活塞以所述目标运动速度运动。5.根据权利要求4所述的气缸控制系统，其特征在于，所述第一获取模块包括：子获取模块，与所述压力调节设备电连接，用于依据所述目标工作压力和所述第一预设关系曲线，获取所述第一运动时间；第二计算模块，与所述子获取模块电连接，用于依据所述第一运动时间和所述目标气缸内活塞的单程运动长度，计算所述目标运动速度。6.根据权利要求4所述的气缸控制系统，其特征在于，所述目标气缸为多个，所述第二控制模块用于使所述多个目标气缸内活塞以所述目标运动速度运动。7.根据权利要求1所述的气缸控制系统，其特征在于，还包括：速度检测单元，用于检测所述目标气缸内活塞的运动速度。8.根据权利要求7所述的气缸控制系统，其特征在于，还包括：第二报警模块，与所述速度检测单元电连接，用于在检测到所述目标气缸内活塞的运动速度低于或超出所述第一预设范围的情况...
【专利技术属性】
技术研发人员：葛德高，陈信宏，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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