一种石英舟翻转平台制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片输送技术领域，具体涉及一种石英舟翻转平台。包括底板，底板上设置有安装架，安装架上设置有旋转驱动装置，旋转驱动装置输出端设置有放置板，放置板上设置有相互垂直的挡板，挡板上设置有若干规整条，规整条上间隔设置有放置槽。将装有硅片的石英舟放置在放置板上，通过放置板和挡板的共同限位，能够对石英舟进行有效的定位和固定，之后旋转驱动装置驱动放置板进行旋转，进而带动石英舟进行旋转，旋转后的石英舟，由于惯性和重力的作用，会使得石英舟上的每一片硅片插在放置槽上，还能够对硅片进行规整，避免翻转后的石英舟出现硅片错乱的情况发生，进一步地提高石英舟翻转的质量，进而便于后续工序的处理。进而便于后续工序的处理。进而便于后续工序的处理。

【技术实现步骤摘要】
一种石英舟翻转平台


[0001]本技术涉及硅片输送
，具体涉及一种石英舟翻转平台。

技术介绍

[0002]硅片是生产光伏产品的主要材料，同时硅片还是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，被广泛应用于航空航天、工业、农业和国防等领域。硅片输送时需要将硅片放置在石英舟中进行输送，在输送过程中需要对石英舟进行翻转操作，如何对石英舟进行翻转成为了提高硅片生产效率的关键。
[0003]上述问题是本领域亟需解决的问题。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种石英舟翻转平台，从而能够对石英舟进行翻转，从而满足生产运输的需求，提高硅片生产的效率。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供的方案是：一种石英舟翻转平台，包括底板，所述底板上设置有安装架，所述安装架上设置有旋转驱动装置，所述旋转驱动装置输出端设置有放置板，所述放置板上设置有相互垂直的挡板，所述挡板上设置有若干规整条，所述规整条上间隔设置有放置槽。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述放置板两侧均设置有压紧气缸，所述压紧气缸的活塞杆端均设置有压紧板。
[0007]作为本技术的进一步改进，所述底板上位于所述挡板一侧设置有第一规整气缸，所述第一规整气缸的活塞杆端设置有规整板。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述底板上对应所述第一规整气缸设置有第二规整气缸，所述第二规整气缸的活塞杆端通过弹簧杆连接设置有减震板。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述放置板与所述底板呈倾斜设置有，所述放置板与所述底板之间的倾斜角为40
°‑
45
°
之间。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述放置板上设置有定位检测柱。
[0011]本技术的有益效果：
[0012]本技术结构合理、简单，操作便捷，，将装有硅片的石英舟放置在放置板上，通过放置板和挡板的共同限位，能够对石英舟进行有效的定位和固定，之后旋转驱动装置驱动放置板进行旋转，进而带动石英舟进行旋转，旋转后的石英舟，由于惯性和重力的作用，会使得石英舟上的每一片硅片插在放置槽上，还能够对硅片进行规整，避免翻转后的石英舟出现硅片错乱的情况发生，进一步地提高石英舟翻转的质量，进而便于后续工序的处理。
附图说明
[0013]图1是本技术翻转前的结构示意图；
[0014]图2是本技术翻转后的结构示意图；
[0015]图3是本技术的主视图。
[0016]附图标记：1、底板；2、安装架；3、旋转驱动装置；4、放置板；5、挡板；6、压紧板；7、第一规整气缸；8、规整板；9、第二规整气缸；10、弹簧杆；11、减震板；12、规整条；13、放置槽；14、定位检测柱；15、压紧气缸。
具体实施方式
[0017]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0018]参照图1所示，为本技术的一实施例，包括底板1，底板1上设置有安装架2，安装架2上设置有旋转驱动装置3，旋转驱动装置3输出端设置有放置板4，放置板4上设置有相互垂直的挡板5，挡板5上设置有若干规整条12，规整条12上间隔设置有放置槽13。
[0019]在使用过程中，将装有硅片的石英舟放置在放置板4上，通过放置板4和挡板5的共同限位，能够对石英舟进行有效的定位和固定，之后旋转驱动装置3驱动放置板4进行旋转，进而带动石英舟进行旋转，旋转后的石英舟，由于惯性和重力的作用，会使得石英舟上的每一片硅片插在放置槽13上，还能够对硅片进行规整，避免翻转后的石英舟出现硅片错乱的情况发生，进一步地提高石英舟翻转的质量，进而便于后续工序的处理。
[0020]如图1所示，为了能够对石英舟进行更加牢固的固定，进而在放置板4两侧均设置有压紧气缸15，并且在压紧气缸15的活塞杆端均设置有压紧板6。在石英舟放在放置板4上时，压紧气缸15将驱动压紧板6进行移动，对石英舟的两侧进行固定，进而提高石英舟翻转时的稳定性。
[0021]如图1所示，石英舟反转后的硅片时常会出现错乱的情况发生，为了进一步地对硅片进行规整，从而在底板1上位于挡板5一侧设置有第一规整气缸7，第一规整气缸7的活塞杆端设置有规整板8。同时在底板1上对应第一规整气缸7设置有第二规整气缸9，第二规整气缸9的活塞杆端通过弹簧杆10连接设置有减震板11。石英舟翻转完成后，第一规整气缸7驱动规整板8来回地移动对石英舟上的硅片进行规整，并且第二规整气缸9驱动减震板11来回地移动对石英舟上的硅片进行规整，同时通过弹簧杆10的减震效果，能够避免对硅片的伤害。通过规整板8和减震板11来回移动地对硅片进行规整，使得硅片能够准确地落入放置槽13内部，进而提高硅片反转后的整齐性。
[0022]如图3所示，为了进一步使得硅片能够落入放置槽13中，从而在放置板4与底板1呈倾斜设置有，并且将放置板4与底板1之间的倾斜角为40
°‑
45
°
之间。实际的使用过程中，通常将倾斜角设置在43
°
，通过倾斜角，能够使得硅片进行滑动，进而能够落入放置槽13中。
[0023]如图1所示，放置板4上设置有定位检测柱14，能够对石英舟的位置进行定位以及感应检测。
[0024]实际工作时，将装有硅片的石英舟放置在放置板4上，通过放置板4和挡板5的共同限位，同时压紧气缸15驱动压紧板6对石英舟两侧进行固定，之后旋转驱动装置3驱动放置板4进行旋转，进而带动石英舟进行旋转，旋转后的石英舟，由于惯性和重力的作用，会使得石英舟上的每一片硅片插在放置槽13上，同时第一规整气缸7和第二规整气缸9分别驱动规整板8和减震板11来回地移动对石英舟上的硅片进行进一步的规整，避免翻转后的石英舟出现硅片错乱的情况发生，进一步地提高石英舟翻转的质量，进而便于后续工序的处理。
[0025]应当理解的是，当在本说明书中如使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0026]如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英舟翻转平台，其特征在于，包括底板(1)，所述底板(1)上设置有安装架(2)，所述安装架(2)上设置有旋转驱动装置(3)，所述旋转驱动装置(3)输出端设置有放置板(4)，所述放置板(4)上设置有相互垂直的挡板(5)，所述挡板(5)上设置有若干规整条(12)，所述规整条(12)上间隔设置有放置槽(13)。2.如权利要求1所述的一种石英舟翻转平台，其特征在于，所述放置板(4)两侧均设置有压紧气缸(15)，所述压紧气缸(15)的活塞杆端均设置有压紧板(6)。3.如权利要求1所述的一种石英舟翻转平台，其特征在于，所述底板(1)上位于所述挡板(5)一侧设置有第一规整气缸(7)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：董晓清，安迪，杨义，程院生，郑琦，詹尔豪，
申请(专利权)人：无锡江松科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：