一种蓝宝石晶圆自动铲片设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种蓝宝石晶圆自动铲片设备，包括操作室，操作室内部划分有陶瓷盘放置区、机械搬运区和自动铲片区,陶瓷盘放置区上设有放置机构,机械搬运区上设有搬运机器人，自动铲片区上设有铲片装置，放置机构包括有放置架，放置架底部连接设置有移动小车,移动小车底部设置有行走机构，放置架上划分有陶瓷盘料物放置区，铲片装置包括有支撑架，支撑架上设有操作台，操作台上设有铲片机构，铲片机构一侧设有晶圆收集机构，晶圆收集机构一侧设有卡塞移裁机构，铲片机构远离晶圆收集机构一侧设有定心找原点机构，本实用新型专利技术设计一体化流水作业，机械化代替人工，大大的节省人工劳动强度、提高铲片作业效率，使搬运、铲片、收集一体化完成。集一体化完成。集一体化完成。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石晶圆自动铲片设备


[0001]本技术主要涉及晶圆自动铲片设备的
，具体为一种蓝宝石晶圆自动铲片设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]目前在蓝宝石晶圆铲片、卡塞收集一系列的作业都是由人工完成，人工作业费时费力、效率低并且容易出错。

技术实现思路

[0004]本技术主要提供了一种蓝宝石晶圆自动铲片设备，用以解决上述
技术介绍
中提出的技术问题。
[0005]本技术解决上述技术问题采用的技术方案为：
[0006]一种蓝宝石晶圆自动铲片设备，包括操作室，所述操作室内部划分有陶瓷盘放置区、机械搬运区和自动铲片区,所述陶瓷盘放置区上设置有放置机构,所述机械搬运区上设置有搬运机器人，所述自动铲片区上设置有铲片装置。
[0007]进一步的，所述放置机构包括有放置架，所述放置架底部连接设置有移动小车,所述移动小车底部设置有行走机构，所述放置架上划分有陶瓷盘料物放置区。
[0008]进一步的，所述铲片装置位于所述放置机构一侧，所述铲片装置包括有支撑架，所述支撑架上设置有操作台，所述操作台上设置有铲片机构，所述铲片机构一侧设置有晶圆收集机构，所述晶圆收集机构一侧设置有卡塞移裁机构，所述铲片机构远离晶圆收集机构一侧设置有定心找原点机构。
[0009]进一步的，所述放置架一侧外壁上连接设置有控制面板，所述控制面板内部设置有控制器，所述控制面板与控制器通过导线相连接。
[0010]进一步的，位于所述卡塞移裁机构一侧操作台上设置有出料输送机构。
[0011]进一步的，所述行走机构包括有行走轮，所述行走轮共设有四个，每个所述行走轮顶部依次与所述移动小车四周底部相连接。
[0012]进一步的，所述控制器与外部电源相连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0014]本技术通过搬运机器人进行搬运，大大的节省人工劳动强度，分区域进行流水化作业，提高铲片作业效率，使原本搬运、铲片、收集全部一体化完成。
[0015]以下将结合附图与具体的实施例对本技术进行详细的解释说明。
附图说明
[0016]图1为本技术的轴测图；
[0017]图2为本技术的整体示意图；
[0018]图3为本技术的俯视图；
[0019]图4为本技术的控制器轴测图。
[0020]图中：101、操作室；1、陶瓷盘放置区；11、放置机构；111、放置架；112、陶瓷盘料物放置区；113、移动小车；1131、行走机构；1132、行走轮；2、机械搬运区；21、搬运机器人；3、自动铲片区；31、铲片装置；311、支撑架；312、操作台；313、铲片机构；314、晶圆收集机构；315、定心找原点机构；316、卡塞移裁机构；318、出料输送机构；4、控制面板；41、控制器。
具体实施方式
[0021]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更加全面的描述，附图中给出了本技术的若干实施例，但是本技术可以通过不同的形式来实现，并不限于文本所描述的实施例，相反的，提供这些实施例是为了使对本技术公开的内容更加透彻全面。
[0022]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上也可以存在居中的元件，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件，本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0023]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常连接的含义相同，本文中在本技术的说明书中所使用的术语知识为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术，本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0024]请着重参照附图1
‑
3所示，一种蓝宝石晶圆自动铲片设备，包括操作室101，操作室101内部划分有陶瓷盘放置区1、机械搬运区2和自动铲片区3,陶瓷盘放置区1上设置有放置机构11,机械搬运区2上设置有搬运机器人21，通过搬运机器人21进行搬运，节省人工劳动强度，进一步提高铲片作业效率，自动铲片区3上设置有铲片装置31，放置机构11包括有放置架111，放置架111底部连接设置有移动小车113,移动小车113底部设置有行走机构1131，行走机构1131包括有行走轮1132，行走轮1132共设有四个，每个行走轮1132顶部依次与移动小车113四周底部相连接，放置架111上划分有陶瓷盘料物放置区112，铲片装置31位于放置机构11一侧，铲片装置31包括有支撑架311，支撑架311上设置有操作台312，操作台312上设置有铲片机构313，铲片机构313一侧设置有晶圆收集机构314，晶圆收集机构314一侧设置有卡塞移裁机构316，铲片机构313远离晶圆收集机构314一侧设置有定心找原点机构315，位于卡塞移裁机构316一侧操作台312上设置有出料输送机构318，搬运机器人21将陶瓷盘搬运至自动铲片区3通过定心找原点机构315对陶瓷盘进行定心、找原点处理，找完原点将陶瓷盘旋转至铲片机构313处，铲片机构313上的铲片台倾斜15度进行铲片，铲下的晶圆通过水流和滑道进入到晶圆收集机构314内部，收集完一片后卡塞移裁机构316会向下移动一个卡槽，进行下一片收集，直至收集满后，卡塞移裁机构316的机械手将收集满的卡塞放入出料输送机构318上输送出去。
[0025]请着重参照附图2、3、4所示，放置架111一侧外壁上连接设置有控制面板4，控制面板4内部设置有控制器41，控制面板4与控制器41通过导线相连接，控制器41与外部电源相连接，通过操控控制面板4内部的控制器41对电器原件进行控制，方便工人操作。
[0026]本技术的具体操作方式如下：
[0027]人员将陶瓷盘移动小车113通过底部行走轮1132移动放置于陶瓷盘放置区1，将控制器41与外部电源进行连接，并启动电器原件，启动搬运机器人21，搬运机器人21将陶瓷盘搬运至自动铲片区3通过定心找原点机构315对陶瓷盘进行定心、找原点处理，找完原点将陶瓷盘旋转至铲片机构313处，铲片机构313上的铲片台倾斜15度进行铲片，铲下的晶圆通过水流和滑道进入到晶圆收集机构314内部，收集完一片后卡塞移裁机构316会向下移动一个卡槽，进行下一片收集，直至收集满后，卡塞移裁机构316的机械手将收集满的卡塞放入出料输送机构318上输送出去。
[0028]上述结合附图对本技术进行了示例性描述，显然本技术具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本技术的方法构思和技术方案进行的这种非实质改进，或未经改进将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶圆自动铲片设备，包括操作室(101)，其特征在于，所述操作室(101)内部划分有陶瓷盘放置区(1)、机械搬运区(2)和自动铲片区(3),所述陶瓷盘放置区(1)上设置有放置机构(11),所述机械搬运区(2)上设置有搬运机器人(21)，所述自动铲片区(3)上设置有铲片装置(31)。2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆自动铲片设备，其特征在于，所述放置机构(11)包括有放置架(111)，所述放置架(111)底部连接设置有移动小车(113),所述移动小车(113)底部设置有行走机构(1131)，所述放置架(111)上划分有陶瓷盘料物放置区(112)。3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆自动铲片设备，其特征在于，所述铲片装置(31)位于所述放置机构(11)一侧，所述铲片装置(31)包括有支撑架(311)，所述支撑架(311)上设置有操作台(312)，所述操作台(312)上设置有铲片机构(313)，所述铲片机构(313)一侧设置有晶圆收...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙涛涛，吴拓，
申请(专利权)人：三河市益盈鼎裕科技有限公司，
类型：新型
国别省市：