用于真空镀膜机的抽真空单元制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于真空镀膜机的抽真空单元，包括一级真空泵组、二级真空泵组、螺杆真空泵一级电磁阀门。其中，一级真空泵组包括多个并联设置的第一真空泵。二级真空泵组包括多个串联设置的第二真空泵。电磁阀门设置在二级真空泵组与螺杆真空泵之间，用于在镀膜腔达到真空后，对镀膜腔与外界大气进行隔绝。本实用新型专利技术提供的用于真空镀膜机的抽真空单元可改变以往的抽真空方式，在保证抽气量的同时，还保证了最大真空度，而且解决了油污染的弊端，结构简单，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
用于真空镀膜机的抽真空单元


[0001]本技术属于真空镀膜
，具体涉及一种用于真空镀膜机的抽真空单元。

技术介绍

[0002]真空镀膜机是在真空环境下将金属铝铜等材料通过加热形成蒸汽蒸镀到卷状塑料薄膜表面上。真空镀膜机由镀膜单元和抽真空单元两大部分组成，而抽真空单元主要实现对镀膜单元的镀膜腔进行抽真空的目的。
[0003]现有技术中，对于抽真空系统，通常采用串联的多个液压真空泵进行抽真空，但是对于液压真空泵，在经过长期使用后，经常会出现或大或小的问题，如排气口漏油，造成环境污染，因此对于液压真空泵的出气口还需连接/连通尾气处理系统，以保证对排出气体的处理，该种方式无疑增加了设备成本，实用性较差。另外，多个液压真空泵同时工作，虽然能够保证最大真空度，但是其抽气过程较为缓慢，进而影响生产效率。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供一种用于真空镀膜机的抽真空单元，旨在能够解决现有的抽真空系统实用性差的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种用于真空镀膜机的抽真空单元，包括：
[0006]一级真空泵组，包括多个并联设置的第一真空泵；每个所述第一真空泵均具有第一进气口和第一出气口，各所述第一进气口用于与镀膜腔相连通；
[0007]二级真空泵组，包括多个串联设置的第二真空泵；各所述第二真空泵依次顺序连通，并形成进气端和出气端，所述进气端与各所述第一出气口相连通；
[0008]螺杆真空泵，具有第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述出气端相连通；以及
[0009]电磁阀门，设置在所述二级真空泵组与所述螺杆真空泵之间，用于在镀膜腔达到真空后，对镀膜腔与外界大气进行隔绝。
[0010]在一种可能的实现方式中，所述用于真空镀膜机的抽真空单元还包括锁止组件，所述锁止组件包括：
[0011]筒体，具有滑腔，并具有分别与所述滑腔连通的第一连通口、第二连通口及第三连通口；所述第一连通口与所述进气端相连通，所述第二连通口用于与外界大气相连通，所述第三连通口与各所述第一出气口相连通；
[0012]活塞，滑动设置在所述滑腔中，用于在所述滑腔中滑动，以分别连通所述第一连通口和所述第三连通口，或所述第二连通口和所述第三连通口；
[0013]滑杆，滑动设置在所述筒体上，一端与所述活塞固定连接，另一端穿过所述筒体并伸出；以及
[0014]伸缩结构，具有固定端和伸缩端，所述伸缩结构的固定端固设在所述筒体上，伸缩端与所述滑杆的伸出端相连接；
[0015]其中，在所述筒体的一端设有供所述滑杆滑动的密封滑孔。
[0016]一些实施例中/示例性的/举例说明，所述滑腔为圆柱形腔；
[0017]其中，所述第一连通口与所述第二连通口沿着所述滑腔的长度方向间隔设置，所述第三连通口位于所述第一连通口和所述第二连通口之间。
[0018]一些实施例中/示例性的/举例说明，所述伸缩结构为液压伸缩杆。
[0019]在一种可能的实现方式中，各所述第一真空泵均为罗茨真空泵；各所述第一真空泵的排气量参数相同。
[0020]在一种可能的实现方式中，各所述第二真空泵均为罗茨真空泵；由所述进气端至所述出气端的连通方向，各所述第二真空泵的抽气量参数逐渐降低。
[0021]本实现方式/申请实施例中，通过设置了多个并联的第一真空泵，可有效的保证抽气量。再通过设置多个串联的第二真空泵，可有效的保证镀膜腔的最大真空度。另外通过设置的螺杆真空泵，可有效的放置油污染，环保效果较好。电磁阀门的设置可保证对镀膜腔的隔离，进而保证镀膜工作的稳定进行。本实现方式/申请实施例可改变以往的抽真空方式，在保证抽气量的同时，还保证了最大真空度，而且解决了油污染的弊端，结构简单，实用性强。
附图说明
[0022]图1为本技术实施例提供的用于真空镀膜机的抽真空单元的结构示意图；
[0023]图2为本技术实施例提供的用于真空镀膜机的抽真空单元的锁止组件结构示意图；
[0024]附图标记说明：
[0025]10、一级真空泵组；11、第一真空泵；20、二级真空泵组；21、第二真空泵；30、螺杆真空泵；40、电磁阀门；50、锁止组件；51、筒体；511、滑腔；512、第一连通口；513、第二连通口；514、第三连通口；52、活塞；53、滑杆；54、伸缩结构；60、镀膜单元。
具体实施方式
[0026]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0027]请一并参阅图1及图2，现对本技术提供的用于真空镀膜机的抽真空单元进行说明。所述用于真空镀膜机的抽真空单元，包括一级真空泵组10、二级真空泵组20、螺杆真空泵30一级电磁阀门40。其中，一级真空泵组10包括多个并联设置的第一真空泵11；每个第一真空泵11均具有第一进气口和第一出气口，各第一进气口用于与镀膜腔相连通。二级真空泵组20包括多个串联设置的第二真空泵21；各第二真空泵21依次顺序连通，并形成进气端和出气端，进气端与各第一出气口相连通。螺杆真空泵30具有第二进气口和第二出气口，第二进气口与出气端相连通。电磁阀门40设置在二级真空泵组20与螺杆真空泵30之间，用于在镀膜腔达到真空后，对镀膜腔与外界大气进行隔绝。
[0028]本实施例提供的用于真空镀膜机的抽真空单元，与现有技术相比，通过设置了多个并联的第一真空泵11，可有效的保证抽气量。再通过设置多个串联的第二真空泵21，可有效的保证镀膜腔的最大真空度。另外通过设置的螺杆真空泵30，可有效的放置油污染，环保效果较好。电磁阀门40的设置可保证对镀膜腔的隔离，进而保证镀膜工作的稳定进行。本实施例可改变以往的抽真空方式，在保证抽气量的同时，还保证了最大真空度，而且解决了油污染的弊端，结构简单，实用性强。
[0029]在一些实施例中，参见图1至图2，用于真空镀膜机的抽真空单元还包括锁止组件50，锁止组件50包括筒体51、活塞52、滑杆53以及伸缩结构54。其中，筒体51具有滑腔511，并具有分别与滑腔511连通的第一连通口512、第二连通口513及第三连通口514；第一连通口512与进气端相连通，第二连通口513用于与外界大气相连通，第三连通口514与各第一出气口相连通。活塞52滑动设置在滑腔511中，用于在滑腔511中滑动，以分别连通第一连通口512和第三连通口514，或第二连通口513和第三连通口514。滑杆53滑动设置在筒体51上，一端与活塞52固定连接，另一端穿过筒体51并伸出。伸缩结构54具有固定端和伸缩端，伸缩结构54的固定端固设在筒体51上，伸缩端与滑杆53的伸出端相连接。
[0030]通过伸缩结构54驱动滑杆53移动，进而带动活塞52在滑腔511中移动，可在抽真空的过程中，对第一连通口51本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于真空镀膜机的抽真空单元，其特征在于，包括：一级真空泵组，包括多个并联设置的第一真空泵；每个所述第一真空泵均具有第一进气口和第一出气口，各所述第一进气口用于与镀膜腔相连通；二级真空泵组，包括多个串联设置的第二真空泵；各所述第二真空泵依次顺序连通，并形成进气端和出气端，所述进气端与各所述第一出气口相连通；螺杆真空泵，具有第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述出气端相连通；以及电磁阀门，设置在所述二级真空泵组与所述螺杆真空泵之间，用于在镀膜腔达到真空后，对镀膜腔与外界大气进行隔绝。2.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的抽真空单元，其特征在于，所述用于真空镀膜机的抽真空单元还包括锁止组件，所述锁止组件包括：筒体，具有滑腔，并具有分别与所述滑腔连通的第一连通口、第二连通口及第三连通口；所述第一连通口与所述进气端相连通，所述第二连通口用于与外界大气相连通，所述第三连通口与各所述第一出气口相连通；活塞，滑动设置在所述滑腔中，用于在所述滑腔中滑动，以分别连通所述第一连通口和...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，张国桥，
申请(专利权)人：河北科能新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：