散热单元、曝光装置及物品的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供散热单元、曝光装置及物品的制造方法。该散热单元具有：散热构件，使热散出；以及传热构件，使通过吸收来自光源的光而产生的热传导到所述散热构件，在所述传热构件的所述光源所在侧的面配置有包含熔点比所述传热构件的材料高的材料的膜。构件的材料高的材料的膜。构件的材料高的材料的膜。

【技术实现步骤摘要】
散热单元、曝光装置及物品的制造方法


[0001]本专利技术涉及散热单元、曝光装置及物品的制造方法。

技术介绍

[0002]在将水银灯用作光源的曝光装置中，有将曝光所使用的波长(曝光波长)的光用冷镜反射，将曝光所不需要的波长(非曝光波长)的光用冷镜透射的曝光装置。在不回收非曝光波长的光的情况下，导致装置整体的温度上升，有可能引起构成装置的部件的破损、曝光精度的降低。因此，要求利用散热板接受非曝光波长的光而转换为热，并使该热传导到散热器而高效地散热。
[0003]另外，在曝光装置中，为了提高生产性，要求增大光源的输出，但随着光源的输出的增大，会产生散热板、散热器熔融这样的问题。在专利文献1中，通过由熔点高的陶瓷系的材料构成散热板，能够防止散热板、散热器的熔融。此外，在日本特开2010
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205806号公报中也公开了以下的内容，即，通过分割地配置散热板以防止散热板的内部温度差变大，与不分割散热板的情况相比，提高了散热板的耐久性。
[0004]然而，由于陶瓷系的材料的热传导率低于金属等材料的热传导率，因此难以使热高效地传导到用于散出热的散热器。此外，由于在分割地配置散热板的情况下会产生间隙，因此与不分割散热板的情况相比，热传导性降低。由于热传导性降低，对由来自光源的光产生的热进行散热的效率降低。

技术实现思路

[0005]因此，本专利技术的目的在于提供一种有利于提高由来自光源的光产生的热的散热效率的散热单元。
[0006]用于解决课题的方案
[0007]为了达成上述目的，作为本专利技术的一方式的散热单元的特征在于，具有：散热构件，使热散出；以及传热构件，使通过吸收来自光源的光而产生的热传导到所述散热构件，在所述传热构件的所述光源所在侧的面配置有包含熔点比所述传热构件的材料高的材料的膜。
[0008]专利技术的效果
[0009]根据本专利技术，能够提供有利于提高由来自光源的光产生的热的散热效率的散热单元。
附图说明
[0010]图1是表示第一实施方式的散热单元的结构的概略图。
[0011]图2是表示第二实施方式的散热单元的结构的概略图。
[0012]图3是表示第三实施方式的散热单元的结构的概略图。
[0013]图4是表示曝光装置的结构的概略图。
[0014]附图标记的说明
[0015]1光源；30散热单元；31散热构件；32传热构件；33膜；70光。
具体实施方式
[0016]本专利技术的进一步特征将通过以下示例性的实施方式的描述(参考附图)变得明确。
[0017]下面，根据附图详细说明本专利技术的优选实施方式。另外，在各图中，对相同的构件标注相同的附图标记，并省略重复的说明。
[0018][第一实施方式][0019]图1是本实施方式的散热单元30的剖视图。散热单元30由散热构件31和传热构件32构成。传热构件32配置在比散热构件31靠光源1侧的位置，与散热构件31接触地配置。散热构件31具有对由来自光源1的光70产生的热进行散热的功能。散热构件31可以是空冷式的冷却机构，也可以是液冷式的冷却机构。空冷式的冷却机构在能够以简单的构造进行冷却的方面优异，液冷式的冷却机构与空冷式相比在冷却效果高的方面优异。
[0020]传热构件32为了高效地使热传导到散热构件31，优选为热传导性高的材质。在本实施方式中，由热传导性高的金属构成传热构件32，能够将由光70产生的热高效地传递到散热构件31。
[0021]传热构件32的厚度(从传热构件32与散热构件31的接触面到传热构件32的光源1侧的面为止的长度)为10mm左右。作为传热构件32所使用的具体的材料，例如可举出银、铜、铝、镍、铂等。另外，传热构件32通过形成为未被分割的一体构造或被分割为最小限度的构造，能够抑制部件的件数，能够降低制造成本。
[0022]但是，在传热构件32由金属构成的情况下，存在由于光70而使传热构件32熔融的可能性。另外，若传热构件32熔融，则光70不经由传热构件32而照射到散热构件31，散热构件31也有可能热变形以及热损伤。
[0023]另外，在为了不使传热构件32熔融而将传热构件32变更为熔点比金属高的材料(例如陶瓷系的材料)的情况下，与使用金属的情况相比，热传导性降低。因此，被光70直接照射的部位和其以外的部位的温度梯度变大，由于温度梯度引起的热冲击，传热构件32可能会破损。为了防止这样的破损的发生，也考虑了分割地配置传热构件32的方法，但除了使用热传导性比金属低的材料之外，由于存在分割的边界的间隙，成为使热传导效率进一步降低的主要原因。
[0024]因此，在本实施方式中，通过在由热传导性高的金属构成的传热构件32的光源侧的表面配置膜33，能够防止因通过吸收来自光源1的光70产生的热而使传热构件32熔融的情况。另外，本实施方式中的膜33是具有比传热构件32高的熔点的材料的膜，以使膜33不熔融，因此能够降低膜33熔融而使来自光源1的光直接照射到由金属构成的传热构件32的可能性。膜33可以配置在传热构件32的光源侧的整个面上，也可以配置在被光直接照射的一部分区域。
[0025]对本实施方式中的膜33进行说明。膜33由具有比传热构件32高的熔点的材料构成，例如由陶瓷系(氧化铝、氧化锆、二氧化钛、铬氧化物(chromia)、氧化钇、氧化镁、氧化铬、上述陶瓷及两种以上的复合氧化物)构成。另外，膜33也可以是高熔点金属材料系(钨、钽、钼、铌、上述金属合金)、金属/耐热合金类(铝、不锈钢系、MCrAlX合金、镍、Ni基合金、高
碳铁铬系、钴合金系、铜)等。MCrAlX合金的M为Ni、Co、NiCo等，X为Y、Hf、Si、Ta等。膜33通过使构成的材质为氧化物，还能够防止传热构件32的表面氧化所引起的变色或劣化。
[0026]由于膜33的熔点低时传热构件32有可能会熔融，因此膜33的材料优选熔点为1100度以上的材料。在此，对陶瓷系材料所具有的特性进行说明。作为陶瓷系材料，例如氧化铝的熔点为约2050度，热传导率为约32W/m
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K。碳化硅陶瓷的熔点为约2600度，热传导率为约60W/m
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K。氮化铝陶瓷的熔点为约2200度，热传导率为约150W/m
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K。氧化锆的熔点为约2700度，热传导率为约3W/m
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K。上述的陶瓷系材料的熔点为1100度以上。在要求膜33具有更高的耐热效果的情况下，优选熔点为1800度以上的材料。另一方面，作为金属材料的铝的熔点为约660度，热传导率为约237W/m
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K。这样，陶瓷系材料具有与作为金属材料的铝相比熔点高但热传导率低的特性。
[0027]在本实施方式中，膜33的厚度优选为1mm以下的薄层。这是因为，通过使膜33的厚度变薄，能够不过度地限制光70向传热构件32的吸收地高效地进行从传热构件32向散热构件31的热传导。另一方面，若膜33的厚度过薄，则传热构件32有可能熔融，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种散热单元，其特征在于，该散热单元具有：散热构件，使热散出；以及传热构件，使通过吸收来自光源的光而产生的热传导到所述散热构件，在所述传热构件的所述光源所在侧的面配置有包含熔点比所述传热构件的材料高的材料的膜，所述膜接收所述光。2.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜的厚度为1mm以下。3.根据权利要求2所述的散热单元，其特征在于，所述膜的厚度为0.01mm以上。4.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜被热喷涂到所述传热构件的所述光源所在侧的面上。5.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜的材料是陶瓷系的材料。6.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜的材料是熔点为1100度以上的材料。7.根据权利要求1的散热单元，其特征在于，所述膜的材料包含氧化铝、氧化锆、二氧化钛、铬氧化物、氧化钇、氧化镁、氧化铬中的至少一种。8.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜的材料包含钨、钽、钼、铌、铝、不锈钢系、MCrAlX合金、镍、Ni基合金、高碳铁铬系、钴合金系、铜中的至少一种。9.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述传热构件是未被分割的一体构造。10.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述传热构件的材料包含银、铜、铝、镍、铂中的至少一种。11.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述光是436nm以上的波长的光。12.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，该散热单元还具有填埋所述散热构件与所述传热构件之间的间隙的中间构件，所述中间构件是石墨片、硅脂、加入金属粉末的膏中的任一种。13.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，该散热单元在所述传热构件与所述膜之间还具有防止所述膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村阳子，下井泰晃，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：