载板传送结构以及PVD设备制造技术

本实用新型专利技术提供载板传送结构以及PVD设备。所述载板传送结构包括用于传送载板的传送滚轮组，所述载板包括承载本体、分别设置在所述承载本体的底部两侧且用于与所述传送滚轮组相接触的第一凸块以及第二凸块，所述载板传送结构还包括与所述传送滚轮组并排间隔设置的导向轮组，所述导向轮组的转轴沿竖直方向并与所述传送滚轮组的转轴垂直，所述导向轮组的高度低于所述传送滚轮组、直径大于所述传送滚轮组的宽度，并且以距其两侧第一预设距离的方式设置在所述第一凸块底部的导轨内，所述导向轮组在载板即将偏离预定路径时通过推动所述导轨而使所述载板回归所述预定路径。本实用新型专利技术能快速、平稳以及安全地传送载板。平稳以及安全地传送载板。平稳以及安全地传送载板。

【技术实现步骤摘要】
载板传送结构以及PVD设备


[0001]本技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及载板传送结构以及PVD设备。

技术介绍

[0002]薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称HIT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了第一代晶硅与第二代硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，特别是双面的异质结太阳能电池转换效率可以达到26％以上，具有广阔的市场前景。
[0003]在异质结太阳能电池制造中，需要通过物理气相沉积(PhysicalVapor Deposition，PVD)设备进行PVD工艺，从而在经PECVD工艺形成的P型非晶硅及N型非晶硅上沉积透明导电膜(TCO)。PVD设备在传送承载有硅片的载板时若不平稳，在镀膜区域由于载板速度不均匀连续，会造成前后方向硅片膜层厚度出现差异，严重影响膜层均匀性及太阳能电池品质。PVD设备在传送承载有硅片的载板时若有过大的震动，会造成镂空载板凹槽上的硅片破碎掉落到PVD设备中，当掉落到阴极单元上时往往会产生短路打火的异常状况，这样往往需要进行设备降温、破空修复，严重影响设备稼动率及设备产能。
[0004]PVD设备在传送载板时要求快速、平稳、保持在预定路径(例如在同一直线方向)，故需要有一套具导向功能的载板传送结构来约束载板的传输方向、保持平稳无明显震动。但若载板传送结构的导向不好会导致载板“卡板”且不能继续运行，此时也必须采取设备降温、破空处理，严重影响生产。承载有硅片的载板在PVD设备中被传送经过加热区域和工艺溅射区域时，会经受250摄氏度(℃)的温度，载板通常是金属材质，这种升温将会使载板热膨胀，因此可靠的导向要能适应不同温度下载板的平稳运行需求。
[0005]因此，如何提供一种载板传送结构以及对应的PVD设备，以快速、平稳以及安全地传送载板，已成为业内亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0006]针对现有技术的上述问题，本技术提出了一种载板传送结构，包括用于传送载板的传送滚轮组，所述载板包括承载本体、分别设置在所述承载本体的底部两侧且用于与所述传送滚轮组相接触的第一凸块以及第二凸块，所述载板传送结构还包括与所述传送滚轮组并排间隔设置的导向轮组，所述导向轮组的转轴沿竖直方向并与所述传送滚轮组的转轴垂直，所述导向轮组的高度低于所述传送滚轮组、直径大于所述传送滚轮组的宽度，并且以距其两侧第一预设距离的方式设置在所述第一凸块底部的导轨内，所述导向轮组在载板即将偏离预定路径时通过推动所述导轨而使所述载板回归所述预定路径。
[0007]在一实施例中，所述导向轮组具有导向销轴，所述导向销轴设置在可调支架末端的固定孔中，所述导向销轴与所述固定孔之间设置有电绝缘隔离套。
[0008]在一实施例中，所述第一预设距离为2
‑
5毫米。
[0009]在一实施例中，所述第二凸块的底部为平坦的，所述第二凸块的宽度比所述传送
滚轮组的宽度大2
‑
5毫米。
[0010]在一实施例中，所述载板的承载本体为1.8
‑
3米的正方形载板，所述承载本体上设置有多个用于承载硅片的承载单元。
[0011]在一实施例中，所述传送滚轮组为主动滚轮组或从动滚轮组，所述主动滚轮组由固定在设备基座上的传送电机驱动转动，从而传送设置在所述传送滚轮组上的载板，所述传送滚轮组通过设置在其轮缘的电绝缘圈与所述载板电绝缘。
[0012]在一实施例中，所述导轨由设置在所述第一凸块底部的两条平行挡板组成，所述挡板的高度为1
‑
2厘米，两条平行挡板之间的距离为 2
‑
6厘米。
[0013]在一实施例中，所述传送滚轮组与所述导向轮组在设备基座上间隔并行设置，所述传送滚轮组在两条平行挡板之间通过在所述第一凸块的底部滚动而传送所述载板，所述传送滚轮组不与所述两条平行挡板接触。
[0014]在一实施例中，所述导向轮组的顶部与所述传送滚轮组的传送面或所述第一凸块的底部之间具有2
‑
5毫米的安全间隙。
[0015]本技术还提供一种PVD设备，其具有上述任一项所述的载板传送结构。
[0016]本技术与现有技术相比具有以下有益效果：本技术的载板传送结构包括用于传送载板的传送滚轮组以及与所述传送滚轮组并排间隔设置的导向轮组，所述载板包括承载本体、分别设置在所述承载本体的底部两侧且用于与所述传送滚轮组相接触的第一凸块以及第二凸块，所述导向轮组的转轴沿竖直方向并与所述传送滚轮组的转轴垂直，所述导向轮组的高度低于所述传送滚轮组、直径大于所述传送滚轮组的宽度，并且以距其两侧第一预设距离的方式设置在所述第一凸块底部的导轨内，所述导向轮组在载板即将偏离预定路径时通过推动所述导轨而使所述载板回归所述预定路径。本技术能快速、平稳以及安全地传送载板。
附图说明
[0017]在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本技术的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。
[0018]图1为本技术的载板传送结构的实施例的组成结构示意图。
[0019]图2为图1中的A区域的放大结构示意图。
[0020]图3为图1中的导向轮组的组成结构示意图。
具体实施方式
[0021]以下结合附图和具体实施例对本技术作详细描述，以便更清楚理解本技术的目的、特点和优点。应理解的是，以下结合附图和具体实施例描述的诸方面仅是示例性的，而不应被理解为对本技术的保护范围进行任何限制。除非上下文明确地另外指明，否则单数形式“一”和“所述”包括复数指代物。本说明书以及权利要求书中所使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。
[0022]图1显示了本技术的载板传送结构的实施例的组成结构示意图。图2为图1中
的A区域的放大结构示意图。图3为图1中的导向轮组的组成结构示意图。参见图1及图2，所述载板传送结构包括传送滚轮组20以及导向轮组22，传送滚轮组20以及导向轮组22可均匀或非均匀间隔设置。载板传送结构所传送的载板1包括承载本体10、分别设置在所述承载本体10的底部两侧且用于与所述传送滚轮组20相接触的第一凸块12以及第二凸块14。
[0023]为简化图示，图1中仅显示了一个传送滚轮20以及导向轮22，传送滚轮组20实质上包括多个并排设置的传送滚轮20，导向轮组22实质上包括多个并排设置的导向轮22。
[0024]继续参见图1，所述载板1用于承载传送用于制造异质结太阳能电池的硅片，所述载板1的承载本体10为1.8
‑
3米的正方形载板或其他预设长方形，所述承载本体10上设置有多个用于承载硅片的承载单元 (未图示)。参见图1及图2，所述第一凸块12的底部设置有导轨16，所述导轨1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种载板传送结构，包括用于传送载板的传送滚轮组，所述载板包括承载本体、分别设置在所述承载本体的底部两侧且用于与所述传送滚轮组相接触的第一凸块以及第二凸块，其特征在于，所述载板传送结构还包括与所述传送滚轮组并排间隔设置的导向轮组，所述导向轮组的转轴沿竖直方向并与所述传送滚轮组的转轴垂直，所述导向轮组的高度低于所述传送滚轮组、直径大于所述传送滚轮组的宽度，并且以距其两侧第一预设距离的方式设置在所述第一凸块底部的导轨内，所述导向轮组在载板即将偏离预定路径时通过推动所述导轨而使所述载板回归所述预定路径。2.根据权利要求1所述的载板传送结构，其特征在于，所述导向轮组具有导向销轴，所述导向销轴设置在可调支架末端的固定孔中，所述导向销轴与所述固定孔之间设置有电绝缘隔离套。3.根据权利要求1所述的载板传送结构，其特征在于，所述第一预设距离为2
‑
5毫米。4.根据权利要求1所述的载板传送结构，其特征在于，所述第二凸块的底部为平坦的，所述第二凸块的宽度比所述传送滚轮组的宽度大2
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5毫米。5.根据权利要求1所述的载板传送结构，其特征在于，所述载板的承载本体为1.8
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘彦斌，徐升东，
申请(专利权)人：理想万里晖真空装备泰兴有限公司，
类型：新型
国别省市：