本实用新型专利技术提供了一种晶棒自动化运输装置及其系统，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在第一和第二传输机构之间的上下料机械臂机构、控制机构；上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在旋转机构上的升降机构、配置在升降机构上的伸缩机构、配置在伸缩机构上的夹取机构；旋转机构用于带动升降机构在传输机构和晶棒多线切割机之间旋转；升降机构用于带动伸缩和夹取机构升降；伸缩机构用于伸出收回夹取机构；夹取机构用于夹取放在第一传输机构的待加工晶棒并放在切割机内部，夹取切割机内部已加工晶棒放在第二传输机构上；传输、上下料机械臂机构与控制机构连接。旨在解决现有晶棒线切方案存在晶棒随待线切晶棒重量的增加，人工难以搬运的问题。工难以搬运的问题。工难以搬运的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种晶棒自动化运输装置及其系统
[0001]本技术涉及衬底自动加工辅助设施
，具体涉及一种晶棒自动化运输装置及其系统。
技术介绍
[0002]LED是利用半导体芯片作为发光材料的新型照明技术，具有能耗低、寿命长和亮度高等优点；目前LED广泛应用于建筑景观照明、指示标识照明、屏幕显示、车辆照明等各类场景，在碳中和的大背景下，LED照明被各国投入大量资源进行相关技术研发，已经成为最具前景的领域之一。
[0003]当前LED主要的衬底材料为蓝宝石，蓝宝石具有晶格系数失配率较小、机械强度高和价格低廉等特点。蓝宝石衬底由氧化铝作为原料，经长晶炉配合籽晶长成晶锭，经过一系列的加工成为蓝宝石晶棒，晶棒经过线切、研磨、抛光等工序最终成为所需衬底。线切作为蓝宝石衬底制造的主要工序之一，线切的主要目的是将蓝宝石晶棒切成一定厚度的晶片。在线切前需将晶棒进行装订，即将晶棒和载料台固定，然后将载料台运送到多线切割机进行多线切割，最后将切割后的晶片进行清洗。其中，需要切割的上下料搬运主要靠人工，而随着蓝宝石晶棒的直径和长度的增大，使其重量变得越来越重，人工难以进行搬运。
[0004]有鉴于此，提出本申请。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种晶棒自动化运输装置及其系统，能有效解决现有技术中的晶棒线切方案由于线切前需将晶棒进行装订，然后将载料台运送到多线切割机进行多线切割，最后将切割后的晶片进行清洗，而晶棒的搬运主要靠人工，但随着蓝宝石晶棒的直径和长度的增大，使其重量变得越来越重，人工难以进行搬运的问题。
[0006]本技术提供了一种晶棒自动化运输装置,包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在所述第一传输机构和所述第二传输机构之间的上下料机械臂机构、以及控制机构；
[0007]其中，所述上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在所述旋转机构上的升降机构、可升降地配置在所述升降机构上的伸缩机构、以及配置在所述伸缩机构端部的夹取机构；
[0008]所述旋转机构，用于带动所述升降机构在所述第一传输机构、所述第二传输机构以及晶棒多线切割机之间进行旋转；
[0009]所述升降机构，用于带动所述伸缩机构和所述夹取机构进行垂直升降；
[0010]所述伸缩机构，用于伸出和收回所述夹取机构；
[0011]所述夹取机构，用于夹取放置在所述第一传输机构上的待加工晶棒并放置在切割机内部，以及夹取切割机内部已加工晶棒放置在第二传输机构上；
[0012]其中，所述第一传输机构的数据端、所述第二传输机构的数据端与所述控制机构的数据端电气连接，所述上下料机械臂机构的数据端与所述控制机构的数据端电气连接，
所述控制机构用于与外部远程终端无线连接。
[0013]优选地，所述旋转机构包括底座、旋转台、以及旋转电机；所述旋转台可旋转地配置在所述底座上，所述旋转电机配置在所述底座上，所述旋转台与所述旋转电机的输出轴连接。
[0014]优选地，所述升降机构包括滚珠丝杆、导轨电机、第一滚珠丝杠导轨、以及第二滚珠丝杠导轨，所述滚珠丝杆可转动地配置在所述旋转台上，所述滚珠丝杆与所述导轨电机的输出轴连接，所述第一滚珠丝杠导轨配置在所述旋转台左侧，所述第二滚珠丝杠导轨配置在所述旋转台右侧，所述导轨电机的输入端与所述控制机构的输出端电气连接。
[0015]优选地，所述伸缩机构包括配置在所述升降机构上的箱体、配置在所述箱体内部的法兰盘、滑块、推杆、推杆电机；
[0016]其中，所述滑块配置在所述法拉盘的孔眼上，所述滚珠丝杆贯穿所述滑块，所述第一滚珠丝杠导轨和所述第二滚珠丝杠导轨贯穿所述箱体，所述推杆与所述推杆电机的输出轴连接，所述推杆的连接端与所述夹取机构的连接端连接，所述推杆电机的输入端与所述控制机构的输出端电气连接。
[0017]优选地，所述夹取机构包括翻转模块、夹具、以及配置在所述夹具上的微型电机，所述翻转模块配置在所述推杆的连接端上，所述夹具配置在所述翻转模块上，所述微型电机的输出轴与所述夹具连接，所述微型电机的输入端与所述控制机构的输出端电气连接。
[0018]优选地，所述夹取机构还包括角度编码器，所述角度编码器配置在所述翻转模块上，所述角度编码器的数据端与所述控制机构的数据端电气连接。
[0019]优选地，所述夹取机构还包括光学摄像头，所述光学摄像头配置在所述滚珠丝杆的顶端，所述光学摄像头的数据端与所述控制机构的数据端电气连接。
[0020]优选地，所述第一传输机构包括第一电箱、第一电机、以及第一传输带组件，所述第一电箱的输出端与所述第一电机的输入端电气连接，所述第一电机与所述第一传输带组件连接。所述第二传输机构包括第二电箱、第二电机、以及第二传输带组件，所述第二电箱的输出端与所述第二电机的输入端电气连接，所述第二电机与所述第二传输带组件连接。
[0021]优选地，所述第一传输机构还包括多个光学传感器，光学传感器依次配置在所述第一传输带组件的传送带侧面，光学传感器的数据端与所述控制机构的数据端电气连接；所述第二传输机构还包括多个光学传感器，光学传感器依次配置在所述第二传输带组件的传送带侧面，光学传感器的数据端与所述控制机构的数据端电气连接。
[0022]本技术还提供了一种晶棒自动化运输系统，包括远程终端以及如上任意一项所述的晶棒自动化运输装置，所述控制机构用于与所述终端无线连接，进行数据交互。
[0023]综上所述，本实施例提供的一种晶棒自动化运输装置及其系统，操作人员将完成订装后的载料台放置在所述第一传输机构上，并通过所述第一传输机构的传送带送入所述上下料机械臂机构的抓取位置，当检测到抓取位置上的载料台后，所述上下料机械臂机构对其进行夹取翻转，运送至多线切割机工位进行安装，随后进行切割，切割后所述上下料机械臂机构将载料台取出，放置在所述第二传输机构上，并通过所述第二传输机构的传送带上运输到清洗机工位进行清洗，从而解决了现有技术中的晶棒线切方案由于线切前需将晶棒进行装订，然后将载料台运送到多线切割机进行多线切割，最后将切割后的晶片进行清洗，而晶棒的搬运主要靠人工，但随着蓝宝石晶棒的直径和长度的增大，使其重量变得越来
越重，人工难以进行搬运的问题。
附图说明
[0024]图1是本技术实施例提供的晶棒自动化运输装置的结构示意图。
[0025]图2是本技术实施例提供的晶棒自动化运输装置的上下料机械臂机构的结构示意图。
[0026]图3是本技术实施例提供的晶棒自动化运输装置的旋转机构和升降机构的结构示意图。
[0027]图4是本技术实施例提供的晶棒自动化运输装置的伸缩机构的结构示意图。
[0028]图5是本技术实施例提供的晶棒自动化运输装置的夹取机构的结构示意图。
[0029]图6是本技术实施例提供的晶棒自动化运输装置的第一传输机构的结构示意图。
[0030]图7是本技术实施例提供的晶棒自动化运输装置的第二传本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶棒自动化运输装置,其特征在于，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在所述第一传输机构和所述第二传输机构之间的上下料机械臂机构、以及控制机构；其中，所述上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在所述旋转机构上的升降机构、可升降地配置在所述升降机构上的伸缩机构、以及配置在所述伸缩机构端部的夹取机构；所述旋转机构，用于带动所述升降机构在所述第一传输机构、所述第二传输机构以及晶棒多线切割机之间进行旋转；所述升降机构，用于带动所述伸缩机构和所述夹取机构进行垂直升降；所述伸缩机构，用于伸出和收回所述夹取机构；所述夹取机构，用于夹取放置在所述第一传输机构上的待加工晶棒并放置在切割机内部，以及夹取切割机内部已加工晶棒放置在第二传输机构上；其中，所述第一传输机构的数据端、所述第二传输机构的数据端与所述控制机构的数据端电气连接，所述上下料机械臂机构的数据端与所述控制机构的数据端电气连接，所述控制机构用于与外部远程终端无线连接。2.根据权利要求1所述的晶棒自动化运输装置，其特征在于，所述旋转机构包括底座、旋转台、以及旋转电机；所述旋转台可旋转地配置在所述底座上，所述旋转电机配置在所述底座上，所述旋转台与所述旋转电机的输出轴连接。3.根据权利要求2所述的晶棒自动化运输装置，其特征在于，所述升降机构包括滚珠丝杆、导轨电机、第一滚珠丝杠导轨、以及第二滚珠丝杠导轨，所述滚珠丝杆可转动地配置在所述旋转台上，所述滚珠丝杆与所述导轨电机的输出轴连接，所述第一滚珠丝杠导轨配置在所述旋转台左侧，所述第二滚珠丝杠导轨配置在所述旋转台右侧，所述导轨电机的输入端与所述控制机构的输出端电气连接。4.根据权利要求3所述的晶棒自动化运输装置，其特征在于，所述伸缩机构包括配置在所述升降机构上的箱体、配置在所述箱体内部的法兰盘、滑块、推杆、推杆电机；其中，所述滑块配置在所述法兰盘的孔眼上，所述滚珠丝杆贯穿所述滑块，所述第一滚珠丝杠导轨和所述第二滚珠丝杠导轨贯穿所述箱...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲍春同，胡中伟，赖志远，黄辉，于怡青，徐西鹏，
申请(专利权)人：华侨大学，
类型：新型
国别省市：
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