一种能量标定机构制造技术

本实用新型专利技术提出一种能量标定机构，包括多个能量感测单元、能量安装板、安装座、传动件、驱动源、基座，多个能量感测单元设置于能量安装板上，能量安装板与安装座连接，安装座固定于运动台面，能量安装板进一步与传动件相连，传动件与驱动源相连，驱动源通过基座连接至运动台面下方，驱动源通过传动件带动能量安装板进行翻转，使得能量安装板能够暴露于运动台面的一侧或者回收在运动台面下方。通过翻转方式实现在能量感测单元非工作期间回收于运动台面下，减小其占用空间且能避免磕碰。减小其占用空间且能避免磕碰。减小其占用空间且能避免磕碰。

【技术实现步骤摘要】
一种能量标定机构


[0001]本技术涉及直写式曝光
，尤其是涉及一种应用于直写式光刻机的能量标定机构。

技术介绍

[0002]直写式光刻是利用数字光处理技术在工件（如晶圆、印刷电路板等）表面曝光形成电路图形的一种直接成像技术，相较于掩模式曝光效率显著提高，且成本优势明显，能够满足芯片、半导体器件以及印刷电路板等多种产品的加工需求。
[0003]在对工件进行曝光时，为得到高精度的曝光图形，需要保证多个曝光镜头的出光能量具有高度一致性，因此在设备调试及维护时需要对多个曝光镜头进行能量标定。在进行能量标定时，需要将能量感测装置移至曝光镜头下方，用以感测曝光镜头出射的光能量，整个标定机构通常有两种形式：其一是如专利CN106527056B所公开的，在直写式光刻机的运动平台的一侧增加移动轴，标定模块（通常为功率计）通过驱动模组设于移动轴上横向移动，从而到达任一曝光镜头下方，此种方式明显导致运动平台结构复杂化，且附加的移动轴及驱动模组占用较大的空间；其二是如专利CN111273519B所公开的，在运动平台一侧固定安装多个收光镜头，并通过光纤连接到同样安装在运动平台上的功率计，收光镜头和功率计同样占用较大空间，当设备运行时，容易对邻近工位产生干涉，且收光镜头和功率计一直暴露在台面一侧，在设备进行非标定的常规维护时还容易产生磕碰损坏。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供能量标定机构，以弥补上述现有技术的不足。为此，本技术采用如下的技术方案：
[0005]一种能量标定机构，用于对直写式光刻机的曝光镜头进行能量标定，所述直写式光刻机包括运动台面，其特征在于，所述能量标定机构包括多个能量感测单元、能量安装板、安装座、传动件、驱动源、基座，所述多个能量感测单元设置于所述能量安装板上，所述能量安装板与所述安装座连接，所述安装座固定于所述运动台面，所述能量安装板进一步与所述传动件相连，所述传动件与所述驱动源相连，所述驱动源通过所述基座连接至所述运动台面下方，所述驱动源通过所述传动件带动所述能量安装板进行翻转，使得所述能量安装板能够暴露于所述运动台面的一侧或者回收在所述运动台面下方。
[0006]优选地，所述能量安装板包括上安装板、下支撑板和支撑连接件，所述多个能量感测单元均匀安装于所述上安装板，所述上安装板通过所述支撑连接件安装于所述下支撑板，所述下支撑板连接至所述安装座。
[0007]优选地，所述下支撑板连接至所述传动件，所述下支撑板能够在所述传动件的带动下进行翻转。
[0008]优选地，所述安装座包括旋转块、第一转轴和安装块，所述能量安装板连接到所述旋转块，所述旋转块通过所述第一转轴连接到所述安装块，所述安装块可拆卸的固定于所
述运动台面下方。
[0009]优选地，所述安装座还包括角度调节件和限位块，所述角度调节件安装在所述旋转块或所述限位块上，所述限位块固定安装或可移动安装于所述安装块上。
[0010]优选地，所述角度调节件为角度调节螺栓，所述角度调节螺栓通过螺纹调节改变自身位置。
[0011]优选地，所述安装块设置为“L”型，所述第一转轴位于“L”的横边的末端，所述限位块设置于“L”的横边的中段，所述安装块通过“L”的竖边固定于所述运动台面的下方。
[0012]优选地，所述驱动源为直线气缸，所述直线气缸的一端连接所述传动件，另一端连接所述基座。
[0013]优选地，所述传动件包括传动块和转动关节，所述转动关节可绕所述传动块旋转，所述传动块安装于所述能量安装板上，所述转动关节连接所述直线气缸。
[0014]优选地，所述基座设有连接板和两个挂耳，所述连接板安装于所述运动台面下方，所述两个挂耳设于连接板的两侧，所述两个挂耳内设置第二转轴，所述直线气缸连接所述第二转轴。
[0015]优选地，所述驱动源为电机，所述电机通过所述基座固定于所述运动台面下方，所述传动件包括同步带轮和传动轴，所述能量安装板连接到所述传动轴，所述传动轴连接至同步带轮。
[0016]与现有技术相比，本技术提出的标定机构，通过将能量安装板设置为翻转的形式，在需要标定时，能量安装板转至暴露于运动台面的一侧的位置，在非标定期间则能量安装板回转至运动台面下方，既减小了能量标定机构占用空间，还能够避免非使用期间的损坏；此外，通过角度调节件和限位块的设置，能够在标定期间对能量安装板的位置进行微调，降低工装难度。
附图说明
[0017]图1为示例性标定机构第一位置状态侧上方视图。
[0018]图2为示例性标定机构第一位置状态侧下方视图。
[0019]图3为示例性标定机构第二位置状态侧上方视图。
[0020]图4为示例性标定机构第二位置状态侧下方视图。
[0021]图5为示例性安装座结构视图。
具体实施方式
[0022]为使本技术的技术方案更加清楚明了，下面将结合附图来描述本技术的具体实施方式。应当理解的是，对实施方式的具体说明仅用于示教本领域技术人员如何实施本技术，而不是用于穷举本技术的所有可行方式，更不是用于限制本技术的具体实施范围。
[0023]需要说明的是，以下实施例中的术语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”、“下”“中间”等指示的方位或方向均是基于附图所示以描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造、安装及操作、或以沿特定的方向运动，因此不能理解为对本技术的限制。在本实施例的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，
除非另有明确具体的限定。
[0024]首先，以本领域基础的直写式光刻机为例，直写式光刻机至少包括运动台面和曝光镜头。其中，曝光镜头设置有多个，多个曝光镜头可紧密排列，也可等距间隔排列。运动台面用于承载工件并能够至少沿XYZ三个方向移动。应当理解的是，直写式光刻机还可以包括其他模块，在此不作详细说明。在进行曝光镜头能量标定时，需要将能量感觉单元置于曝光镜头下，以便感测能量大小然后进行定量调节。
[0025]如图1
‑
4所示，本技术提出的能量标定机构，包括多个能量感测单元1、能量安装板2、安装座3、传动件4、驱动源5、基座6，多个能量感测单元1对应曝光镜头的位置均匀分布于能量安装板2上，能量安装板2与安装座3连接，安装座3固定于运动台面7，能量安装板2进一步与传动件4相连，传动件4与驱动源5相连，驱动源5通过基座6连接至运动台面7下方。驱动源5能够通过传动件4带动能量安装板2进行翻转，使得能量安装板2存在两个位置状态，其一是如图1和图2示出的暴露于运动台面7的一侧，其二是如图3和图4示出的回收在运动台面7的下方。
[0026]在一个实施方式中，能量安装2板包括上安装板21、下支撑板22和支撑连接件23，多个能量感测单元1均匀安装于上安装板21，上安装板21通过支撑连接件22安装于下支撑板23，下支撑板22连接至安装座3，下支撑板22还连接至传动件4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能量标定机构，用于对直写式光刻机的曝光镜头进行能量标定，所述直写式光刻机包括运动台面，其特征在于，所述能量标定机构包括多个能量感测单元、能量安装板、安装座、传动件、驱动源、基座，所述多个能量感测单元设置于所述能量安装板上，所述能量安装板与所述安装座连接，所述安装座固定于所述运动台面，所述能量安装板进一步与所述传动件相连，所述传动件与所述驱动源相连，所述驱动源通过所述基座连接至所述运动台面下方，所述驱动源通过所述传动件带动所述能量安装板进行翻转，使得所述能量安装板能够暴露于所述运动台面的一侧或者回收在所述运动台面下方。2.如权利要求1所述的能量标定机构，其特征在于：所述能量安装板包括上安装板、下支撑板和支撑连接件，所述多个能量感测单元均匀安装于所述上安装板，所述上安装板通过所述支撑连接件安装于所述下支撑板，所述下支撑板连接至所述安装座。3.如权利要求2所述的能量标定机构，其特征在于：所述下支撑板连接至所述传动件，所述下支撑板能够在所述传动件的带动下进行翻转。4.如权利要求1所述的能量标定机构，其特征在于：所述安装座包括旋转块、第一转轴和安装块，所述能量安装板连接到所述旋转块，所述旋转块通过所述第一转轴连接到所述安装块，所述安装块可拆卸的固定于所述运动台面下方。5.如权利要求4所述的能量标定机构，其特征在于：所述安装座还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙省江，张宇阳，董昱君，朱亮，周黎，张雷，
申请(专利权)人：源纳微光学科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：