一种切膜刀固定架及晶圆覆膜边缘切除的切膜结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种切膜刀固定架及晶圆覆膜边缘切除的切膜结构，其中切膜刀固定架的刀片固定座至少包括相对于晶圆表面倾斜的刀片安装板，在刀片安装板上设置刀片安装槽，刀片安装槽至少一端为敞口端供刀片插入，敞口端还设有倾斜的倒角，刀片安装在刀片安装槽内且刀刃外露，刀片固定座可配合刀片紧固底座将刀片稳固定位防止脱落。利用该切膜刀固定架对已覆膜晶圆进行保护膜边缘切割时，将安装好刀片的切膜刀固定架位于晶圆边缘上部，刀片的刀刃与晶圆顶面形成锐角夹角。采用结构简单的刀片固定装置实现了刀刃相对于晶圆面的倾斜切割，确保保护膜边缘与晶圆倒直保持一致，有助于改善晶圆的覆膜质量，降低产品加工缺陷概率。降低产品加工缺陷概率。降低产品加工缺陷概率。

【技术实现步骤摘要】
一种切膜刀固定架及晶圆覆膜边缘切除的切膜结构


[0001]本技术涉及半导体器件制造领域，具体涉及一种切膜刀固定架及晶圆覆膜边缘切除的切膜结构。

技术介绍

[0002]在半导体器件的制造过程中，有很多工序都会涉及在晶圆表面进行贴膜保护处理，为了令保护膜能够全面覆盖住晶圆的保护面，通常贴于晶圆表面的保护膜尺寸大于晶圆尺寸。然而，在晶圆上覆膜后，若保护膜边缘留边过多，则晶圆边缘与保护膜之间会产生空隙，在一些需要化学液处理的工序中，化学液容易沿空隙处对保护面造成腐蚀。因此，需要将超出晶圆边缘的保护膜予以切除，以使保护膜裁切至与晶圆直径相匹配的尺寸。
[0003]晶圆在加工过程中通常边缘采用倒角结构设计，其目的是为了防止晶圆在转运过程中边缘与晶圆盒触碰造成碎裂。而目前采用的切除晶圆边缘多余保护膜的刀片与晶圆垂直，这种切割结构使得切膜后保护膜的边缘长度不可控，也容易令保护膜边缘与晶圆边缘发生偏移，使得保护膜边缘与晶圆表面出现空隙，从而导致各种质量缺陷问题。为避免出现这种质量问题，需要保证切割完的保护膜边缘与晶圆边缘倒角一致，现有解决办法常采用激光贴膜机或真空贴膜机来控制，前者可以调整保护膜的切割半径令其长度可控，但激光贴膜机成本较高；后者可以预切割保护膜，再对覆膜半径进行调整，但相对效率低于前者。比较理想且低成本的处理方式，是令切膜刀相对于晶圆面倾斜而非垂直，两者之间形成锐角夹角，该夹角称为切膜刀角度，这样切膜后保护膜的边缘外径小于晶圆的外径，保护膜边缘也存在倒角。切膜后的晶圆在放入晶圆盒转运过程中，也不会因保护膜由于边缘长度超出晶圆边缘，而与晶圆盒卡槽底部触碰造成膜粘附性降低；也不会因保护膜边缘与晶圆边缘出现空隙而令化学液渗入造成质量问题。因此，专利技术人设计出一种可令切膜刀角度为锐角的刀片固定装置，本案由此而生。

技术实现思路

[0004]本技术首先公开一种切膜刀固定架，能够令切膜刀安装后与竖直面保持锐角夹角，确保切割后保护膜边缘与晶圆倒直保持一致。
[0005]为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案为：
[0006]一种切膜刀固定架，包括刀片固定座，刀片固定座至少包括相对于晶圆表面倾斜的刀片安装板，在刀片安装板上设置刀片安装槽，刀片安装槽至少一端为敞口端供刀片插入。
[0007]进一步，所述刀片安装槽采用沿刀片安装板表面向内凹陷的凹槽，切膜刀固定架还包括刀片紧固底座，刀片紧固底座及刀片固定座的刀片安装板上各自设置固定孔，刀片紧固底座的内表面与刀片固定座的刀片安装板贴合并固定连接。
[0008]进一步，刀片紧固底座上相对于凹槽位置处设置贯通螺丝孔，防松螺丝插入螺丝孔将刀片压紧在凹槽内。
[0009]进一步，所述凹槽的顶部形成限位阻挡墙。
[0010]进一步，所述所述刀片固定座还包括直角三角形板，直角三角形板的斜边与刀片安装板的侧边连接，直角三角形板与刀片安装板不共面，直角三角形板的一个直角边相对于晶圆表面平行，另一直角边相对于晶圆表面垂直。
[0011]进一步，所述直角三角形板为非等腰直角三角形板，直角三角形板与刀片安装板垂直连接。
[0012]进一步，所述刀片安装板所在面与晶圆上表面形成的夹角为锐角，且该锐角的角度范围为60
°
～70
°
。
[0013]进一步，所述刀片安装槽隐藏在刀片安装板的内部，刀片安装槽仅一端为敞口端，敞口端的相对端形成限位阻挡墙。
[0014]进一步，所述刀片安装槽插入刀片的敞口端前部设有倾斜的倒角。
[0015]本技术还公开一种利用上述切膜刀固定架对晶圆覆膜边缘切除的切膜结构，具体采用如下方案实现：
[0016]一种晶圆覆膜边缘切除的切膜结构，包括上述切膜刀固定架、刀片及已覆膜的晶圆，刀片设置在刀片安装槽内，刀片的刀刃外露于切膜固定架外部，刀片所在平面与晶圆覆膜面形成的夹角为锐角。
[0017]本技术采用结构简单的切膜刀固定架实现了刀刃相对于晶圆覆膜面的倾斜切割，能够确保切割后保护膜边缘与晶圆倒直保持一致，避免了切割后保护膜边缘的翘起，采用低成本方式替代了现有技术中激光贴膜或真空贴膜作业，有助于改善晶圆的覆膜质量，降低产品加工缺陷。
附图说明
[0018]图1为实施例中刀片固定座的结构示意图；
[0019]图2为实施例中刀片紧固底座的结构示意图；
[0020]图3为刀片固定座、刀片、刀片紧固底座三者装配后的结构示意图；
[0021]图4为实施例中切膜结构位置关系示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0023]本实施例所公开的技术方案主要围绕调整切膜刀角度而展开，即如图4所示，令切膜刀的刀刃所在面与水平放置的晶圆400覆膜顶面保持锐角，这样贴于晶圆400表面的保护膜切除后的宽度不超过晶圆外径，不会因晶圆400边缘存在倒角而令保护膜边缘翘起，也就避免了各工序中可能产生的质量问题。为了实现这一目的，需要设计一个能够令刀片300安装后保持倾斜切割角度的固定装置，该固定装置可以称之为“切膜刀固定架”。该切膜刀固定架包括刀片固定座100，刀片固定座100需至少包括具有一个相对于晶圆覆膜面倾斜的刀片安装板102，刀片安装板102与晶圆覆膜面夹角需为锐角，沿刀片安装板102所在面开设刀片安装槽，刀片安装槽至少一端为敞口端供刀片300插入。能够实现将刀片300倾斜固定的切膜刀固定架结构有很多，以下将给出两个结构相对简单的具体实施例进行展示。
[0024]实施例1：如图1至图3所述，切膜刀固定架包括图1中的刀片固定座100和图2中的刀片紧固底座200，刀片固定座100为刀片300提供一个倾斜的安装面，刀片紧固底座200用来将刀片300牢牢固定在刀片固定座100上避免脱落。刀片固定座100由直角三角形板101、刀片安装板102、连接板103两两相连围合而成，直角三角形板101的斜边与刀片安装板102的一个侧边相连，刀片安装板102另一侧边与连接板103相连，直角三角形板101和连接板103均垂直于刀片安装板102。刀片安装板102与晶圆覆膜面所成夹角为锐角，而直角三角形板101的一个直角边相对于晶圆表面平行，另一直角边相对于晶圆表面垂直。直角三角板101为切膜刀角度调节提供了安装便利性，由于刀片固定座100上的刀片安装板102倾斜角度一旦设计好已经确定，在安装切膜刀固定架时，可以凭借直角三角板101的两个直角边作为安装角度找平的参照线，通常情况下晶圆水平放置，安装时，只需令直角三角板101的一个直角边与晶圆水平面保持垂直，则切膜刀角度就始终保持定值，能够确保每片晶圆切割后保护膜尺寸一致性。考虑到切膜刀角度太小会造成保护膜切除过多的问题，建议将直角三角形板101设计为非等腰直角三角形板，令刀片安装板102所在面与晶圆覆膜面形成的锐角角度分布在60
°
～70
°
范围内比较理想。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切膜刀固定架，其特征在于：包括刀片固定座，刀片固定座至少包括相对于晶圆表面倾斜的刀片安装板，在刀片安装板上设置刀片安装槽，刀片安装槽至少一端为敞口端供刀片插入。2.根据权利要求1所述的一种切膜刀固定架，其特征在于：所述刀片安装槽采用沿刀片安装板表面向内凹陷的凹槽，切膜刀固定架还包括刀片紧固底座，刀片紧固底座及刀片固定座的刀片安装板上各自设置固定孔，刀片紧固底座的内表面与刀片固定座的刀片安装板贴合并固定连接。3.根据权利要求2所述的一种切膜刀固定架，其特征在于：所述刀片紧固底座上相对于凹槽位置处设置贯通螺丝孔，防松螺丝插入螺丝孔将刀片压紧在凹槽内。4.根据权利要求2所述的一种切膜刀固定架，其特征在于：所述凹槽的顶部形成限位阻挡墙。5.根据权利要求1所述的一种切膜刀固定架，其特征在于：所述刀片固定座还包括直角三角形板，直角三角形板的斜边与刀片安装板的侧边连接，直角三角形板与刀片安装板不共面，直角三角形板的一个直角边相对于晶圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：任瑞，刘普然，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：